|
钻瓜专利网为您找到相关结果 3707857个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]晶片形状数据化方法-CN201980057835.1在审
-
大西理
-
信越半导体株式会社
-
2019-08-01
-
2021-04-09
-
H01L21/66
- 准备晶片(S1),对所准备的晶片,从晶片的中心开始将圆周360度分割为既定个数的角度,并测量每个角度半径方向的各个位置的厚度形状(S2、S3)。将由测量机所得的每个角度的厚度形状以6次以上的多项式进行近似,进行晶片厚度相对于半径方向的位置的函数化(S4)。将由测量机输出的厚度形状与由上述函数输出的厚度形状进行比较,确认在晶片全体为既定的误差以内(S5)。在此确认后,将每个上述角度的函数的信息作为表示晶片形状的数据添加至晶片提供给使用者(S6)。借此,提供一种能够降低晶片的形状数据的容量,且能够取得高精度的形状数据,且适用于取得晶片全体的形状的方法。
- 晶片形状数据方法
- [发明专利]一种金属表面超薄氧化层厚度的监测方法-CN202310270493.X在审
-
曾慧中;唐灵;张文旭;罗文博;张万里
-
电子科技大学
-
2023-03-20
-
2023-08-11
-
G01B7/06
- 具体为考虑了超薄金属薄膜的尺寸效应,电阻率与薄膜厚度有关,提出了一种金属表面超薄氧化层厚度的监测方法,有效的解决了电阻率对超薄氧化层厚度计算的影响。本发明采用四探针法测量样品的电阻率ρ,原子力显微镜(AFM)测量金属薄膜的厚度t,从而得到电阻率关于薄膜厚度t的数据曲线。通过数据拟合得到电阻率与厚度的函数关系ρ(t)。对待测样品而言,根据待测金属薄膜厚度,通过函数关系ρ(t)可得到该厚度对应的金属薄膜电阻率。将样品的电阻率代入基于电阻法的氧化层厚度公式,可得该金属表面超薄氧化层厚度与氧化时间的关系,从而对金属表面超薄氧化层厚度进行动态监测。同时在金属薄膜表面超薄氧化层测量过程中,只对样品进行方电阻的测量,电阻测量设备种类非常多而且价格低廉、测试成本低和操作简单等优点。
- 一种金属表面超薄氧化厚度监测方法
- [实用新型]一种墙体厚度检测装置-CN202222341474.5有效
-
刘亚青;李晓凡
-
刘亚青
-
2022-09-04
-
2023-01-24
-
G01B5/06
- 本申请公开了一种墙体厚度检测装置,涉及墙体厚度检测领域,解决了每次测量后,都要将数据记录下来,较为麻烦的问题,包括连接杆,两个连接杆的一端固定安装有固定板,其中一个连接杆的内壁开设有滑槽,滑槽的内壁嵌入有滑块,两个连接杆的顶端皆设置有移动机构,通过设置的移动机构和调节机构互相配合,在需要同时记录多组数据的情况下,能够通过改变移动板的位置,使移动板带动移动块移动,将其固定在某一位置,多次测量后,能一次观看多组数据,避免在对墙体厚度进行检测的时候,一般需要对墙体的多个不同位置进行测量,才能得出更准确的数据,在每次测量后,都要将数据记录下来,较为麻烦的问题,方便一次对多组数据同时观看。
- 一种墙体厚度检测装置
- [发明专利]一种冰层厚度监测系统与方法-CN202111006509.3在审
-
朱爱玺;余天堂
-
江苏信息职业技术学院
-
2021-08-30
-
2021-10-29
-
G01B21/08
- 本发明公开了一种冰层厚度监测系统与方法,涉及厚度测量技术领域,系统包括振管、装置支架、数据处理器以及与其相连的振动激励装置和振动采集装置,振管通过装置支架垂直埋设于待测冰层中,振动激励装置通过装置支架设置在振管上方,用于在测量时敲击振管提供激励,振动采集装置用于获取振动回波的轴向振动加速度时程信号,数据处理器对轴向振动加速度时程信号进行处理提取出振动回波主频率,数据处理器中存储有振管出厂前标定的不同冰层结冰厚度与对应的振动回波主频率的映射表,通过实时或周期性获取振动回波主频率得到相应的待测冰层结冰厚度。该系统测量量程大,对环境适应性强,得到的数据稳定可靠、使用寿命长。
- 一种冰层厚度监测系统方法
|