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- [发明专利]半导体器件及其制造方法-CN202310174180.4在审
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冯远皓;薛广杰;李乐
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武汉新芯集成电路制造有限公司
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2023-02-27
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2023-06-23
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H01L21/8238
- 本发明提供一种半导体器件及其制造方法,半导体器件的制造方法包括:提供一衬底,所述衬底包括NMOS器件区和PMOS器件区,所述NMOS器件区和所述PMOS器件区的衬底上均形成有栅极结构;形成缓冲层于所述NMOS器件区和所述PMOS器件区的衬底上,且所述缓冲层覆盖所述栅极结构;去除所述NMOS器件区上的缓冲层;形成应力层于所述缓冲层上;所述应力层为张应力层时,所述PMOS器件区上的缓冲层厚度大于所述NMOS器件区上的缓冲层厚度;所述应力层为压应力层时,所述NMOS器件区上的缓冲层厚度大于所述PMOS器件区上的缓冲层厚度。本发明的技术方案使得在提升NMOS器件和PMOS器件中的其中一个器件的性能且避免降低另一器件的性能的同时,还能避免增加芯片制造成本。
- 半导体器件及其制造方法
- [发明专利]光器件层的移设方法-CN202010315789.5在审
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小柳将
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株式会社迪思科
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2020-04-21
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2020-10-27
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H01L21/683
- 提供光器件层的移设方法,将光器件层移设,在进行激光剥离时,能够抑制光器件向移设部件的转移率降低。将光器件层移设的移设方法包含移设部件接合步骤、缓冲层破坏步骤、光器件层转移步骤、粘接剂去除步骤以及光器件层移设步骤。在移设部件接合步骤中,将光器件晶片和移设部件借助粘接剂而接合,在光器件晶片的被分割成芯片尺寸的光器件层与光器件层之间的间隙中填充粘接剂。在粘接剂去除步骤中,将填充至光器件层与光器件层之间的间隙中的粘接剂的至少一部分去除,以使得通过移设部件接合步骤而埋设于粘接剂层的光器件层从粘接剂层突出。
- 器件方法
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