[发明专利]离子注入层载流子浓度测试方法有效

专利信息
申请号: 201410068932.X 申请日: 2014-02-27
公开(公告)号: CN103868952A 公开(公告)日: 2014-06-18
发明(设计)人: 李海燕;亢喆;程鹏 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心 11010 代理人: 秦莹
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种离子注入层载流子浓度测试方法。该方法包括步骤1,将样片固定到样片架上,对样片进行霍尔测试,获取样片的霍尔数据;步骤2,将样片从样片架上取下,进行离子注入、退火、以及清洗操作,测量样片的厚度,并重新将样片固定到样片架上并进行霍尔测试,获取相应的霍尔数据;步骤3,将样片从样片架上取下并清洗后,进行样片背面减薄工艺,取下样片,测量样片的厚度,并重新将样片固定到样片架上并进行霍尔测试,获取相应的霍尔数据;步骤4,重复步骤3,汇总霍尔数据和对应的样片厚度,获取霍尔数据随样片厚度的变化关系,根据变化关系确定样片的离子注入层载流子浓度。
搜索关键词: 离子 注入 载流子 浓度 测试 方法
【主权项】:
一种离子注入层载流子浓度测试方法,其特征在于,包括:步骤1,将样片固定到样片架上,对所述样片进行霍尔测试,获取所述样片的霍尔数据;步骤2,将所述样片从所述样片架上取下,进行离子注入、退火、以及清洗操作,测量所述样片的厚度,并重新将所述样片固定到所述样片架上并进行霍尔测试,获取相应的霍尔数据;步骤3,将所述样片从所述样片架上取下并清洗后,进行样片背面减薄工艺,取下样片,测量所述样片的厚度,并重新将所述样片固定到所述样片架上并进行霍尔测试,获取相应的霍尔数据;步骤4,重复步骤3,汇总霍尔数据和对应的样片厚度,获取霍尔数据随所述样片厚度的变化关系,根据所述变化关系确定所述样片的离子注入层载流子浓度。
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  • 本实用新型公开了一种宽泛氮氧化物及氧浓度测量分析仪器,包括氮氧化物传感器、烟气探杆、控制器、触摸显示屏及手提箱;手提箱的外壁上设置有开关、通讯线缆插接口及电源线缆插接口,控制器设置于手提箱内,氮氧化物传感器通过通讯线缆插接口与控制器通信连接,插头通过电线与电源线缆插接口连接,烟气探杆与氮氧化物传感器的探头可拆卸连接,触摸显示屏与控制器通信连接。本实用新型的有益效果是便于携带,通过为氮氧化物传感器设置可拆卸的烟气探杆,在常温气体的测量下可将烟气探杆从氮氧化物传感器上拆卸,测量高温气体的氮氧化物浓度时安装烟气探杆,保护氮氧化物传感器的探头,避免造成高温损坏,提高探头的使用寿命。
  • 一种电瓷绝缘子原料水分检测装置-201920222631.6
  • 陈启军 - 萍乡百斯特电瓷有限公司
  • 2019-02-22 - 2019-10-22 - G01N27/00
  • 本实用新型公开了一种电瓷绝缘子原料水分检测装置,包括底座、支架、检测箱、阳极网、阴极网、正极输出支座、负极输出支座、电源、操作显示屏、传送箱、传送带、落料斗、驱动电机、以及出料斗等部件。本实用新型要点在于装置单独设置了转运箱,使原料在经过转运箱内的传送带时能够均匀铺开,再后面进入检测箱时更好的与阳极网和阴极网接触。其中阳极网和阴极网上间隔设置有多条阳极电管和阴极电管,增加与原料的接触面,检测数据更加全面,整体数据误差低,缩短检测时间,提高生产效率。
  • 一种水质PH值检测电极保护装置-201821927523.0
  • 陈召峰 - 汇和环保(深圳)有限公司
  • 2018-11-22 - 2019-10-18 - G01N27/00
  • 本实用新型提供一种水质PH值检测电极保护装置,该水质PH值检测电极保护装置,包括托盘、套管、存水管,所述套管的底部与托盘的底部内侧装有密封圈,当水位下降时,套管靠重力挤压密封圈,从而实现密封效果,托盘深度不超过20mm,套管深度不低于150mm,存水管高度为套管高度的2倍以上,存水管上端设置限位螺丝,防止水位上升时套管脱轨。存水管侧壁均匀开孔。该水质PH值检测电极保护装置,使得装置便于放置在水池的内部,然后便于将PH传感器存放在存水管的内部,使得该装置可以对水池中每一次注满水后的PH进行准确检测,同时,当水位下降后,存水管内部始终可以保留有一定量的水,使得PH传感器始终存放在有水的环境中,对传感器形成了保护。
  • 一种新型voc在线检测报警装置-201822227448.3
  • 孙绍培;李婷 - 河北众智环境工程技术有限公司
  • 2018-12-28 - 2019-10-18 - G01N27/00
  • 本实用新型涉及安全警示附属装置的技术领域,特别是涉及一种新型voc在线检测报警装置,可以调节检测元件的长度,提高了适应性;并且检测元件可以拆卸,提高了实用性;包括工作箱、报警器和检测元件;还包括光滑管、伸缩杆、固定块、两组弹力弹簧、两组移动块、两组支腿和两组滚轮,伸缩杆右端穿过光滑管左端并且可移动至光滑管右端内部,伸缩杆右端内部设置有放置腔,两组滚轮外端分别与光滑管内顶右侧壁和内底右侧壁接触,螺纹管顶端和底端均横向连通设置有五组限位孔,还包括电机、转动轴、转动盘和固定板,电机顶端与工作箱内顶侧壁中间部位相连,电机顶部输出端与转动轴底端相连;还包括两组螺纹杆和两组转动块。
  • 一种氮氧化物检测装置-201822240088.0
  • 张伟利;王伟亮 - 河北众智环境工程技术有限公司
  • 2018-12-28 - 2019-10-18 - G01N27/00
  • 本实用新型涉及检测设备附属装置的技术领域,特别是涉及一种氮氧化物检测装置,可以对工作箱内部的空气进行搅拌,使氮氧化物在空气中混合的更均匀,提高了准确性;并且可以比较方便的对工作箱内部的空气进行多个位置的检测,提高了实用性;包括工作箱、检测元件、第一抽气机和第二抽气机,工作箱内部设置有工作腔,工作箱左端中间部位和右端中间部位分别连通设置有输入管和输出管;还包括第一电机、转动轴、转动盘、两组第二电机和两组传动轴,两组传动轴上均纵向设置有两组转动杆;还包括密封板、移动块、前凹型滑轨、后凹型滑轨、两组前工型滑块和两组后工型滑块,工作箱顶端中间部位连通设置有限位孔。
  • 烟雾感应探测器-201822255080.1
  • 李永富;邱立国;吕超;李远杰 - 珠海泰坦新动力电子有限公司
  • 2018-12-29 - 2019-10-18 - G01N27/00
  • 本实用新型公开了一种烟雾感应探测器,旨在提供一种烟灵敏度设置灵活、安全,可靠的雾感应探测器。本实用新型包括烟雾传感器、与所述烟雾传感器信号连接的电压判断控制单元、与所述电压判断单元相连接的信号发生单元及与所述信号发生单元相连接的报警电路;工作时,所述电压判断控制单元对所述烟雾传感器的电压信号进行判断,所述电压判断控制单元根据不同的电压信号启动所述信号发生单元发出不同的信号,所述报警电路根据所述信号发生单元发出的信号实现不同的报警。本实用新型应用于烟雾感应探测器的技术领域。
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