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- [发明专利]驱动压力腔的压力方法-CN201810039499.5有效
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张毅蔚
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张毅蔚
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2018-01-16
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2020-06-02
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A47J27/21
- 驱动压力腔的压力方法，该方法包括：给密封压力腔（15）的压力步骤，该步骤通过将冲泡收集活塞容器（30）插入热水容器（10）内套接组合成密封压力腔（15），将冲泡收集活塞容器（30）向下滑动，密封压力腔（15）下游贯通连接过滤器（29），过滤器（29）内盛装待冲泡物料阻挡密封压力腔（15）的出水速度产生压力而手动执行，以及冲泡所述待冲泡物料的步骤，该冲泡步骤通过密封压力腔（15）压力进水到过滤器（29）的活塞冲泡腔（31）溶解和冲泡所述待冲泡物料，使用外力执行所述压力步骤。本发明增设密封压力腔，以实现压力腔冲泡的效果，提高了产品的冲泡口感质量。
- 驱动压力方法
- [发明专利]匀流件和工艺腔室-CN201711284928.7有效
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李新颖
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2017-12-07
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2021-07-13
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C23C14/02
- 本发明公开了一种匀流件和工艺腔室。所述匀流件包括本体，所述本体沿进气方向依次设置有至少两级匀流腔，且至少两级所述匀流腔的容积依次增大；相邻两级所述匀流腔之间相互连通，最后一级所述匀流腔用于与工艺腔室连通，以将经过至少两级匀流腔匀流后的工艺气体引入至所述工艺腔室中本发明的匀流件，至少两级匀流腔的容积依次增大，可以使得工艺气体受到压力变化的作用膨胀、扩散。因此，可以改善工艺气体在匀流件内的分布，从而可以使得工艺气体在工艺腔室内分布更加均匀，进而可以提高工艺腔室中晶片的加工良率，降低制作成本，提高经济效益。
- 匀流件工艺
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