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[实用新型]匀胶机-CN201520017339.2有效
发明人：刘晓斌 -专利权人：天津中商美华科技有限公司
申请日： 2015-01-12 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶机，它涉及薄膜工艺匀胶技术领域。控制按钮，嵌入式本体外壁前侧设置有彩色触控屏和控制按钮，彩色触控屏与PLC控制器相连，嵌入式本体内部设置有真空载物盘，真空载物盘上方设置有PC透明盖，真空载物盘底部中心通过减速器连接有工业级直流马达；所述的匀胶机设置有自动点胶端口
匀胶机

[实用新型]匀胶机-CN201922278649.0有效
发明人：奉建华;林彬;穆俊宏;王文君;蔡星周;张继华 -专利权人：成都迈科科技有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种匀胶机，包括机体，机体上设置有电机、滴胶机构、吸盘和抽真空泵，吸盘包括筒体、顶板以及底板，底板固定设置于筒体的下端口，顶板水平固定于筒体的上端口，且顶板上设置有多个与储气室连通的气孔
匀胶机

[实用新型]匀胶机-CN201922108631.6有效
发明人：张秀全;朱厚彬;罗具廷;李真宇;张涛 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： B05C13/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种匀胶机，包括匀胶碗、盖体以及真空吸盘，其中：匀胶碗中设置有真空吸盘，真空吸盘通过真空通道连接于真空泵；盖体扣合于匀胶碗，盖体为透明状，盖体的中心位置开设有滴胶口，滴胶口与真空吸盘的中心位于同一铅垂线上；滴胶口可拆卸连接有密封塞，密封塞包括一体成型的塞帽和内塞，塞帽的尺寸大于滴胶口的尺寸，内塞嵌合于滴胶口中；匀胶碗的侧壁上开设有基片口，基片口的位置高于真空吸盘的位置，基片口设置有密封门，密封门可上下提动本申请通过位于基片中心正上方的滴胶口，确保操作人员将试剂滴加至基片中心位置，从而保证了液体材料的厚度均匀性。且通过基片口能够高效的更换基片，从而无需反复开合盖体，提高匀胶的效率。
匀胶机

[实用新型]匀胶机-CN201822227861.X有效
发明人：李勃超;李柳;潘启明 -专利权人：深圳市比克动力电池有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： B29C41/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种匀胶机，包括载片台，所述载片台上设有用于放置衬底片的圆盘，所述圆盘周向均匀设有用于将所述衬底片夹持固定的多个夹持杆，各所述夹持杆的夹持端位于所述圆盘上方，各所述夹持杆的另一端弯折后水平延伸至所述圆盘下方形成活动端
弹性组件夹持杆驱动机构活动端本实用新型凸轮转动衬底片匀胶机底片夹持固定的夹持端载片台移动抵接上套推顶弯折装夹拆卸维护

[实用新型]匀胶机-CN202122842862.7有效
发明人：林通 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种匀胶机，其包括至少一组承载组件、主旋转轴和至少一副旋转轴，一组所述承载组件与一所述副旋转轴传动连接以通过所述副旋转轴驱动所述承载组件旋转，各所述副旋转轴均与所述主旋转轴传动连接，以通过所述主旋转轴驱动各所述副旋转轴带动与其传动连接的各所述承载组件绕所述主旋转轴旋转本实用新型实施例可以降低通过匀胶机形成在基板上的薄膜中心和薄膜边缘的厚度差异。
匀胶机

[实用新型]匀胶机-CN201020693622.4无效
发明人：林盛浩;王友旺;胡华;肖雁行;刘宝亮 -专利权人：深圳深爱半导体股份有限公司
申请日： 2010-12-31 - 公布日： 2012-01-04 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶机，包括机架和旋转轴，还包括固定在所述机架上的轴套，所述机架设有与所述轴套适配的空腔，所述轴套放入所述空腔后被固定；所述轴套为管状与所述旋转轴适配，所述旋转轴通过可转动的固定在所述轴套中这种匀胶机通过设置固定在机架上的与旋转轴适配的轴套，当匀胶机因碎片或其他原因导致胶渗入需要清洗时，只需要拆下轴套即可以进行清洗，是一种容易拆卸清洗的匀胶机。
匀胶机

[外观设计]匀胶机-CN201630495618.X有效
发明人：张衡;姚纪文;赵晋慧 -专利权人：苏州汶颢芯片科技有限公司
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称匀胶机。2．本外观设计产品的用途本外观设计产品用于半导体材料（硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等）工艺，制版的表面均匀涂覆。3．本外观设计产品的设计要点整体形状。
匀胶机

[实用新型]一种硅片加工用匀胶机-CN201520933669.6有效
发明人：张运;孙者利 -专利权人：济南卓微电子有限公司
申请日： 2015-11-23 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：一种硅片加工用匀胶机，包括机架，机架上设有匀胶部分，匀胶部分包括匀胶辊，匀胶辊包括主动匀胶辊和从动匀胶辊，匀胶机还包括动力部分，动力部分包括电机及在电机带动下转动的传动部件，主动匀胶辊与所述传动部件连接本匀胶机具有主动匀胶辊和从动匀胶辊，通过与胶瓶之间的摩擦力，打动胶瓶匀速转动，以完成稀释剂与光刻胶之间的均匀混合；本匀胶机结构简单、使用便利、成本低廉，大大减少了人工劳动量，适用于添加剂与胶液之间的匀匀混合之用途。
一种硅片工用匀胶机

[实用新型]匀胶机配件和生产系统-CN202021851786.5有效
发明人：李莹;赵东峰;杨海涛;李坤;韩兴君;郭培亮;张玉良 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶机配件和生产系统，其中，所述匀胶机配件包括载物台和匀胶仓，所述载物台具有固定匀胶件的承载面；所述匀胶仓环设于所述载物台的周缘，并形成有罩盖所述匀胶件的匀胶腔，所述匀胶仓与所述载物台同步旋转本实用新型技术方案的匀胶机配件可有效解决大面积的晶圆匀胶不均匀或缺胶问题。
匀胶机配件生产系统

[实用新型]一种匀胶机喷口清洗装置及匀胶机-CN202122344028.5有效
发明人：吴觉民;张剑桥;陆前军;吴先燕 -专利权人：广东中图半导体科技股份有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： B05B15/55 文献下载
摘要：本实用新型属于匀胶机技术领域，公开了一种匀胶机喷口清洗装置及匀胶机，该匀胶机喷口清洗装置设有可升降的清洗组件，将匀胶机喷口从壳体的探入口伸入壳体，而后在驱动模块的驱动下，清洗液容纳件升起，使匀胶机喷口进入清洗液容纳件的开口腔，通过清洗液补充管向开口腔补充清洗液，即可将匀胶机喷口浸入清洗液，对于连接管较短的情况，也可以增大匀胶机喷口浸入清洗液的体积，扩大了其清洗体积；在浸泡过程中，通过扰动气体输入管向开口腔充入扰动气体，加速腔体内清洗液的流动本实用新型提供的匀胶机采用上述的匀胶机喷口清洗装置，因此也具有高效清洁的效果，且适用于连接管较短的喷口。
一种匀胶机喷口清洗装置

[实用新型]一种匀胶显影机用光刻胶回收装置-CN202020671612.4有效
发明人：陈炳添 -专利权人：厦门恒坤新材料科技股份有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及匀胶显影机技术领域，尤其涉及一种匀胶显影机用光刻胶回收装置，解决了现有技术在匀胶显影机的工作过程中会使用到较多的光刻胶，而这些光刻胶在旋转匀胶的过程中，会被甩落较多，造成资源的浪费的缺点，包括匀胶机，其外表面设置有控制面板，且匀胶机的底部设置有多个支脚，匀胶罐设置于匀胶机的顶部，且匀胶罐的内部安装有作业盘，所述匀胶罐的内部两侧均开设有安装槽及装载口，支板一侧设置有回收柜。本实用新型利用T型结构的安装杆及安装槽，实现支板与匀胶罐的组装连接，对晶圆片旋转匀胶过程中甩出的光刻胶进行回收二次利用，且通过装载口可方便的对安装杆进行分离组装，保持光刻胶的回收工作持续性进行。
一种显影用光回收装置

[实用新型]一种匀胶环结构-CN202221778782.8有效
发明人：李慧敏;钟伟华;彭足超;李景浩 -专利权人：福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及匀胶技术领域，特别涉及一种匀胶环结构，包括嵌设在匀胶机的匀胶端的圆形开口处的环体，环体包括第一圆环、第二圆环和第三圆环，第一圆环和第二圆环均匀胶机的匀胶端的圆形开口内，第三圆环位于匀胶机的匀胶端的圆形开口的外部，第三圆环用于稳定固定在匀胶机的匀胶端上，第二圆环用于减小匀胶机的匀胶端的开孔面积，第一圆环能够防止真空吸盘甩开的胶液溅出，通过减小开放空间可降低溶剂挥发速度使整个晶圆片表面上光刻胶的粘度保持相对一致从而达到较均匀稳定的膜厚
一种匀胶环结构

[实用新型]一种匀胶机-CN202321130055.5有效
发明人：徐江;李峃蔚 -专利权人：四川妙帮塑业有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶机，包括匀胶机本体、匀胶碗、旋胶台、连接杆和控制器。本实用新型通过设置控制面板启动连接安装机构，使连接安装机构将旋胶台与连接杆进行稳定的拆卸安装，再通过控制面板启动定位密封机构对旋胶台与连接杆进行进行稳定的坻紧密封，解决了现有的匀胶机在使用中，往往需要根据使用需求，对匀胶机上的旋胶台进行拆卸更换，以方便匀胶机对不同大小的物品进行加工，但在实际的使用中，匀胶机上的旋胶台不仅不便于进行拆卸，还易因与真空泵之间的密封连接不紧密，导致旋胶台上生产的物品出现加工次品的情况，因此匀胶机在使用中不便于稳定的更换旋胶台，降低了匀胶机使用效果的问题。
一种匀胶机

[实用新型]带有FFU单元的匀胶机-CN201920694269.2有效
发明人：王云翔;冒薇;段仲伟;马冬月;许爱玲;李晓帅;祝翠梅;姚园 -专利权人：苏州美图半导体技术有限公司
申请日： 2019-05-15 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种匀胶机，尤其是一种带有FFU单元的匀胶机，属于匀胶机的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述带有FFU单元的匀胶机，包括机架以及位于所述机架上的匀胶腔室；在所述匀胶腔室的顶部设置能提供洁净空气的FFU单元，在匀胶腔室的下部设置用于将气体排出的排风口；在匀胶腔室内设置有多孔工作面板以及设置于所述多孔工作面板上的载液池，在所述载液池内设置用于支撑匀胶衬底的匀胶载盘，在多孔工作面板上设置能封闭载液池的盖板；FFU单元产生的洁净空气进入匀胶腔室内，透过多孔工作面板后能经排风口排出。本实用新型结构紧凑，能提供匀胶工艺中所需的无尘环境，使用方便，安全可靠。
匀胶匀胶机工作面板本实用新型腔室洁净空气排风口排出载液室内单元产生顶部设置无尘环境盖板衬底液池载盘封闭支撑

[实用新型]匀胶机托盘及匀胶机-CN201820556703.6有效
发明人：屈军乐;刘毋凡;杨志刚 -专利权人：深圳大学
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶机托盘，涉及旋转涂覆设备领域，该匀胶机托盘设置有上托盘、下托盘、上托盘卡合结构以及下托盘卡合结构，由于上托盘上安装有上托盘卡合结构、下托盘上安装有下托盘结构。本实用新型还公开了一种匀胶机，当匀胶机工作时，上托盘和下托盘通过上托盘卡合结构以及下托盘卡合结构卡合在一起，可以实现阻挡制片过程中甩脱的物质，当放置载玻片和取出载玻片时，通过拆卸上托盘卡合结构以及下托盘卡合结构
上托盘下托盘卡合结构匀胶机托盘本实用新型取出旋转涂覆设备镊子载玻片卡合伸入制片拆卸阻挡

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