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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板搬运装置及基板载置部的旋转轴的探索方法-CN201880060082.5有效
发明人：吉田雅也;野口健治;冈田拓之 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2018-07-30 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：在基板载置部的多个旋转位置上，用物体检测传感器检测设置于基板载置部的目标，求出从机器人基准轴至目标的与轴心方向正交的方向的距离即指标长度或与其相关的信息，基于求得的指标长度或与其相关的信息，求出检测到位于连结机器人基准轴与旋转轴的直线上的目标时的，检测线的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置及基板载置部的以旋转轴为中心的旋转位置的至少一方的旋转位置，基于求得的旋转位置，对从机器人基准轴观察到的旋转轴所在的方向进行特定。
搬运装置基板载置部旋转轴探索方法

[发明专利]机器人以及手部姿势调整方法-CN202180054611.2在审
发明人：清水一平;冈田拓之;山中大辅;阿部任弘;佐藤淳一 -专利权人：川崎重工业株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-08-29 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B25J9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板姿势取得部、手姿势调整部和控制部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板姿势取得部取得与预定运送的所述基板即运送预定基板的姿势相关的信息。所述手姿势调整部能够调整所述手部相对于所述运送预定基板的姿势。所述控制部对所述臂部、所述手部以及所述手姿势调整部的动作进行控制。所述控制部根据与所述运送预定基板的姿势相关的信息，用所述手姿势调整部调整对于所述运送预定基板进行取出作业的所述手部的姿势。
机器人以及姿势调整方法

[发明专利]机器人以及基板形状异常检查方法-CN202180054607.6在审
发明人：清水一平;冈田拓之;山中大辅;阿部任弘;佐藤淳一 -专利权人：川崎重工业株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-08-29 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B25J13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板检测部以及基板形状异常检查部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板形状异常检查部根据由被所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。
机器人以及形状异常检查方法

[发明专利]机器人以及基板姿势检查方法-CN202180054635.8在审
发明人：清水一平;冈田拓之;山中大辅;阿部任弘;佐藤淳一 -专利权人：川崎重工业株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-08-29 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括手部、臂部、基板检测部以及基板姿势检查部。所述手部保持且运送所述基板。所述臂部连接在所述手部，使所述手部移动。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板姿势检查部根据没有由所述手部所保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度，来检查所述基板的姿势。
机器人以及姿势检查方法

[发明专利]基板搬运装置以及求出机器人与载置部的位置关系的方法-CN201880060083.X有效
发明人：吉田雅也;野口健治;冈田拓之 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2018-07-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：包括：在基板载置部上的改变目标的以旋转轴为旋转中心的旋转位置及检测区域的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置中的至少一方而得的多个旋转位置上，用物体检测传感器对作为目标的表面的一部分而位于以旋转轴为中心且通过目标的规定的圆周的内周侧的部分进行检测的步骤；对于多个旋转位置的每一个，求出与表示用物体检测传感器检测到目标时的从机器人基准轴至目标的距离的指标长度存在相关关系的量的步骤；以及基于多个旋转位置中的与指标长度存在相关关系的量最大或最小者，求出机器人基准轴与旋转轴的位置关系的步骤。
搬运装置以及求出机器人载置部位置关系方法

[发明专利]机器人-CN202180054552.9在审
发明人：清水一平;冈田拓之 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2021-08-29 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部和倾斜机构。所述臂部能够移动。所述手部被设置为从臂部突出，保持且运送所述基板。所述倾斜机构能够使所述手部的姿势倾斜。所述手部包括保持部。所述保持部能够接触到所述基板的上表面以及下表面。通过所述倾斜机构，所述保持部在以仅将力施加在将所述基板分为两等份的两个部分中的一个部分上的方式接触到该基板的上表面以及下表面的状态下，保持该基板。
机器人

[发明专利]机器人以及手部姿势调整方法-CN202180054557.1在审
发明人：清水一平;冈田拓之;山中大辅;阿部任弘;佐藤淳一 -专利权人：川崎重工业株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-08-29 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B25J9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种机器人，该机器人包括引导部、移动部、手部、变形取得部、姿势调整部和控制部。所述移动部被设置在所述引导部，能够在该引导部引导的方向移动。所述手部被设置在所述移动部，保持所述基板。所述变形取得部取得与所述引导部的变形相关的信息。所述姿势调整部能够根据所述变形取得部所取得的所述引导部的变形来调整所述手部的姿势。所述控制部控制所述姿势调整部的动作。所述控制部根据与所述引导部的变形相关的信息，用所述姿势调整部调整相对于运送预定的所述基板进行保持作业的所述手部的姿势。
机器人以及姿势调整方法

[发明专利]基板搬运机器人及基板保持手的光轴偏差检测方法-CN201980030615.X有效
发明人： 冈田拓之;吉田雅也 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B25J19/04 文献下载
摘要：本发明的基板保持手的光轴偏差检测方法取得理想光轴在水平的第一方向上延伸的手的基准回转位置；进行第一搜寻处理，该第一搜寻处理一边使手在以基准回转位置为基准的指定的第一回转位置向以回转轴为中心的放射方向移动，一边藉由光电传感器检测第一目标体，并求出此时手的与第一方向正交的水平的第二方向的位置作为检测位置；对第二目标体进行与第一搜寻处理相同的第二搜寻处理；基于藉由第一搜寻处理与第二搜寻处理求出的检测位置的差，检测光轴相对于理想光轴的倾斜。从回转轴至第一目标体及第二目标体为止的第二方向的距离相等，在手上，光轴和第一目标的交叉位置与光轴和第二目标的交叉位置不同。
搬运机器人保持光轴偏差检测方法

[发明专利]监视方法-CN201880075578.X有效
发明人：吉田雅也;冈田拓之;中矢敦史 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： B25J19/06 文献下载
摘要：用于对具有多个驱动部且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法，其特征在于包括：准备运转工序，将规定的工序动作进行一次以上，在多个工序部分的各者中，对于进行动作的驱动部，检测所设定的所有监视参数；分级工序，对于准备运转工序中检测出的所有监视参数的各者，基于规定的负荷评价方法导出负荷程度，从负荷程度大者起依序将检测出的所有监视参数进行分级；以及通常运转工序，主要对分级工序中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视。
监视方法

[发明专利]基板搬送装置及基板搬送机器人的示教方法-CN201780015069.3有效
发明人：吉田雅也;冈田拓之;福岛崇行;后藤博彦 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2017-02-28 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：控制器，使用从第一光传感器及至少一个的第二光传感器中选择的一个光传感器，使基板搬送手往光传感器的光路位于基板载置部的上方且不会与柱部干涉的检测开始位置移动，从检测开始位置使基板搬送手往下方移动至以光传感器检测到物体的检测位置，将基板搬送手位于检测位置时的光传感器距离光路的规定位置基准的高度，作为基板载置部的高度位置加以储存。
基板搬送装置机器人方法

[发明专利]状态监控系统以及状态监控方法-CN201880049169.2有效
发明人：吉田雅也;冈田拓之;藤森一夫 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2018-07-31 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B25J19/06 文献下载
摘要：特征在于，是用于监控对工件（W）进行作业的机器人（20）的状态的状态监控系统（10），执行以下步骤：从传感器获取状态数据并导出劣化指标参数的步骤（S1）；判定劣化指标参数是否超过针对比需要事后维修的级别低的级别预设的第一阈值的步骤（S2）；进一步对判定为劣化指标参数超过第一阈值的频次是否超过了预设的频次的阈值进行判定的步骤（S4）；和在判定为所述频次超过了频次的阈值时以停止以外的方式抑制机器人（20）的动作的步骤（S5）。
状态监控系统以及方法

[发明专利]影像确认计算机-CN202080085828.5在审
发明人：北野真也;中矢敦史;吉田雅也;藤森一夫;冈田拓之 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种影像确认计算机，其用於确认与机器人的动作相关的影像，该影像确认计算机具备存储部和运算部。所述存储部存储从所述机器人的控制器接收的电动机的位置信息和影像信息，该电动机用于驱动所述机器人的连杆体，该影像信息通过安装在所述机器人上的照相机获取。运算部使模型区域以及影像区域并排显示在本机以及连接于本机的计算机中的至少任一个上。在所述模型区域中，通过计算机绘图显示再现所述机器人的姿势的二维或三维的模型。在所述影像区域显示所述影像。
影像确认计算机

[发明专利]基板扫描映射装置、其扫描映射方法及扫描映射示教方法-CN202080046702.7在审
发明人：吉田雅也;北野真也;冈田拓之;清水一平 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2020-04-03 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B25J9/22 文献下载
摘要：基板扫描映射装置(4)对收容有沿规定的排列方向排列的多个基板(10)的容器内的基板(10)进行扫描映射。该基板扫描映射装置(4)具备：传感器(16)，其检测基板(10)的状态；操作器(14)，其使传感器(16)移动；以及控制装置(18)，其控制操作器(14)来使传感器(16)沿着扫描映射路径移动。控制装置(18)对在基板(10)的排列方向上位置不同的第一扫描映射位置和第二扫描映射位置进行设定，并使用第一扫描映射位置和第二扫描映射位置来设定扫描映射路径。
扫描映射装置方法

[发明专利]基板搬送装置及其运转方法-CN201980043224.1在审
发明人：福岛崇行;木下真也;松冈翔吾;冈田拓之 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种基板搬送装置，具备机械臂（30）；基板把持手（20）；执行器（40），使基板把持手（20）绕横摇轴旋转；以及控制装置（110），构成为执行：（A）以使基板（10）以基板把持手（20）的第一卡合构件（51）与第二卡合构件（52）保持的方式，使机械臂（30）动作；（B）在（A）之后，以基板（10）的第一主面（10A）位于比基座构件（50）上方，且第一主面（10A）的法线朝向比水平面（H）下方的方式，使执行器（40）动作；及（C）藉由可动导引构件（60）往基座构件（50）的梢端部侧移动，使得通过第二卡合构件（52）与第三卡合构件（53）与可动导引构件（60）把持基板（10）。
基板搬送装置及其运转方法

[发明专利]搬送装置的控制装置-CN201480084382.9有效
发明人：中矢敦史;冈田拓之;吉田雅也 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：控制装置（3）具备控制器（33），控制器（33）在劣化指标参数的值超过预先设定的阈值时使搬送机构（5）停止，且基于劣化指标参数的值的时间序列的变化模式，判定劣化指标参数值超过阈值是否是因搬送机构（5）的老化引起，在判定为劣化指标参数值超过阈值是因搬送机构（5）的老化引起的情况下，使搬送机构（5）降低动作速度地动作。
装置控制

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