“压电薄膜 ”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果521766个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜-CN200610144250.8无效
发明人：乔东海;郝震宏;汤亮;田静 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2006-11-30 - 公布日： 2008-06-04 - 主分类号： H01L41/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种包含两种极化方向压电薄膜的传感振动膜，由由下至上的支撑层、下电极、压电薄膜和上电极组成；其特征在于，所述上电极包括相互分离的第一上电极和第二上电极，所述下电极为公共下电极，所述压电薄膜包括位于第一上电极正下方的第一压电薄膜区域，和位于第二上电极正下方的第二压电薄膜区域，所述第一压电薄膜区域与第二压电薄膜区域的极化方向相反，所述第一上电极和第二上电极分别作为整个振动膜的输入输出电极。本发明无需引出下电极，避免了刻蚀压电薄膜工艺，避免不同层跨接引线造成的断裂，提高器件的成品率；另外，本发明还能够提高传感振动膜的灵敏度。
一种包含极化方向压电薄膜传感振动

[实用新型]一种条形压电薄膜的测试装置-CN202121095588.5有效
发明人：张博宁 -专利权人：绵眠（上海）智能科技有限公司
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G01R29/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及压电薄膜生产领域，具体是一种条形压电薄膜的测试装置，包括检测模块和数据处理模块，检测模块包括脉冲震动单元、传感器托盘和被测膜放大采样单元，所述传感器托盘，用于放置压电薄膜；脉冲震动单元，通过脉冲电流产生一个固定大小的向下的脉冲震动压力，当这个压力传导到被测的压电薄膜时，压电薄膜可以产生响应数量的电荷；被测膜放大采样单元，对脉冲震动单元在压电薄膜产生的电荷进行捕获，通过放大与采样最后通过数据线传输给测试用的数据处理模块；本装置的结构设置，可以在生产连续批量测试压电薄膜的指标；可以不破坏压电薄膜既可测试；可以同时在不移动产品的同时测量多个点不同的指标；生产测试成本大大降低。
一种条形压电薄膜测试装置

[发明专利]压电体元件及其制造方法-CN200410045859.0有效
发明人：喜多弘行 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2004-05-20 - 公布日： 2004-12-01 - 主分类号： H01L41/08 文献下载
摘要：本发明涉及由第1电极膜、第2电极膜、第1电极膜及第2电极膜所夹的压电体薄膜构成的压电体元件，特征是上述压电体薄膜为氧化物压电体薄膜，其相对化学计量组成上具有0％以上至10％或10％以下的氧缺损量。与处于化学计量组成的氧化状态的氧化物压电体薄膜相比，具有上述氧缺损量的压电体薄膜制成的压电体元件有较大的压电性，而且，在该条件下制作，可以增大成膜速度，从而能改善批量生产性。
压电元件及其制造方法

[发明专利]一种增强型薄膜体声波谐振器-CN201910547565.4在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：金华伏安光电科技有限公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明涉及一种增强型薄膜体声波谐振器，包括第一电极层，所述第一电极层的上方设置有第一压电薄膜层；所述第一压电薄膜层上设置有第二电极层，所述第二电极层的上方设置有第二压电薄膜层；所述第二压电薄膜层的上方设置有第三电极层；该增强型薄膜体声波谐振器，通过设置两个压电薄膜层，形成两个能够叠加薄膜体声波谐振器，使得薄膜体声波谐振器的逆压电效应所产生的声波相位相同，能够进行叠加共振，从而增强声波的强度，也可以使得薄膜体声波谐振器的逆压电效应所产生的声波相位相反，产生更窄的共振波峰，具有更小的半峰宽，有利于提高利用增强型薄膜体声波谐振器进行温度、气体探测时的灵敏度。
压电薄膜层体声波谐振器增强型薄膜薄膜体声波谐振器逆压电效应第二电极第一电极声波相位共振叠加声波第三电极气体探测半峰宽灵敏度波峰

[发明专利]压电薄膜元件、压电致动器、压电传感器、硬盘驱动器以及喷墨打印装置-CN201610052092.7有效
发明人：佐久间仁志;太田龙 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：本发明的目的在于，补偿构成压电薄膜元件的压电薄膜的氧缺陷并且进一步提高压电特性，以及进一步降低漏电流密度。本发明所涉及的压电薄膜元件，其特征在于，所述压电薄膜元件具备一对电极层和被所述一对电极层夹持的压电薄膜，所述一对电极层由Pt(铂)构成，至少在任意一个所述电极层中含有氧化物颗粒，所述氧化物颗粒是构成所述压电薄膜的至少任意一种元素的氧化物颗粒或者
压电薄膜元件致动器传感器硬盘驱动器以及喷墨打印装置

[发明专利]一种能够提升介电性能的压电薄膜生产工艺-CN202211007198.7在审
发明人：管建国;管涛;李阳 -专利权人：三三智能科技（日照）有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L41/257 文献下载
摘要：本发明公开了一种能够提升介电性能的压电薄膜生产工艺，具体涉及功能材料制备技术领域。通过对压电薄膜的介电系数以及加工环节中流程对压电薄膜介电系数的影响进行分析，可以得出压电薄膜的结晶相本征介电性和压电薄膜的尺寸效应是介电特性主要的变化依据，根据分析结果，进行了初始薄膜制备、单轴拉伸、高压极化、磁控溅射等制备工艺，对每项工艺步骤的参数进行探索，并对PVDF敏感材料进行传感器封装，进行了传感器产品非常重要的压电系数参数的检测，其静态压电系数d33达到13.1PC/N，满足使用要求，获得可以实际工程配套的工程化产品，提高了对压电薄膜的自动化加工效果，且在保障加工效率的同时对压电薄膜的介电性起到了保障的作用。
一种能够提升性能压电薄膜生产工艺

[实用新型]一种高性能声表面波滤波器-CN202220212219.8有效
发明人：吴亮;付丹扬;王琦琨 -专利权人：奥趋光电技术（杭州）有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高性能声表面波滤波器，其结构至少包括：1）R取向蓝宝石单晶衬底；2）在所述衬底上的非极性面AlN薄膜层；3）所述AlN薄膜层上的非极性面AlScN压电薄膜层；4）所述AlScN压电薄膜层上表面向下刻蚀形成的AlScN压电叉指结构层；其中向下刻蚀的深度小于所述AlScN压电薄膜层；5）设置在所述AlScN压电叉指结构层上表面且与所述AlScN压电叉指结构层形成电连接的叉指换能器。本实用新型衬底采用r取向，实现了非极性面AlN薄膜层及非极性面AlScN压电薄膜层，增大了机电耦合系数K2；减低器件插入损耗，提高品质因子（Q值）；AlScN压电薄膜层上表面部分的压电层叉指结构的设计，
一种性能表面波滤波器

[发明专利]一种聚偏氟乙烯压电薄膜及其制备和应用-CN202310508657.8在审
发明人：胡志军;王广阔 -专利权人：苏州大学
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H10N30/857 文献下载
摘要：本发明属于压电传感技术领域，具体涉及一种聚偏氟乙烯压电薄膜及其制备和应用。该聚偏氟乙烯压电薄膜的材质为聚偏氟乙烯均聚物，聚偏氟乙烯压电薄膜的表面具有粗糙度，所述粗糙度的轮廓算数平均偏差为0.01‑100，均方根为0.006‑60μm。本发明PVDF压电薄膜具有良好的压电性能和较好的温度稳定性；利用本发明PVDF压电薄膜制备的传感器具有较高的使用温度，有利于其广泛使用。
一种聚偏氟乙烯压电薄膜及其制备应用

[实用新型]一种N×N阵列的压电薄膜柔性压力传感器-CN202320524222.8有效
发明人：殷俊伟;郭舒宁;崔云先;王浩宇;鄂明锋 -专利权人：大连交通大学
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种N×N阵列的压电薄膜柔性压力传感器，包括基底（1），基底（1）底部设有工作平面（3），工作平面（3）从下至上依次设置NiCr底电极薄膜（4）、ZnO功能薄膜（5）和NiCr顶电极薄膜（6），NiCr底电极薄膜（4）、ZnO功能薄膜（5）和NiCr顶电极薄膜（6）在工作平面（3）上按照NiCr‑ZnO‑NiCr的顺序分别沉积，形成三明治结构的压电薄膜；将N×N个压电薄膜排布成N行N列，N为自然数，N大于2；每一列N个压电薄膜进行串联，相邻两个压电薄膜通过NiCr底电极薄膜（4）和NiCr顶电极薄膜（6）进行连接；串联后的N列压电薄膜被并联起来，信号由并联后的两个NiCr信号引出端引出
一种阵列压电薄膜柔性压力传感器

[发明专利]薄膜机翼流致振动压电能量收集试验装置-CN202110188049.4有效
发明人：戴玉婷;黄广靖;杨超 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G01M9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜机翼流致振动压电能量收集试验装置，属于气动弹性能量收集技术领域，包括支座、薄膜机翼和压电片；支座两侧两挡板之间通过机翼连接转盘安装薄膜机翼，该薄膜机翼通过转轴盘带动实现迎角可调。薄膜机翼包括前后缘轴、前部金属薄膜和后部橡胶薄膜，金属薄膜上串联压电片；在进行薄膜机翼迎角调节时：首先，对薄膜机翼进行迎角调节；调节到试验需要迎角后固定；随后通过转动后缘轴卷收橡胶薄膜，施加需求应力，最后在气流作用下，该薄膜机翼产生流致振动，压电片将应变能转化为电能。本发明可有效延长压电片的使用寿命；且在保证不影响薄膜机翼的气动性能的同时，实现不同环境下的能量收集，保证能量转化效率。
薄膜机翼振动压电能量收集试验装置

[发明专利]一种基于锯齿形结构的压电传感器及自供电振动监测装置-CN202310793976.8在审
发明人：张春利;温琦琛;陈伟球 -专利权人：浣江实验室;浙江大学
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于锯齿形结构的压电传感器及自供电振动监测装置；该压电传感器其包括承压块、锯齿形压电薄膜和基体。锯齿形压电薄膜设置在承压块与基体之间。锯齿形压电薄膜上形成多个与承压方向的法平面具有倾斜角度θ的倾斜压电膜单元。本发明在压电传感器中使用锯齿形压电薄膜，以及同样具有锯齿结构的基体以及承压块，使得压电传感器受压时锯齿形压电薄膜同时产生d31和d33方向的压电效应，当锯齿倾斜角度处于合理范围时，有助于在同等压力下增大锯齿形压电薄膜的输出信号，提高压电传感器的检测精度。
一种基于锯齿形结构压电传感器供电振动监测装置

[发明专利]测量脉搏的PVDF阵列触觉传感器-CN200810243318.7有效
发明人：宋爱国;屈传坤;李建清;吴涓;李会军;崔建伟;王爱民 -专利权人：东南大学
申请日： 2008-12-26 - 公布日： 2009-07-08 - 主分类号： A61B5/024 文献下载
摘要：本发明公开了一种信息采集全面且准确的测量脉搏的PVDF阵列触觉传感器，包括金属衬底，在金属衬底中央区设有中央PVDF薄膜，在金属衬底的边缘区设有第一PVDF压电薄膜、第二PVDF压电薄膜，第三PVDF压电薄膜及第四PVDF压电薄膜。与现有技术相比，本发明测量脉搏的PVDF阵列触觉传感器具有如下优点：由于采用中间一片圆形PVDF压电薄膜，周围四片弧形条状PVDF压电薄膜的对称、环形结构，这种对称结构在使用时脉搏传感器在手腕切诊部位的放置角度不会对信号采集造成影响
测量脉搏 pvdf 阵列触觉传感器

[发明专利]薄膜压电元件、压电致动器、压电传感器、硬盘驱动器和喷墨打印机装置-CN201380045724.1有效
发明人：佐久间仁志;会田康弘;仓知克行;前岛和彦 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2013-08-30 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： H01L41/187 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜压电元件(100)，其包括一对电极层(12，5)和夹在该对电极层之间的压电薄膜(3)，其中该压电薄膜包含稀有气体元素并且在压电薄膜的厚度方向上具有稀有气体元素的含量的梯度。
薄膜压电元件致动器传感器硬盘驱动器喷墨打印机装置

[发明专利]一种高密度指向性压电电声换能器阵列的制作方法-CN201910721646.1有效
发明人：王焕焕;葛斌 -专利权人：常州元晶电子科技有限公司
申请日： 2019-08-06 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： H04R31/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高密度指向性压电电声换能器阵列的制作方法，其中一个单元制作方法为：硅片晶圆的上表面依次沉积下电极、下层压电、中间电极、上层压电、上电极薄膜形成双层压电薄膜层结构；将双层压电薄膜层结构进行纵向光刻将双层压电薄膜层结构分为左中右三个部分；左部分双层压电薄膜光刻并刻蚀至露出下电极薄膜；右部分双层压电薄膜光刻并刻蚀至露出下中间电极薄膜；生成的三个部分的上表面进行沉积金属电连接薄膜并图形化制作打线；将中间部分的硅片晶圆进行正面腐蚀释放形成带有倾角的空腔部分
一种高密度指向压电电声换能器阵列制作方法

[发明专利]一种缝尖端区域最优压电薄膜摆放形状的确定方法及系统-CN202110373862.9有效
发明人：王可军;陆耀;归悦承;王倩;樊成 -专利权人：苏州大学
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明公开了一种缝尖端区域最优压电薄膜摆放形状的确定方法及系统，该方法包括：根据压电薄膜摆放形状曲线与最大极值面相垂直，得到压电薄膜摆放形状曲线的切线方程，并根据切线方程得到压电薄膜摆放曲线。本发明缝尖端区域最优压电薄膜摆放形状的确定方法及系统简单可行，得到的摆放形状可以保证缝结构的稳定性，同时获得缝尖端区域最有效的电荷输出。
一种尖端区域最优压电薄膜摆放形状确定方法系统