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- [发明专利]灯具系统-CN202180014995.5在审
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多多良直树
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株式会社小糸制作所
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2021-02-12
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2022-10-04
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B60Q1/00
- 灯具系统(100)包括：路面描绘灯，其将光束(BM)照射到路面(900)；灯控制部(120)，其控制路面描绘灯，并通过光束(BM)，将图案(PTN)描绘于车辆前方的路面(900)。灯控制部(120)在预定事件的开始之前，描绘第1图案，伴随该事件的开始，描绘第2图案，该第1图案包含应预先向驾驶员提示，使得驾驶员可应对该事件的第1信息，该第2图案包含与该事件对应的第2信息。
- 灯具系统
- [发明专利]图案形成方法-CN200680026721.3无效
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高岛正伸;角克人
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富士胶片株式会社
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2006-07-06
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2008-07-23
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G03F7/20
- 本发明提供一种图案形成方法，其是进行使光调制机构倾斜来描绘的曝光的图案形成方法，不降低曝光速度，在感光层的被曝光面上形成锯齿的产生被抑制的希望的描绘图案，由此高精细且效率良好地形成配线图案等。因此，以使由再现利用描绘部形成的描绘像素而产生的锯齿的锯齿间距及锯齿振幅的至少任一个成为规定值的方式，设定描绘像素的排列间距(a)、倾斜角度(b)、描绘间距(c)、及相位差(d)的至少任一个，基于所述图案信息以规定的时刻调制控制所述描绘部来进行
- 图案形成方法
- [发明专利]带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法-CN201811220010.0有效
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中山贵仁
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纽富来科技股份有限公司
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2018-10-19
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2021-03-12
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H01J37/28
- 本发明涉及带电粒子束描绘装置及带电粒子束描绘方法。具备：描绘部，对载置于工作台的描绘对象的基板照射带电粒子束来描绘图案；标记基板，设置在工作台上，形成有标记；照射位置检测器，通过带电粒子束对标记的照射检测标记表面上的带电粒子束的照射位置；高度检测器，通过激光的照射及反射光的接受检测基板表面的高度及标记基板表面的高度；漂移校正部，根据检测出的照射位置计算标记表面上的带电粒子束的漂移量，据此计算漂移校正量；描绘控制部，使用漂移校正量校正带电粒子束的照射位置，标记基板具有形成多个标记的图案区域和未形成图案的非图案区域，非图案区域的至少一部分配置在图案区域间，高度检测器检测非图案区域内的检测点的高度。
- 带电粒子束描绘装置以及方法
- [发明专利]带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置-CN202010343027.6有效
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安井健一
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纽富来科技股份有限公司
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2020-04-27
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2022-11-25
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G03F7/20
- 实施方式涉及带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置。实施方式的带电粒子束描绘方法具备如下工序：使用被定义了图形图案的描绘数据，将所述图形图案分割为通过带电粒子束的发射而能够照射的尺寸的多个发射图形；将描绘对象基板虚拟分割成网格状而分为多个网格区域，基于所述图形图案的位置计算对邻近效应以及与邻近效应相比影响半径更小的中距离效应进行校正的校正照射量；使用所述校正照射量计算各发射图形的照射量；基于所述照射量计算所述发射图形的边缘部的不足照射量；基于所述不足照射量对所述发射图形进行尺寸调整；以及使用所述照射量的带电粒子束，对所述描绘对象基板描绘进行了尺寸调整的发射图形
- 带电粒子束描绘方法以及装置
- [发明专利]图案曝光装置以及图案曝光方法-CN202180082822.7在审
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鬼头义昭;加藤正纪
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株式会社 尼康
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2021-12-03
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2023-08-08
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G02B26/12
- 具有在基板上描绘图案的描绘单元的图案曝光装置具有：第1光源装置，其射出第1光束；第2光源装置，其射出第2光束；光束合成部，其将来自第1光源装置的第1光束和来自第2光源装置的第2光束以分别入射到描绘单元的方式进行合成；光束形状变形部，其以使投射到基板上的第1光束所形成的第1点光的形状与第2光束所形成的第2点光的形状相互不同的方式使入射到光束合成部的第1光束与第2光束各自的截面形状相互不同；以及控制装置，其以利用第1点光和第2点光中的任意一方或双方对在基板上描绘的图案的至少边缘部进行描绘的方式进行控制。
- 图案曝光装置以及方法
- [发明专利]图案曝光装置-CN201910225249.5有效
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加藤正纪
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株式会社尼康
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2015-04-27
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2021-08-27
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G02B26/10
- 一种图案描绘装置，通过激光的扫描点在被照射体上描绘出规定的图案，具备：光源装置(14)，其射出上述激光；多个描绘单元(U1～U6)，其用于入射上述激光来生成上述扫描点，包含用上述激光进行扫描的光扫描部件和光学透镜系统，并设置成使上述扫描点在上述被照射体上的不同区域进行扫描；和多个选择用光学元件(50、58、66)，其为了对是否使来自上述光源装置的上述激光向上述多个描绘单元中的被选择的上述描绘单元入射进行切换，而沿着来自上述光源装置的上述激光的行进方向直列地配置
- 图案曝光装置
- [发明专利]光束扫描装置及光束扫描方法-CN201811074083.3有效
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加藤正纪
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株式会社尼康
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2015-04-27
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2021-05-18
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G02B26/12
- 一种图案描绘装置，通过激光的扫描点在被照射体上描绘出规定的图案，具备：光源装置(14)，其射出上述激光；多个描绘单元(U1～U6)，其用于入射上述激光来生成上述扫描点，包含用上述激光进行扫描的光扫描部件和光学透镜系统，并设置成使上述扫描点在上述被照射体上的不同区域进行扫描；和多个选择用光学元件(50、58、66)，其为了对是否使来自上述光源装置的上述激光向上述多个描绘单元中的被选择的上述描绘单元入射进行切换，而沿着来自上述光源装置的上述激光的行进方向直列地配置
- 光束扫描装置方法
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