“基片载架”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3059381个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种基片加热装置-CN201210084682.X有效
发明人：刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;李海玲 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2012-03-27 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：一种基片加热装置，包括箱体和基片载板加热架。所述的基片载板加热架安装在所述的箱体内。所述的基片载板加热架上有多个插槽。基片载板加热架安装在两条相对平行的导轨上，在水平方向上往复运动。需要加热的基片通过固定螺钉及基片载板插槽固定在基片载板上，再将基片载板插入基片载板加热架插槽中进行加热。本发明采用电加热方式加热，适用于对批次基片进行同时加热。
一种加热装置

[发明专利]一种基片传输方法和系统-CN201310129916.2有效
发明人：赵海洋 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-04-15 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种基片传输方法和系统，以解决目前的技术在载板上未摆满电池片时工作效率低下的问题。方法包括当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，载板为M行×N列的载板；根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片，所述龙门架为M行×1列的龙门架；从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置；判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置，若存在，则返回根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片的步骤本发明实施例提高了基片从上料台传输到载板以及从载板传输到下料台时的效率。
一种传输方法系统

[发明专利]用于输送基片载架的系统-CN03132695.1有效
发明人：迈克尔·R·赖斯;杰弗里·C·哈得根斯;埃里克·A·恩格尔哈德;罗伯特·B·洛朗斯;马丁·R·埃利奥特 -专利权人：应用材料有限公司
申请日： 2003-08-29 - 公布日： 2004-05-12 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：在一半导体制造设备中，一输送机输送基片载架。在不停止输送机的情况下，将基片载架从输送机卸载或装载到输送机上。在卸载操作期间，装载和/或卸载机构从输送机升起基片载架，同时匹配输送机的速度。相似地，在装载操作期间，装载/卸载机构使基片载架降低。与输送机进入配合，同时匹配输送机的水平速度。单独的基片，没有载架，也同样可以装载进入输送机和/或从输送机中卸载。
用于输送基片载架系统

[发明专利]一种用于镀膜机的封闭式上下片系统-CN201710943124.7有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于镀膜机的封闭式上下片系统，包括壳体和均设置在壳体内部的基片移载机构、夹具移载机构、出料机构、上料机构、基片识别机构、方圆识别机构、机械手、承接机构、方形基片存放架、圆形基片存放架；上料机构，基片识别机构，用于识别夹具形状的方圆识别机构，用于夹取夹具的机械手，用于装载夹具的承接机构，用于存放方形基片的方形基片存放架，用于存放圆形基片的圆形基片存放架依次布置；基片移载机构和夹具移载机构均位于承接机构的上方封闭式的上下片系统能实现基片的自动装夹和卸载，属于基片上下片的技术领域。
一种用于镀膜封闭式下片系统

[实用新型]一种用于镀膜机的封闭式上下片系统-CN201721311629.3有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 -专利权人：肇庆兆达光电科技有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于镀膜机的封闭式上下片系统，包括壳体和均设置在壳体内部的基片移载机构、夹具移载机构、出料机构、上料机构、基片识别机构、方圆识别机构、机械手、承接机构、方形基片存放架、圆形基片存放架；上料机构，基片识别机构，用于识别夹具形状的方圆识别机构，用于夹取夹具的机械手，用于装载夹具的承接机构，用于存放方形基片的方形基片存放架，用于存放圆形基片的圆形基片存放架依次布置且均位于基片移载机构和夹具移载机构的下方封闭式的上下片系统能实现基片的自动装夹和卸载，属于基片上下片的技术领域。
夹具移载机构存放架方形基片上料机构圆形基片片系统机械手承接机构出料机构基片识别出料口镀膜机入料口壳体本实用新型夹具形状壳体内部依次布置夹取卸载装载

[发明专利]一种光学斜蒸镀膜用多角度可调镀膜工件架-CN202111652929.9有效
发明人：赵华龙;宇磊磊;赵卫;夏高飞;薛利军 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所;西安中科微星光电科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明为解决现有光学镀膜工件架无法在短时间内、低成本地通过一次作业完成多基片多角度的镀膜的问题，提供了一种光学斜蒸镀膜用多角度可调镀膜工件架。本发明包括环形挂盘组件、多个基片载台和环形载台固定架；所述挂盘组件和载台固定架并排拼接构成工件架架体；所述工件架架体的拼接面上平行设置有多组相对的枢转槽，所述基片载台的两端分别安装在相对的一组枢转槽内，且基片载台能够自由转动；所述环形挂盘组件用于与镀膜伞架连接。
一种光学镀膜角度可调工件

[发明专利]基片架及镀膜设备-CN202310095047.X在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：深圳市原速光电科技有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种基片架及镀膜设备，其中基片架包括支撑架及载样组件，载样组件包括支撑板、柔性层及限位件，柔性层覆盖于支撑板的一侧表面，柔性层远离支撑板的一侧形成载样面；限位件连接于支撑板和/或柔性层，限位件用于抵接于基片的边缘以使基片压紧于载样面由于柔性层具有一定的弹性，即使基片存在边角翘曲、外形收缩、热变形等情况，导致基片的实际尺寸和形状可能与理论尺寸和形状存在差异，和/或载样组件的部件存在尺寸、形状和安装误差，柔性层也能够紧密地覆盖基片无需镀膜的背侧，从而有效降低工艺气体渗入基片背侧导致极片背侧沉积薄膜的可能性，提高成品率，降低生产成本。
基片架镀膜设备

[实用新型]基片架及镀膜设备-CN202320224210.3有效
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：深圳市原速光电科技有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基片架及镀膜设备，其中基片架包括支撑架及载样组件，载样组件包括支撑板、柔性层及限位件，柔性层覆盖于支撑板的一侧表面，柔性层远离支撑板的一侧形成载样面；限位件连接于支撑板和/或柔性层，限位件用于抵接于基片的边缘以使基片压紧于载样面。由于柔性层具有一定的弹性，即使基片存在边角翘曲、外形收缩、热变形等情况，导致基片的实际尺寸和形状可能与理论尺寸和形状存在差异，和/或载样组件的部件存在尺寸、形状和安装误差，柔性层也能够紧密地覆盖基片无需镀膜的背侧，从而有效降低工艺气体渗入基片背侧导致极片背侧沉积薄膜的可能性，提高成品率，降低生产成本。
基片架镀膜设备

[发明专利]一种硬盘基片内径退火工装结构-CN202310481515.7在审
发明人：秦献超;张新虎;郑峰;谢坪 -专利权人：深圳长城开发精密技术有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： C21D9/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种硬盘基片内径退火工装，包括挂杆载架、焊接在挂杆载架左右两侧与载架垂直的挂架左侧板和挂架右侧板，四个插销组件插在载架的顶壁开设四个插接槽中，挂杆组件的一部分插在插销组件的内腔，另一部分的开设三条与挂杆载架垂直的条形槽，挂片组件插在条形槽中，多个硬盘基片卡接在挂片组件的卡槽中。本发明实用性强，使用内径退火方案设计完成的实物工装，在现场量产更薄的97Y盘基片过程中能够完成外径托盘基片退火工装不能达成的平面度，这为将来投产97Y等薄产品提供了工艺技术保障。
一种硬盘内径退火工装结构

[实用新型]一种基片架-CN201320543797.0有效
发明人：钟赐春 -专利权人：厦门万德宏光电科技有限公司
申请日： 2013-09-03 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型属于玻璃真空镀膜设备领域，特别是涉及一种玻璃真空镀膜设备所用的、用于固定和传载玻璃基片的基片架。本实用新型的一种基片架，包括由第一外横杆、第二外横杆、第一竖杆、第二竖杆、至少二根调节横杆构成的基片架的主架体，及玻璃基片固定结构。其中，包括一个导磁横杆，该导磁横杆通过若干连接块与第一外横杆连接。本实用新型用于固定和传载玻璃基片，以进行玻璃真空镀膜作业。
一种基片架

[发明专利]基片处理装置和吹扫方法-CN201910826373.7在审
发明人：木下盛善;佐佐木勇治;佐藤淳一;浅川贵志 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及基片处理装置和吹扫方法。本发明的一个方式的基片处理装置包括：承载器保管架，其载置收纳基片的承载器；气体供给部，其对载置于上述承载器保管架的上述承载器内供给非活性气体；和控制部，其基于承载器信息、基片信息中至少任意者，控制是否对上述承载器内供给上述非活性气体
处理装置方法

[实用新型]一种激光打孔机-CN202320363673.8有效
发明人：王宇;陈之瀚;田乐丽 -专利权人：深圳市联达奇精密陶瓷有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：本申请属于雾化片打孔的技术领域，涉及一种激光打孔机及其压紧组件，其包括机台，机台的顶面设置有第一安装架，第一安装架的顶面设置有用于承载基片的载物台，载物台的下方设置有真空吸附组件，载物台的上方设置有激光打孔组件，所述第一安装架的一端设置有用于压紧基片的压紧组件；第一安装架的顶面设置有用于定位校准基片的位置的定位校准组件；第一安装架的一侧设置有上料组件，第一安装架远离上料组件的一侧设置有下料组件。本申请具有提高激光打孔过程中基片的稳固性，提升激光打孔的效果，从而降低次品率的效果。
一种激光打孔机

[实用新型]一种3D曲面手机玻璃热压合固定装置-CN201821826920.9有效
发明人：张少波;陈诚;王进;张伟健 -专利权人：凯盛信息显示材料（洛阳）有限公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C03B23/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种3D曲面手机玻璃热压合固定装置，包括机架和载料装置，所述载料装置位于机架内部，所述载料装置包括固定框和基片模具，所述固定框为一长方形架体，且固定框一端设有开口，所述基片模具位于固定框内，所述基片模具两端均设有定位槽，且基片模具上设有成型凹槽。本实用新型通过采用弹性固定框来对基片模具进行固定，从而将多个基片模具组成一组，大大的提高了便携性和基片模具的稳定性。
模具固定框本实用新型固定装置手机玻璃料装置热压合长方形架体成型凹槽弹性固定模具两端载料装置便携性定位槽开口

[发明专利]基片载具及炉管镀膜设备-CN202211144695.1在审
发明人：陈云;廖宝臣;张敏;陈程;武啟强;种世平;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了一种基片载具及炉管镀膜设备。本发明的基片载具包括固定架和至少三个支撑部；各个支撑部均竖直设置于固定架，且至少一个支撑部设置于之外的至少两个支撑部所在的方向之外；支撑部沿竖直方向设有若干外沿部，任意两个相邻的外沿部之间留有间隙，间隙用于固定基片本发明的基片载具通过在固定架上设置至少三个支撑部，并在支撑部上沿竖直方向设置若干个外沿部，使得能够通过各个支撑部上的外沿部对基片进行至少三点的支撑，使得基片能够水平或与水平面呈一定的倾角设置，这样使得基片之间的空间更容易流动气体，且气体的流动对基片的侧面机会没有作用力，极大的降低气体流动对基片的冲击，降低基片翘曲的可能，保证成品率。
基片载具炉管镀膜设备

[发明专利]基片处理装置和基片输送方法-CN201880022064.8有效
发明人：诧间康司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-04-04 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明实施方式的基片处理装置包括承载器载置部(11)、基片载置部、第一输送装置(13)、多个处理部、第二输送装置(17)和控制部(18)。承载器载置部(11)载置收纳多个基片的承载器(C)。基片载置部能够载置多个基片。第一输送装置(13)在载置于承载器载置部(11)的承载器(C)与基片载置部之间输送基片。多个处理部处理基片。第二输送装置(17)在多个处理部与基片载置部之间输送基片。此外，控制部(18)以第一输送装置(13)从承载器(C)取出基片而将其载置到基片载置部并且从基片载置部取出基片而收纳到承载器(C)为止的所需时间以上的时间间隔，使第一输送装置(13)执行从承载器(C)取出基片而将其载置到基片载置部的取出动作
处理装置输送方法

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条