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[发明专利]具有电子发射体的准分子激光器-CN200680006520.7有效
发明人： M·斯金纳;M·诺伊斯塔德特 -专利权人：英特尔公司
申请日： 2006-01-05 - 公布日： 2008-02-27 - 主分类号： H01S3/038 文献下载
摘要：本文描述用于准分子激光器的设备、系统和方法，所述准分子激光器具有激光气体和在施加发射电压时发射电子的电子发射体。
具有电子发射准分子激光

[发明专利]一种轴向单分子高精度定位方法和装置-CN201710341359.9在审
发明人：贾策;徐涛;付彦辉;张翔;纪伟;罗志勇 -专利权人：中国科学院生物物理研究所
申请日： 2017-05-16 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明属于超分辨定位荧光成像技术领域，涉及一种轴向单分子高精度定位的荧光定位方法装置及其使用方法。本发明结合单分子定位的高精度特点，利用单分子轴向高斯光强分布响应曲线在焦点处斜率最大的特性，实现了单分子轴向的精确定位，继而实现了超分辨荧光成像。本发明包括激光器A、激光器B、物镜、三维样品位移台、轴向定位系统等；激光器A和激光器B用于对荧光分子的激发和激活。
激光器单分子轴向轴向定位系统透镜高精度定位超分辨荧光荧光成像技术单分子定位方法和装置样品位移台分光棱镜位置相对响应曲线荧光成像荧光分子高斯光焦点处物镜成像对称三维激活焦点激发

[发明专利]一种用于准分子激光器的可见光导向装置-CN201610304319.2在审
发明人：李慧;赵江山;周翊;宋兴亮;范元媛;沙鹏飞;蔡茜玮;王倩;鲍洋;张立佳 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-05-10 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： H01S3/101 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于准分子激光器的可见光导向装置，所述准分子激光器包含MO腔、PA腔和PA腔光路转置单元，PA腔光路转置单元用于引导MO腔输出的种子光传输，使种子光进入PA腔进行放大，同时透射来自PA腔的输出激光所述可见光导向装置包括可见光激光器和可见光光路转置单元，其中，所述可见光激光器用于产生可见光波段的激光，所述可见光光路转置单元用于将所述可见光激光器产生的可见光波段的激光引导至与所述来自PA腔的激光共轴输出本发明能基于可见光光路为参考，完成后续光学组件与准分子激光器之间的有效对准，提高对准精度及有效避免对操作人员危害大等不利影响。
一种用于准分子激光可见光导向装置

[实用新型]准分子激光器的可见光引导装置-CN201620417657.2有效
发明人：李慧;赵江山;周翊;宋兴亮;范元媛;沙鹏飞;蔡茜玮;王倩;鲍洋;张立佳 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-05-10 - 公布日： 2016-10-19 - 主分类号： H01S3/101 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种准分子激光器的可见光引导装置，所述准分子激光器包含MO腔、PA腔和PA腔光路转置单元，PA腔光路转置单元用于引导MO腔输出的种子光传输，使种子光进入PA腔进行放大，同时透射来自PA腔的输出激光所述可见光引导装置包括可见光激光器和可见光光路转置单元，其中，所述可见光激光器用于产生可见光波段的激光，所述可见光光路转置单元用于将所述可见光激光器产生的可见光波段的激光引导至与所述来自PA腔的激光共轴输出本实用新型能基于可见光光路为参考，完成后续光学组件与准分子激光器之间的有效对准，提高对准精度及有效避免对操作人员危害大等不利影响。
准分子激光可见光引导装置

[实用新型]一种紫外光准分子激光器用可调光阑-CN202023347695.0有效
发明人：朱能伟;方晓东;梁勖;游利兵 -专利权人：深圳盛方科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： H01S3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种紫外光准分子激光器用可调光阑，包括能够安装至激光器上的步进电机，所述的步进电机上连接有受其驱动而转动的光阑片，所述的光阑片上设有多个在光阑片转动时能与激光射线对齐而改变激光向外发射直径的光阑孔，所述的紫外光准分子激光器用可调光阑还包括与步进电机连接且用于控制步进电机转动角度而使激光射线与光阑孔对齐的控制器。本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种无需拆卸激光器外壳就能能够调节光阑孔的紫外光准分子激光器用可调光阑。
一种紫外光准分子激光器用可调光阑

[发明专利]157nm拉曼激光器-CN02155044.1无效
发明人：楼祺洪;朱晓峥;周军;叶震寰;董景星;魏运荣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2002-12-20 - 公布日： 2003-06-04 - 主分类号： H01S3/30 文献下载
摘要：一种新型的高功率激光器可以产生157nm的深紫外激光。它由NdYAG激光器五倍频输出213nm激光，照射拉曼池中的氢气形成受激喇曼散射，获得反四阶斯托克斯光输出，其波长为157nm。与氟分子准分子激光器相比，本技术原理简单，实施路线清晰，而且成本低。
157 nm 激光器

[发明专利]用于进行实时体内分子分析的装置-CN201580051040.1有效
发明人：米歇尔·萨尔泽特;伊莎贝尔·福尼尔;克里斯蒂安·福克沙;迈克尔·齐斯坎德;柏那特·法图;马克桑斯·维斯托尔斯基 -专利权人：里尔科学技术大学;国家科研中心
申请日： 2015-09-22 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： A61B10/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于生物物质的分子分析装置，其中，所述分子分析装置包括：激光器(34)，所述激光器(34)可选经光学参量振荡器(OPO)辅助，所述激光器(34)被配置为发射在2.5μm和12μm之间的波长，经这样配置的所述激光器(34)用于通过喷射带电粒子和/或非带电粒子来烧蚀所述生物物质；质谱仪(31)；以及，探头(S,10)，所述探头(S,10)包括与所述激光器(34)连接的至少一个第一分析纤维(A
用于进行实时体内分子分析装置

[发明专利]一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统-CN201210585457.4无效
发明人：方晓东;邵景珍;梁勖;游利兵 -专利权人：中国科学院安徽光学精密机械研究所
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统，在准分子激光系统内加入了由循环水泵、冷凝器、温度传感器、温度自调节电路、控制软件和含有激光工作状态及参数的数据库等组成的温度自调节系统。在激光器工作时系统会根据激光工作参数和状态利用该温度自调节系统控制激光器工作温度，从而将激光器腔体内温度控制在最佳能量范围内，以获取最佳的输出能量。
一种高重频工业准分子激光工作温度调节系统

[发明专利]用于准分子激光硅结晶的能量控制器-CN201880037164.8有效
发明人： I·布拉金 -专利权人：相干激光系统有限公司
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/20 文献下载
摘要：准分子激光退火设备(40)包括准分子激光器(42)，该准分子激光器将激光辐射脉冲传送到支撑在基板上的硅层(58)，该基板相对于激光脉冲平移，使得连续的脉冲在基板上重叠。监控每个激光辐射脉冲的能量，并将其发送到控制电子设备(48)，然后通过高通数字滤波器(62)调整下一个激光脉冲的能量。
用于准分子激光结晶能量控制器

[发明专利]准分子激光退火设备-CN201711449637.9在审
发明人：张伟彬;谢锐;曾凡林 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本发明提供一种准分子激光退火设备，用于对基板进行激光退火，包括束流消耗器、聚焦镜片以及激光器，束流消耗器设于基板与激光器之间，聚焦镜片位于束流消耗器与激光器之间，并且位于激光器的激光束照射基板的光路上，聚焦镜片的焦点在激光器的激光束射向基板的光路上并位于基板上，束流消耗器上设有贯穿束流消耗器的透过腔以及与透过腔连通的反射腔，反射腔包括设有反射膜的表面，反射腔的表面朝向基板，激光器产生的激光束通过聚焦镜片聚焦后穿过透过腔射向基板，基板将聚焦后的激光束反射至反射膜，再经反射膜反射回至基板。本发明的准分子激光退火设备解决了束流消耗器温度升高的技术问题。
基板激光器消耗器束流聚焦镜片准分子激光退火反射膜反射腔透过腔激光束聚焦激光束照射基板激光束反射激光退火对基板反射连通穿过焦点贯穿

[发明专利]一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置及方法-CN202010834222.9在审
发明人：刘广义;江锐;丁金滨;赵江山;冯泽斌;殷青青;刘明雷;纪伟 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01S3/104 文献下载
摘要：本发明提供了一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置及方法，所述准分子激光器线宽和E95主动控制装置包括光谱测量模块、控制器及线宽压窄模块；其中，所述光谱测量模块用于接收所述准分子激光器输出的光，并产生干涉条纹；所述控制器用于根据所述干涉条纹确定所述激光器的线宽和E95的当前值，并根据所述线宽和E95的当前值与线宽和E95的目标值确定所述线宽压窄模块的运动信息；所述线宽压窄模块用于根据所述运动信息运动，从而实现所述激光器的线宽和
一种准分子激光宽和 e95 主动控制装置方法

[发明专利]一种集成激光剥离和激光切割的设备系统及其操作方法-CN201810658433.4有效
发明人：朱晨光 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本发明提供一种集成激光剥离和激光切割的设备系统，包括准分子激光器、传送台、组合反射衰减机构及剥离切割台。准分子激光器输出UV光，传送台将UV固化前后及切割剥离后的柔性面板分别传送至第一、第二及第三预置位置上进行UV固化、剥离切割及分拣，组合反射衰减机构将准分子激光器的UV光进行能量衰减反射至剥离切割台上，实施本发明，能同时实现激光剥离和激光切割工艺，不仅提高了准分子激光器的使用效率，还节省了投资成本和工艺时间。
一种集成激光剥离切割设备系统及其操作方法

[发明专利]激光系统和电子器件的制造方法-CN201880097096.4有效
发明人：三浦泰祐;若林理 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本公开的一个观点的激光系统包含第1固体激光装置、波长转换系统、准分子放大器和控制部，第1固体激光装置包含第1多半导体激光器系统、第1半导体光放大器和第1光纤放大器。第1多半导体激光器系统包含第1多个半导体激光器、第1谱监视器和第1合束器，该第1多个半导体激光器的波长彼此不同，并且为单纵模，并且进行连续波振荡，控制部对由第1多个半导体激光器生成的第1多线谱的各线的振荡波长和光强度进行控制，以得到从外部装置指示的至少目标中心波长或目标谱线宽度的准分子激光。
激光系统电子器件制造方法

[发明专利]半导体元件的制造方法-CN200810009619.3有效
发明人：中泽治雄 -专利权人：富士电机电子技术株式会社
申请日： 2008-02-13 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： H01L21/04 文献下载
摘要：在激活步骤中，通过将固态激光器或准分子激光器与半导体激光器结合使用来对离子注入表面进行激光退火。在激活步骤期间半导体激光器将激光束连续地照射到整个晶片表面。固态激光器或准分子激光器发射脉冲激光束。亦有可能防止在激光照射期间产生的热引起的器件损坏。
半导体元件制造方法

[发明专利]锯片合金刀头及其激光强化处理工艺-CN200910119256.3有效
发明人：詹运昌 -专利权人：安凤占
申请日： 2009-03-10 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： C21D1/09 文献下载
摘要：本发明提供了一种使用CO2激光器或准分子激光器对锯片硬质合金刀头进行激光强化的处理工艺，包括采用CO2激光器或准分子激光器对硬质合金刀头的前加工面上进行激光熔凝及涂敷处理，其中激光处理前硬质合金刀头的表面用吸光涂料进行预处理通过激光器在锯片硬质合金刀头的前加工面上进行激光熔凝及涂敷有处理，可得到高硬度、高韧性、高表面光洁度的刀头，该经激光处理后的锯片的应用，能够取得使用寿命提高60-200％的良好效果，且硬度、韧性明显增加
合金刀头及其激光强化处理工艺