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- [发明专利]夹心型压电触摸屏-CN201210281813.3无效
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白志兴
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昆山攀特电陶科技有限公司
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2012-08-09
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2012-12-12
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G06F3/041
- 本发明公开了一种夹心型压电触摸屏，包括基板和用于固定基板的外定位框，所述基板的背面依次设有上柔性薄膜、片式压电元件和下柔性薄膜，所述上柔性薄膜和下柔性薄膜表面含有阵列式薄膜导电电路，所述片式压电元件的上、下表面分别设有上电极和下电极，压电元件的压电性能较高（特别是目前普通含铅压电陶瓷性能比现有性能最好压电薄膜的性能高出十几倍），可是通过对屏幕作用很小的力，使屏幕产生很小的形变，实现输出较大的电信号。可以良好解决压电触摸屏灵敏度不够的问题，该本发明的夹心式压电触摸屏不但具有较高灵敏度，还具有很高的稳定性及可靠性，本压电触摸屏具有结构创新性、制造成本低及性能优异等特点。
- 夹心压电触摸屏
- [发明专利]一种单晶压电薄膜及其制备方法-CN202210641726.8在审
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欧欣;陈阳;黄凯
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上海新硅聚合半导体有限公司
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2022-06-07
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2022-09-20
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H01L41/39
- 本申请公开了一种单晶压电薄膜及其制备方法，包括对单晶压电衬底的加工表面进行第一退火处理，以在加工表面形成钝化层；单晶压电衬底为铌酸锂；从加工表面对单晶压电衬底进行离子注入处理，使得单晶压电衬底内形成压电薄膜层与损伤层，得到包括压电薄膜层的单晶压电衬底；采用清洗剂进行清洗处理，得到清洗后的单晶压电衬底；将清洗后的单晶压电衬底沿加工表面与支撑衬底键合，得到键合结构；对键合结构进行剥离处理，使键合结构沿损伤层分离，得到单晶压电薄膜本申请通过在单晶压电衬底表面形成钝化层，能够有效避免压电薄膜层在制备过程中被腐蚀，降低制备工艺的复杂度，提升产品厚度的准确性与均匀性，提升产品良率。
- 一种压电薄膜及其制备方法
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