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- [发明专利]用于热致动可变形镜的装置及相关制造方法-CN202180078816.4在审
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R·冯·埃尔姆
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相干激光系统有限公司
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2021-11-03
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2023-09-29
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G02B26/08
- 用于热致动可变形镜(170)的装置包括整体块(100)，该整体块包括：具有形成或配置成支撑镜(170)的前面(122F)的镜板(120)、底座(140)、以及可热膨胀致动器(130)的一维阵列。可热膨胀致动器(130)将镜板(120)的后面与底座(140)机械地连接，使得前面(122F)的形状、倾斜和/或位置取决于可热膨胀致动器(130)的温度。镜板(120)、底座(140)和可热膨胀致动器(130)由横跨在整体块(100)的相对朝向的顶表面(202T)和底表面(202B)之间的狭缝(110)限定。整体块(100)可以由金属制成并且可以通过使用在金属块的顶表面(202T)和底表面(202B)之间穿过金属块的线对金属块中的狭缝(110)进行线腐蚀来以相对较低的成本制造。
- 用于热致动可变形装置相关制造方法
- [发明专利]利用自适应光学器件和中场监测的激光束波前校正-CN202180078820.0在审
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R·冯·埃尔姆
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相干激光系统有限公司
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2021-11-03
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2023-09-22
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G02B27/10
- 用于校正激光束(180)的波前(182)的系统包括：分束器(120)，用于分离激光束(180)的部分以用作诊断光束(180D)；聚焦元件(140)，用于将诊断光束(180D)聚到焦点；测量子系统(150)，用于测量诊断光束(180D)在相对于焦点的标称位置的上游和/或下游位置的尺寸；以及至少一个自适应光学器件(110)，位于分束器(120)的上游，用于至少部分地基于诊断光束(180D)在上游和/或下游位置的测量尺寸来校正激光束(180)的波前(182)。上游位置(152(1))和下游位置(152(2))对应于由聚焦元件(140)成像的激光束(180)中的中场位置。该系统利用了激光束尺寸对束腰位置偏移的敏感性在距标称束腰位置一个瑞利长度处最大。
- 利用自适应光学器件中场监测激光束校正
- [发明专利]通过晶体移动来控制激光束参数-CN201980020855.1在审
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G·霍勒曼;A·尼普
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相干激光系统有限公司
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2019-03-18
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2021-07-23
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H01S3/00
- 本公开提供有利地稳定光束参数和延长晶体寿命的方法和设备。在一方面，UV激光设备(100)包括非线性晶体(104)、激光源(102)、光束晶体置换器(106)、光束参数监控器(108)和激光控制单元(110)。激光源(102)将源光束(1021)引导至非线性晶体(104)以产生紫外光束，并且光束晶体置换器(106)以多种移动速度相对于源光束(1021)移动非线性晶体(104)。光束参数监控器(108)测量紫外光束并输出光束参数的测量值。激光控制单元(110)：接收测量值；基于测量值确定移动速度的调整，该移动速度的调整将光束参数转向目标值；并将调整输出到光束晶体置换器(106)。
- 通过晶体移动控制激光束参数
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