专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种磁隧道结及其制备方法-CN202310332044.3在审
  • 刘知琪;冯泽鑫 - 北京航空航天大学
  • 2023-03-31 - 2023-05-02 - H10N50/10
  • 本申请公开了一种磁隧道结及其制备方法,首先在单晶硅晶圆上沉积绝缘氧化物层,然后在绝缘氧化物层上沉积共线磁钉扎层,随后在共线磁钉扎层上依次沉积非共线磁参考层、隧穿层和非共线磁自由层,结合光刻工艺,最终在硅晶圆上实现具有绝缘氧化层‑共线磁钉扎层‑非共线磁参考层‑隧穿层‑非共线磁自由层的全磁隧道结,由于绝缘氧化物层为单晶膜层,因此能够提高共线磁钉扎层的质量,增大非共线磁参考层和共线磁钉扎层之间的交换偏置作用,提高器件可靠性,同时,该磁隧道结可在硅晶圆上大规模制备,易于集成,具有写入速度快、存储密度高的优势。
  • 一种反铁磁隧道及其制备方法
  • [发明专利]一种无铅单晶及其制备方法-CN202211581452.4在审
  • 罗能能;赵邓小江;陈振培 - 广西大学
  • 2022-12-09 - 2023-03-14 - C30B29/30
  • 本发明公开了一种无铅单晶及其制备方法。该无铅单晶化学通式为(1‑x)AgNbO3‑xAgTaO3,其中0<x≤0.1,其制备方法为:根据化学通式按比例配备>O5,加入无水乙醇研磨、烘干,在氧气气氛下,升温、烧制合成熟料,以AgCl为助溶剂,按熟料:助溶剂=1:1~3:1配比,在氧气气氛下高温熔融,再缓慢降温,使单晶自发形核结晶本发明可生长出3~15mm大尺寸、钙钛矿正交结构的高质量、高纯度、可应用在高电场的工作环境下有相对可靠的温度稳定性、具有较小的剩余极化强度和较高的饱和极化强度、高可恢复能量密度、高功率密度的单晶
  • 一种无铅反铁电单晶及其制备方法
  • [发明专利]一种单晶薄膜及其制备方法-CN202111484387.9在审
  • 丑修建;毕开西;薛刚;梅林玉;穆继亮;何剑;侯晓娟 - 中北大学
  • 2021-12-07 - 2022-05-10 - H01L21/425
  • 本申请提供了一种单晶薄膜及其制备方法,包括:清洗单晶与衬底表面;将衬底与单晶进行间接键合,同时与基板进行临时键合;采用不同粒径的磨料对单晶进行减薄抛光;将抛光后的单晶从基板表面剥离,清洗单晶表面,得到单晶薄膜。本申请通过间接键合与化学机械抛光方法代替离子注入方法,可以避免由离子注入引起的薄膜表面晶格损伤,进而获得低厚度、高平整度、低损伤的单晶薄膜,满足高精度器件制备需求,可应用于集成电路制造,微传感器、微执行器等功能元件的制造;可以实现常温环境下制备,减少了在低温—高温—低温的变换过程中铁单晶由于热失配原因而产生的变形、碎裂等问题,提高产物的成品率。
  • 一种铁电单晶薄膜及其制备方法
  • [发明专利]一种剥离单晶薄膜的方法-CN201910690097.6有效
  • 江安全;陈一凡;张岩;江钧;柴晓杰 - 复旦大学
  • 2019-07-29 - 2023-07-04 - H01L21/683
  • 本发明涉及一种剥离单晶薄膜的方法,包括以下步骤:使用质子交换法在单晶材料表面形成厚度可控的贫Li离子的第二相单晶层;采用离子注入法剥离出铁单晶材料表面发生质子交换的所述第二相单晶层,获得薄膜层;使用反质子交换法补充所述薄膜层中缺失的Li离子,将薄膜层还原至原先单晶材料的晶体结构和化学配比。与现有技术相比,本发明将质子交换法和离子束剥离技术相结合,降低使用离子束剥离制造大面积单晶薄膜的难度,使离子束剥离单晶薄膜更加有效快捷,可应用于存储器和电晶体管制造等领域,降低存储材料的制造成本
  • 一种剥离铁电单晶薄膜方法
  • [发明专利]一种双层薄膜材料及制备方法、存储器-CN202211219801.8在审
  • 张思瑞;廖敏;周益春 - 西安电子科技大学
  • 2022-09-30 - 2023-05-09 - C23C14/08
  • 本发明涉及一种双层薄膜材料及制备方法、存储器,双层薄膜材料的制备方法包括:利用脉冲激光沉积技术,在具有[001]晶体取向的衬底上生长单晶缓冲层;利用脉冲激光沉积技术,在单晶缓冲层上生长单晶层,单晶层的材料包括Pb0.52Zr0.48TiO3;对样品进行降温处理,得到包括单晶缓冲层和单晶层的双层薄膜材料该制备方法通过缓冲层的引入实现了Pb0.52Zr0.48TiO3层的超薄厚度的生长,实现了单晶缓冲层和单晶层的原子级复合,使得Pb0.52Zr0.48TiO3薄膜的单晶分布均匀且具有畴结构,得到了铁电性能优异的双层薄膜结构,有利于实现电子设备的小型化。
  • 一种双层薄膜材料制备方法存储器

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