专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]背面对准装置及对准方法-CN201410171065.2有效
  • 于大维;潘炼东 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2014-04-25 - 2018-03-02 - G03F9/00
  • 本发明公开了一种背面对准装置及对准方法,该装置包括偏振照明组件,产生照明光束;中继镜头,安装于工件台内部,所述照明光束经中继镜头后照射硅片背面对准标记;和离轴镜头,设置于工件台上方,配合所述中继镜头对所述对准标记进行透射对准或反射对准本发明采用偏振照明组件与中继镜头结合的方式,既提高了能量效率,又使得反射和透射对准相互结合,扩展了背面对准装置的功能,又使得其结构简单紧凑。
  • 背面对准装置方法
  • [发明专利]直写光刻机曝光对准装置及方法-CN201710132088.6在审
  • 李显杰 - 无锡影速半导体科技有限公司
  • 2017-03-07 - 2017-05-31 - G03F9/00
  • 本发明涉及一种对准装置及方法,尤其是一种直写光刻机曝光对准装置及方法,具体地说是并置双台面曝光对准方法,属于直写光刻机的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述直写光刻机曝光对准装置,包括呈并置分布的第一台面以及第二台面;在所述第一台面、第二台面的上方设置对准图像抓取机构,所述对准图像抓取机构包括导轨以及设置于导轨上的第一对准相机与第二对准相机,第一对准相机、第二对准相机能在所述导轨上进行所需的运动,并在运动到所需的位置后,能抓取第一台面、第二台面上相应靶标的图像。本发明结构紧凑,对准方便,提升曝光效率,安全可靠。
  • 直写式光刻曝光对准装置方法

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