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[实用新型]可调整基板框架-CN201721311788.3有效
发明人：胡志为 -专利权人：宇泰和股份有限公司
申请日： 2017-10-12 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：一种可调整基板框架，包括连结成四边体的上、下侧杆与左、右侧杆，以及一横杆，组设于该左、右侧杆之间；该上侧杆、左右侧杆、与该横杆的内侧，形成一口字型夹板沟槽用以夹持基板的周缘；再者，借由选用与基板宽度相对应的横杆，并变更该左右侧杆以及该横杆与上侧杆的间距，将可调整该口字型夹板沟槽的四边距离，以满足不同尺寸基板的夹持。由于本实用新型是以沟槽夹持基板，可避免一般固定夹对基板所造成的损坏；同时因框架中的杆体间距可进行调整，可满足不同规格基板的夹持，进而减少基板框架的投资成本，并提升其管理上的效益。
横杆基板框架可调整基板夹板上侧杆右侧杆侧杆夹持四边本实用新型尺寸基板夹持基板对基板沟槽夹固定夹口字型四边体下侧杆杆体字型组设连结变更投资管理

[发明专利]基板处理装置-CN201711284838.8有效
发明人：隐塚惠二;村上幸喜;星野浩澄 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置。即使利用批量式的基板处理装置对翘曲了的基板进行处理时也能够进行多个基板的统一输送。基板处理装置具有：载置台，其载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳有从该基板处理装置的外部接收的多个基板；单张式的位置调整部，其对基板的旋转方向位置进行逐张调整；第1基板输送机构，其进行如下操作：将收纳到基板收纳容器的多个基板中的1张基板取出而向位置调整部输送的操作；在位置调整部将旋转方向位置调整后的该1张基板向所述基板收纳容器输送的操作；第2基板输送机构，其将被第1基板输送机构输送并收纳到基板收纳容器的、旋转方向位置被调整后的多个基板从基板收纳容器统一取出
处理装置

[实用新型]水平调整组件和面板检测设备-CN202221530880.X有效
发明人：李昌坤;王亚秋 -专利权人：苏州镁伽科技有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种水平调整组件和面板检测设备。水平调整组件包括：基板，在基板上间隔设置有至少两个调整区域，每个调整区域内设置有细牙螺纹件组，每个细牙螺纹件组包括至少一个细牙螺纹件；在调整区域设置有与细牙螺纹件对应的贯穿基板的第一螺纹孔，以及设置在基板上方的待调整对象，其中，细牙螺纹件包括细牙螺杆，细牙螺杆与基板上的第一螺纹孔螺纹连接且细牙螺杆的顶部穿过第一螺纹孔，以支撑待调整对象。用户可以通过调节设置在基板上的细牙螺杆，改变细牙螺杆穿出基板上表面的高度，实现基板与待调整对象之间的距离的调整，又因为基板上设置有多个调整区域，所以通过调整多个调整区域内的细牙螺杆，可以调整待调整对象的水平度
水平调整组件面板检测设备

[发明专利]基板保持装置、涂布装置、基板保持方法-CN201611034274.8有效
发明人：平井孝典 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2016-11-16 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板保持装置、涂布装置、基板保持方法。基板保持装置包括：载置台，将基板载置于载置面；位置调整机构，通过位置调整构件，以在载置面载置有基板的状态自隔开位置向抵接位置移动而执行对载置面上的基板的位置进行调整的位置调整处理；按压机构，选择性地使按压构件位于正式按压位置及暂时按压位置；以及控制部，一边使位置调整构件位于隔开位置一边使按压构件朝向载置面上的基板移动并在位于暂时按压位置后，使位置调整机构执行位置调整处理，在位置调整处理结束后使按压构件移动至正式按压位置。本发明能够抑制基板的翘曲对载置台上的基板的位置调整的影响。
保持装置方法

[实用新型]角度调整装置、磨头和研磨机-CN201720285921.6有效
发明人：廖民安;李学锋;张旭;王新营;朱继广;何强华 -专利权人：东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司
申请日： 2017-03-22 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及基板玻璃深加工领域，公开了一种角度调整装置、磨头和研磨机。角度调整装置包括固定基板(1)，与固定基板(1)平行且转动连接的调整板(2)，以及设置在调整板(2)与固定基板(1)之间的调整组件。其中，调整板(2)用于与被调整物固定连接，调整组件能够带动调整板(2)相对于固定基板(1)转动并固定，以用于带动被调整物相对于固定基板(1)发生角度偏转。本实用新型的角度调整装置结构简单，能够更方便、更精确地调整被调整物的角度。
角度调整装置研磨机

[发明专利]基板搬送装置的位置调整方法以及基板处理装置-CN201610034301.5有效
发明人：道木裕一;林德太郎;饭田成昭;榎木田卓 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-03-01 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供不使用调整夹具就能够进行搬送位置调整的基板搬送装置的位置调整方法。本发明提供基板搬送装置的位置调整方法，其包括第一检测步骤，利用搬送基板的基板搬送部保持基板，检测基板的位置；将由基板搬送部保持的基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤；利用基板旋转部使由基板旋转部保持的基板仅仅旋转规定的角度的步骤；从基板搬送部接收被基板旋转部旋转的基板的步骤；第二检测步骤，检测基板搬送部接收的该基板的位置；基于在第一检测步骤求出的基板的位置和在第二检测步骤求出的基板的位置，掌握基板旋转部的旋转中心位置的步骤；和基于掌握的旋转中心位置，调整基板搬送部的位置的步骤。
基板搬送装置位置调整方法以及处理

[发明专利]基板搬送装置的位置调整方法以及基板处理装置-CN201210052118.X有效
发明人：道木裕一;林德太郎;饭田成昭;榎木田卓 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-03-01 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供不使用调整夹具就能够进行搬送位置调整的基板搬送装置的位置调整方法。本发明提供基板搬送装置的位置调整方法，其包括：第一检测步骤，利用搬送基板的基板搬送部保持基板，检测基板的位置；将由基板搬送部保持的基板向保持并旋转基板的基板旋转部搬送的步骤；利用基板旋转部使由基板旋转部保持的基板仅仅旋转规定的角度的步骤；从基板搬送部接收被基板旋转部旋转的基板的步骤；第二检测步骤，检测基板搬送部接收的该基板的位置；基于在第一检测步骤求出的基板的位置和在第二检测步骤求出的基板的位置，掌握基板旋转部的旋转中心位置的步骤；和基于掌握的旋转中心位置，调整基板搬送部的位置的步骤。
基板搬送装置位置调整方法以及处理

[发明专利]载置台装置及其调整方法、曝光装置以及物品制造方法-CN202011091475.8在审
发明人：高桥彰宏;远藤淳生;高坂敦之 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及载置台装置及其调整方法、曝光装置以及物品制造方法。提供对基板保持部的平面度的精度和调整速度的并存有利的载置台装置。保持基板而移动的载置台装置具有：基座；基板保持部，在比所述基座更靠上的位置保持所述基板；多个调整部，设置于所述基座与所述基板保持部之间，为了调整所述基板保持部的基板保持面的形状，针对所述基板保持面的多个部位中的每个部位独立地从下方施加力；以及多个紧固部，与所述多个调整部中的每个调整部对应地设置，使用紧固部件以夹入所述调整部的形态紧固所述基座和所述基板保持部。
载置台装置及其调整方法曝光以及物品制造

[实用新型]玻璃基板厚度调整装置、成型炉及玻璃基板厚度调整系统-CN202022986924.7有效
发明人：李青;李赫然;宋义锋;李兆廷;石志强;李震;何怀胜;许伟;张愍涛 -专利权人：芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： C03B17/06 文献下载
摘要：本公开涉及一种玻璃基板厚度调整装置、成型炉及玻璃基板厚度调整系统。其中，玻璃基板厚度调整装置包括风管箱和驱动机构，风管箱内设有加热单元和冷却单元，驱动机构与风管箱连接，用于驱动风管箱沿着玻璃基板的溢流方向和宽度方向移动。相较于相关技术中风管固定的调整方式，采用驱动机构分别驱动风管箱沿着玻璃基板的溢流方向和宽度方向移动，便于对玻璃液局部及单点非流向粘度进行准确的控制，从而达到控制玻璃基板厚度极差的目的，提高玻璃基板的成型品质
玻璃厚度调整装置成型系统

[实用新型]摄像机后焦调整机构-CN201020214305.X无效
发明人：唐雷钧 -专利权人：松下系统网络科技(苏州)有限公司
申请日： 2010-06-02 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： G03B13/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种摄像机后焦调整机构，所述机构包括CCD基板、调整环、基板座，CCD基板固定在基板座上，调整环由调整环压板作轴向固定，调整环可以相对于调整环压板在圆周方向转动，其特征在于：所述的基板座上设有突起部，所述的调整环相对于基板座的面上设有斜面，基板座上的突起部与调整环上的斜面相对应处接触。本实用新型所述的摄像机后焦调整机构，结构简单，制造加工容易，生产成本低，后焦调整方便有效，在对不同视角进行画面监控时，如果不能有效进行聚焦，可以通过转动调整环来调整后焦距离，实现清晰画面监控的目的。
摄像机调整机构

[实用新型]一种位置调整装置-CN202220995606.3有效
发明人：韩小风;陈书良;施利君 -专利权人：苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及制造技术领域，公开了一种位置调整装置。该位置调整装置用于调整传输装置上传输的玻璃基板的位置，玻璃基板的传输方向为第一方向，该位置调整装置包括安装部、位置调整机构和缓冲组件，安装部设置于传输装置上；位置调整机构滑动连接于安装部上，位置调整机构包括相对设置的两个调整组件，两个调整组件能够沿第二方向相对滑动，用于分别推动玻璃基板的两侧以调整玻璃基板的位置，第一方向和第二方向相互垂直；缓冲组件设置于其中一个调整组件上，缓冲组件用于缓冲调整组件与玻璃基板之间的接触力。本实用新型提供的位置调整装置，能够将玻璃基板的位置归正，且能够缓冲调整组件与玻璃基板之间的接触力，防止玻璃基板损坏。
一种位置调整装置

[发明专利]机器人以及手部姿势调整方法-CN202180054611.2在审
发明人：清水一平;冈田拓之;山中大辅;阿部任弘;佐藤淳一 -专利权人：川崎重工业株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-08-29 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B25J9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部、手姿势调整部和控制部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息。所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势。所述控制部对所述臂部、所述手部以及所述手姿势调整部的动作进行控制。所述控制部根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。
机器人以及姿势调整方法

[发明专利]对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质-CN202110669672.1在审
发明人：小林康信;谷和宪 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质，涉及从大型基板切出的基板的对准，能够抑制由切出部位的不同导致的对测量精度的影响。所述对准装置具备：基板支承部件，其支承将大型基板分割而得到的基板；距离调整部件，其调整基板支承部件与支承掩模的掩模支承部件的重力方向上的距离；测量部件，其进行测量基板与掩模的位置偏移量的测量动作；以及位置调整部件，其进行调整基板与掩模的相对位置的位置调整动作，在位置偏移量在容许范围内的情况下，使基板与掩模相互重合，其特征在于，在基于基板的与分割前的大型基板中的部位相关的基板信息调整基板与测量部件之间的距离之后，
对准装置方法电子器件制造存储介质

[实用新型]玻璃基板位置调整装置-CN201821037250.2有效
发明人：郭向阳;郭锋;刘文泰;李腾 -专利权人：芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭集团有限公司
申请日： 2018-07-02 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本公开涉及一种玻璃基板位置调整装置，用于调整玻璃基板的位置，玻璃基板包括沿传送装置传送方向延伸的第一侧边，以及垂直于传送装置传送方向的第二侧边，该位置调整装置包括用于推动玻璃基板沿第二侧边延伸方向移动的第一调整机构，和可滑动地安装在第一调整机构上的用于推动玻璃基板沿第一侧边延伸方向移动的第二调整机构，第一调整机构和第二调整机构分别包括一组用于限制玻璃基板位置的限位部和用于驱动限位部移动的驱动部，驱动部包括气缸和沿着气缸内壁移动的活塞这样，活塞在气缸内壁移动以驱动玻璃基板。此位置调整装置可以将错位的玻璃基板调整到位，避免玻璃基板在加工过程中发生破损，而且还可以避免发生二次错位，节省操作时间。
玻璃基板调整机构位置调整装置驱动玻璃基板沿活塞侧边延伸传送方向传送装置方向移动气缸内壁限位部侧边移动错位可滑动地气缸破损垂直延伸

[实用新型]四点接触球转盘轴承沟道中心到基准端面距离的测量装置-CN201420293538.1有效
发明人：姜正春;温泉;刘春雨 -专利权人：大连冶金轴承股份有限公司
申请日： 2014-06-05 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： G01B5/14 文献下载
摘要：四点接触球转盘轴承沟道中心到基准端面距离的测量装置，包括基板、调整板和测量圆片。所述的基板为精度较高的长条型基板，基板上设有用于调整板安装的一基板槽和三个螺纹孔。所述调整板宽度与基板槽相配合，调整板上设有用于连接基板的两个长条孔和用于铆接测量圆片的圆孔。所述测量圆片通过中心孔铆接在调整板圆孔处，调整板安装在基板槽内，并通过两个长条孔以三个内六角圆柱头螺钉预紧在基板三个螺纹孔处，组装成一种四点接触球转盘轴承沟道中心到基准端面距离的测量装置。本实用新型因能测出具体尺寸，为机床调整提供准确数据，减少调整工时，提高生产效率。
四点接触转盘轴承沟道中心基准端面距离测量装置

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