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- [实用新型]显影机废液箱报警控制装置及显影控制系统-CN201120452488.3有效
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王友旺;林盛浩
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深圳深爱半导体股份有限公司
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2011-11-15
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2012-07-11
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G05D9/12
- 本实用新型涉及一种显影机废液箱报警控制装置,包括报警控制子模块,报警控制子模块包括:液位传感器,用于在废液箱液位到达设定阈值时向继电器线圈发送上电信号;继电器,包括继电器线圈及继电器触点组;继电器线圈连接液位传感器,接收到上电信号后上电;继电器触点组的第一常开触点一端连接地线,另一端在继电器线圈上电时向显影机输出停止显影的控制信号;提醒单元,与继电器触点组的第二常开触点串联,在继电器线圈上电时第二常开触点闭合使提醒单元得电进行提醒。本实用新型还涉及一种显影系统。本实用新型在液位传感器检测到废液箱溢满时发出停止显影的控制信号,显影机不再产生新的废液,杜绝了废液溢出的现象,提高了生产效率及安全性。
- 显影废液报警控制装置控制系统
- [发明专利]甩版清洗机及光刻版的清洗方法-CN201110241637.6无效
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王友旺;裴新;林盛浩;胡华
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深圳深爱半导体股份有限公司
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2011-08-22
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2012-02-22
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B08B3/02
- 本发明涉及一种甩版清洗机,包括甩版清洗机控制电路、驱动装置、光刻版夹持装置、出水阀、喷水头、出气阀、喷气头、加热装置以及管线;甩版清洗机控制电路与驱动装置、出水阀、出气阀以及加热装置电连接,用于控制驱动装置驱动光刻版夹持装置绕转轴旋转,还用于控制出水阀、出气阀的开关以及控制加热装置加热;出水阀通过水管连接喷水头将去离子水喷射在光刻版上;出气阀通过气管顺次与加热装置和喷气头连接,喷气头将加热后的气体喷向光刻版。本发明还涉及一种光刻版的清洗方法。本发明光刻版表面在清洗时边甩边烘干,洗版效率比传统技术高很多,且不再出现光刻版表面有水印的情况。清洗完毕后光刻版直接放入版盒里面,不会带来二次玷污。
- 清洗光刻方法
- [实用新型]气动排水阀以及溢水装置-CN201020693725.0有效
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王友旺;裴新;林盛浩
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深圳深爱半导体股份有限公司
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2010-12-31
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2012-02-15
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F16K1/00
- 本实用新型涉及一种气动排水阀,气动排水阀包括阀芯、阀座以及排水挡板;阀芯包括相互连接的头部和杆部,阀座内开设有中空的气腔以及与气腔连通的通孔;头部与气腔紧密配合并可在气腔内滑动,杆部与通孔紧密配合并从通孔穿出,头部与所述阀座相抵持;阀座还开设有与所述气腔连通的第一进气孔和第二进气孔,分别与由电磁阀控制的两条进气通道相连;排水挡板与杆部固定连接,阀芯带动排水挡板实现对排水口的打开与关闭。本实用新型还涉及一种溢水装置。本实用新型通过电磁阀控制是否对两个进气孔通气,从而控制排水阀的打开和关闭,操作简单,排水较彻底。
- 气动水阀以及装置
- [实用新型]匀胶机的滴胶结构-CN201020689485.7无效
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王友旺;林盛浩;胡华;肖雁行;刘宝亮
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深圳深爱半导体股份有限公司
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2010-12-30
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2011-12-28
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B05C5/00
- 本实用新型涉及一种匀胶机的滴胶结构,包括带有中空的内腔的滴胶头以及带有中空内腔的滴胶头转接头,滴胶头包括顺序连接的嘴部、抵止部、内结合部以及伸入部,滴胶头转接头的中空内腔包括外结合部和管结合部;内结合部能匹配套接在所述滴胶头转接头内;抵止部的尺寸大于所述外结合部的管径,内结合部套入所述滴胶头转接头后与抵止部相抵持;伸入部尺寸小于内结合部以形成台阶;滴胶头转接头的中空内腔通过滴胶头的内腔与外界连通。上述匀胶机的滴胶结构,在伸入部与内结合部的相接之处形成了台阶,当胶泵关闭后,内壁的余胶会积存在台阶处,因此解决了滴余胶的现象,且也不易产生气泡。保证了滴胶和匀胶的质量。
- 匀胶机胶结
- [实用新型]气动水阀-CN201020693615.4无效
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王友旺;裴新;林盛浩
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深圳深爱半导体股份有限公司
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2010-12-31
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2011-12-28
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F16K31/12
- 本实用新型涉及一种气动水阀,包括顺序连接的阀盖、阀身以及阀座,还包括阀芯;阀盖开设有第一进气孔;阀身开设有中空的气腔以及与气腔连通的通孔,阀身还开设有与气腔连通的第二进气孔;阀座开设有中空的内腔以及与内腔连通的第一水孔和第二水孔;阀芯包括阀身部和阀座部,阀身部包括相连的头部和杆部,头部与气腔紧密配合并可在气腔内滑动,头部与阀座相抵持,杆部在尾端沿自身的延伸方向开设有连接孔;阀座部包括相连的连接部和抵止部,连接部插入连接孔与阀身部固定连接,第一进气孔和第二进气孔与由电磁阀控制的两进气通道相连。本实用新型通过电磁阀控制排水阀的打开和关闭,操作简单。在电路中接入定时器定时开关气动水阀,避免浪费。
- 气动水阀
- [实用新型]光刻版夹具-CN200820092598.1无效
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王友旺
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深圳深爱半导体有限公司
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2008-03-14
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2009-01-28
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G03F1/00
- 本实用新型公开了一种光刻版夹具,包括一底座,所述底座上固设有一安装架,所述安装架边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部,所述夹持部内侧设有放置光刻版的凸垫,其中,所述夹持部由韧性材料制成;所述底座中心还设有一可与马达/电机配合的转动装置。所述转动装置为设置于底座中心的可与马达/电机轴干配合转动的通孔,或所述转动装置为设置于底座中心的转动轴,以及可与所述转动轴配合的传动带或传动齿轮。本实用新型对光刻版的表面冲洗更充分,清洗效果好,且光刻版与夹具通过过盈配合固定在一起,夹具与光刻版的接触面积很小,可以很好地保护光刻版特别是版图面不受损坏。
- 光刻夹具
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