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- [实用新型]用于单晶炉的同步旋转提升装置-CN201120243903.4有效
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房志刚
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常州江南电力光伏科技有限公司
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2011-07-12
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2012-03-28
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C30B15/30
- 本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种用于单晶炉的同步旋转提升装置,包括炉体,所述炉体上部设置有能够旋转的上提升杆,上提升杆的上端部为螺纹杆、下端位于炉体内,以及设置在炉体上部驱动提升杆转动的驱动装置;在炉体下部设置有能够旋转的同步上升杆,同步上升杆的上端位于炉体内、下端部为螺纹杆,在炉体的下部设置有驱动同步上升杆转动的驱动机构;还包括控制驱动装置、驱动电机工作的控制器。在单晶硅生产过程中,上提升杆上升并由其下端对单晶硅进行提升,在上提升杆上升的同时,控制器会通过控制第二伺服电机驱动同步上升杆同步上升,从而保证坩埚内的融化物,满足长晶的需求,不会出现断晶的现象,保证单晶硅的生长质量
- 用于单晶炉同步旋转提升装置
- [实用新型]单晶炉-CN201520551692.9有效
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张永波;陈彪;黄修康;薛抗美
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江苏协鑫软控设备科技发展有限公司
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2015-07-27
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2015-12-30
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C30B15/00
- 本实用新型提出了一种单晶炉,该单晶炉包括:主炉体;副炉体,装配在所述主炉体的上部;支撑柱,位于所述主炉体与所述副炉体的一侧;连接机构用以连接所述支撑柱与所述副炉体,其中,该连接机构包括旋转轴与连接板,所述旋转轴固定在所述支撑柱的侧壁,所述连接板与副炉体固定连接,与支撑柱转动连接,还包括旋转驱动机构,连接所述连接板,所述旋转驱动机构可驱动连接板带动所述副炉体以垂直于所述旋转轴的轴线方向转动。这样,单晶炉由于旋转驱动机构的存在,工作人员可通过控制旋转驱动机构推动连接板带动副炉体转动,替代了传统意义上要通过人力推动副炉体转动,这样降低了人力的成本,提高了生产效率。
- 单晶炉
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