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- [发明专利]晶圆的观测方法、装置与观测系统-CN202210224762.4在审
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孟帅
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长鑫存储技术有限公司
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2022-03-07
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2022-06-24
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G06T7/00
- 本申请提供了一种晶圆的观测方法、装置与观测系统,该方法包括:获取晶圆的初始缺陷信息;基于初始缺陷信息,在第一观测模式下获取晶圆的初始缺陷图像,根据初始缺陷图像确定目标区域图像;切换至第二观测模式,基于目标区域图像调整第二观测模式下的放大倍数,使得调整后的视野包括完整的缺陷,得到晶圆的目标缺陷图像。该方法根据缺陷图像和缺陷信息,调整不同观测模式下的放大倍数,得到包括完整的缺陷的目标缺陷图像,得到包括完整的缺陷的晶圆的目标缺陷图像,这样后续进行缺陷分析时,可以对完整的缺陷进行分析,从而可以对缺陷进行准确的分析,进而解决了现有技术中缺乏不会影响缺陷分析的晶圆的缺陷的观测方法。
- 观测方法装置系统
- [发明专利]光盘装置以及替换处理方法-CN97103370.6无效
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山室美规男
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株式会社东芝
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1997-03-24
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2001-12-26
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G11B7/00
- 本发明在以由16个扇区构成的ECC块单位记录数据的光盘中,制造时或者开始使用时等初始时,记录假数据,再生其假数据判断初始缺陷的扇区,把该所判断的初始缺陷的扇区的物理地址数据作为初始缺陷清单记录在光盘中,记录时,跳过上述初始缺陷的扇区进行ECC块单位的数据记录。另外,在以ECC块单位记录数据的光盘中,初始时之外的数据记录时,记录数据,再生其数据。判断具有二次缺陷扇区的ECC块,把所判断的具有二次缺陷扇区的ECC块的数据记录到其它预备好的ECC块中。$#!
- 光盘装置以及替换处理方法
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