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[发明专利]一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统-CN201710942067.0有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅;黄庆梅 -专利权人： 肇庆兆达光电科技有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统，包括真空室和均设置在真空室内的第一隔板、第一电极器、多个第一磁控靶、基材、用于控制基材运行的路径控制机构；路径控制机构包括沿着基材运行路径依次设置的放卷辊、第一检测辊、第一导辊、第一水冷鼓、第二导辊、第二检测辊、收卷辊；多个第一磁控靶以第一水冷鼓的轴线为中心线沿着圆周方向布置，带磁性的第一电极器设置在相邻的两个第一磁控靶之间，第一水冷鼓的两侧均设置一块第一隔板。卷绕镀膜系统能有效改善金属薄层的沉积质量，大幅度提升金属薄层和基材的结合力，属于基材镀膜的技术领域。
一种磁性电极柔性铜板卷绕镀膜系统

[实用新型]一种用于镀膜机的封闭式上下片系统-CN201721311629.3有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 -专利权人： 肇庆兆达光电科技有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于镀膜机的封闭式上下片系统，包括壳体和均设置在壳体内部的基片移载机构、夹具移载机构、出料机构、上料机构、基片识别机构、方圆识别机构、机械手、承接机构、方形基片存放架、圆形基片存放架；上料机构，基片识别机构，用于识别夹具形状的方圆识别机构，用于夹取夹具的机械手，用于装载夹具的承接机构，用于存放方形基片的方形基片存放架，用于存放圆形基片的圆形基片存放架依次布置且均位于基片移载机构和夹具移载机构的下方；壳体上设有入料口和出料口，上料机构位于入料口处，出料机构位于出料口处。封闭式的上下片系统能实现基片的自动装夹和卸载，属于基片上下片的技术领域。
夹具移载机构存放架方形基片上料机构圆形基片片系统机械手承接机构出料机构基片识别出料口镀膜机入料口壳体本实用新型夹具形状壳体内部依次布置夹取卸载装载

[实用新型]一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统-CN201721311879.7有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅;黄庆梅 -专利权人： 肇庆兆达光电科技有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统，包括真空室和均设置在真空室内的第一隔板、第一电极器、多个第一磁控靶、基材、用于控制基材运行的路径控制机构；路径控制机构包括沿着基材运行路径依次设置的放卷辊、第一检测辊、第一导辊、第一水冷鼓、第二导辊、第二检测辊、收卷辊；多个第一磁控靶以第一水冷鼓的轴线为中心线沿着圆周方向布置，带磁性的第一电极器设置在相邻的两个第一磁控靶之间，第一水冷鼓的两侧均设置一块第一隔板。卷绕镀膜系统能有效改善金属薄层的沉积质量，大幅度提升金属薄层和基材的结合力，属于基材镀膜的技术领域。
基材镀膜系统磁控靶卷绕水冷隔板柔性覆铜板磁性电极第一电极金属薄层路径控制导辊本实用新型第二检测基材镀膜依次设置运行路径放卷辊检测辊结合力收卷辊真空室沉积室内