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[实用新型]光阻供液系统及光阻涂布机-CN202222621894.9有效
发明人：郭振 -专利权人：颀中科技（苏州）有限公司;合肥颀中科技股份有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本申请公开一种光阻供液系统及光阻涂布机，所述光阻供液系统光阻供液系统，包括储液罐、光阻泵及供液管路，所述供液管路的前端连接于所述储液罐，所述供液管路的后端设置有喷嘴；所述光阻供液系统还包括保湿装置，所述保湿装置包括向上开放并用以存放既定保湿药液的保湿盒采用本申请光阻供液系统及光阻涂布机，能够有效避免喷嘴堵塞导致的涂布异常，改善光阻涂布的均一性与稳定性，提高生产效率。
光阻供液系统光阻涂布机

[实用新型]光阻供液系统-CN201921074380.8有效
发明人：杨柯;朱成云;古哲安;黄志凯 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光阻供液系统，所述光阻供液系统包括冷藏槽、解冻槽、第一计时器、第二计时器、光阻泵、暂存槽和单向阀。所述光阻供液系统中，第一计时器计量同一生产批次的光阻在所述冷藏槽内的放置时间，第二计时器计量解冻后的光阻在所述解冻槽内的放置时间，可以降低人工记录卡控保质期和解冻时间导致的差错，并节约人工工时；利用所述光阻供液系统对光刻机台供液，可防止人工运输过程中光阻对人体的伤害并降低光阻瓶破损的可能性，同时节省搬运和更换光阻瓶的人力；所述光阻供液系统中的暂存槽，可以在冷藏槽和解冻槽进行加液或者清洗时，仍然维持向光刻设备供液的状态，使得光阻供液时光刻机台不用停机
光阻供液系统计时器机台解冻槽冷藏槽供液光阻瓶暂存槽解冻记录卡计量本实用新型光刻设备人工运输保质期单向阀光刻加液停机破损搬运差错清洗节约伤害生产

[实用新型]光阻供应装置-CN201420330744.5有效
发明人：方利 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2014-06-19 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光阻供应装置，包括光阻瓶、供液管路、存储槽以及缓冲槽，所述供液管路的一端连接所述光阻瓶，所述供液管路的另一端连接一机台，所述存储槽设置于所述供液管路上，所述缓冲槽设置于所述光阻瓶与存储槽之间的供液管路上，所述光阻瓶的开口朝下；在光阻瓶与存储槽之间的管路中安装有缓冲槽，可以临时存储管路中的气泡，排除切换光阻瓶时管路中产生的气泡，提高了光阻的利用率，减少成本；在光阻瓶与缓冲槽之间的供液管路中设置有用于监控光阻瓶中的光阻是否用完的第一流量传感器，如果光阻瓶为空瓶，监控装置发送信号给机台，从而提醒操作人员及时切换光阻瓶，提高了生产效率。
供应装置

[实用新型]外接式光阻剂供应装置-CN202222850322.8有效
发明人：邱慧文 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种外接式光阻剂供应装置，包括箱体以及安装在箱体中的光阻剂供应部和控制电路，光阻剂供应部包括连接光阻剂存储装置的进料管道，连接光刻涂胶设备的出料管道，以及进料管道和出料管道之间的供液泵，进料管道还设置有过滤器，控制电路的输入端电连接光刻涂胶设备的信号输出接口，输出端电连接供液泵，用于响应光刻涂胶设备的信号的供液信号和停止信号控制供液泵提供光阻剂。该外接式光阻剂供应装置不影响设备的原有管路，能够作为扩展装置广泛地兼容于光刻涂胶设备；实现产品快速切换，提高生产效率；实现离线清洗，不影响生产进度。
外接式光阻剂供应装置

[发明专利]适于高粘度光阻的缓冲装置与光阻供液系统-CN202211200835.2在审
发明人：郭振 -专利权人：颀中科技（苏州）有限公司;合肥颀中科技股份有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本申请公开一种适于高粘度光阻的缓冲装置与光阻供液系统，所述缓冲装置包括储液罐、连通所述储液罐的进液管与出液管，所述储液罐包括底壁与侧壁；所述缓冲装置还包括设置在所述储液罐内的导引板，所述导引板呈倾斜设置，所述进液管自上向下延伸至所述导引板下方；所述导引板形成有排气孔。采用本申请缓冲装置及光阻供液系统，所述导引板利于光阻液面上方的气泡移动排出，降低异常风险，提高光阻涂布作业的均匀稳定性，利于生产。
适于粘度缓冲装置光阻供液系统

[实用新型]用于光阻过滤器预湿润的装置及光阻过滤器预湿润系统-CN201520807739.3有效
发明人：詹云 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2015-10-16 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于光阻过滤器预湿润的装置及光阻过滤器预湿润系统，包括用于安装光阻过滤器的第一支架，所述第一支架通过弹簧悬挂于振动器下方；还包括供液罐和排液罐，所述供液罐通过输液管与光阻过滤器的进口连接，所述排液罐通过输液管分别与光阻过滤器的出口和排气口连接。本实用新型在预湿润溶剂注入过程中启动振动器，带动光阻过滤器震动，使预湿润溶剂渗透过滤膜过程中产生的气泡脱离过滤膜表面，上浮至液面，并经光阻过滤器的出口和排气口，通过输液管排入排液罐；观察一定时间内输液管中无气泡出现
用于过滤器湿润装置系统

[实用新型]具恒温控制的光阻液调配槽-CN200920158423.0无效
发明人：林淑芬 -专利权人：久弘庆股份有限公司
申请日： 2009-05-21 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开一种具恒温控制的光阻液调配槽，其包含有一内部形成有一容置空间且供光阻液容置的本体，以及一伸置于该本体内的搅拌装置；所述本体上设有一固定该本体且伸置于光阻液内的温控单元，一与该温控单元连接、并在温控单元感测到光阻液温度高于设定值时接收其发出的控制讯号并启动冷却装置作用的控制器，以及一与该控制器连接且包覆于本体外的冷却装置。此种调配槽利用冷却装置控制调配槽内的光阻液温度，确保该光阻液在一定恒温状态下，除可避免光阻液变质而无法使用外，更可提升光阻液的重复使用率及期限，大大降低费用成本支出。
恒温控制光阻液调配

[发明专利]光阻液储存桶及光阻涂布机-CN201711043807.3在审
发明人：吴利峰 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： B05C11/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种光阻液储存桶，包括桶本体，设置在桶本体内的至少两个隔板，所述隔板与所述桶本体活动连接，所述隔板将桶本体的内腔划分为至少三个腔室，当其中一块隔板向上移动时，位于该隔板两侧的腔室相互连通；位于桶本体其中最外一侧的腔室上设有光阻供液管、CDA压力管、脱气管；位于桶本体另一最外一侧的腔室上设有与桶本体密封连接的光阻供给管；位于最外两侧的腔室之间的腔室上设有与存储桶密封连接的加减压管。本发明还提供了一种光阻涂布机，包括所述的光阻液储存桶。与现有技术相比，实现推动隔板自动上升，从而进行补液；大大节省了人力更换的时间，避免了光阻的浪费，而且桶本体还可以循环使用，避免了材料的浪费。
光阻液储存光阻涂布机

[实用新型]光阻剥离设备-CN202221682463.7有效
发明人：黄鑫钊 -专利权人：乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光阻剥离设备，包括第一储液罐、第二储液罐、驱动泵、光阻检测器和光阻剥离槽，第一储液罐和第二储液罐的出口均与驱动泵连接，驱动泵的出口与光阻剥离槽连通，光阻剥离槽的出口与第一储液罐和第二储液罐连通，第一储液罐、驱动泵和光阻剥离槽形成第一剥离液循环回路，第二储液罐、驱动泵和光阻剥离槽形成第二剥离液循环回路，光阻检测器设置于驱动泵与光阻检测器之间，光阻检测器用于检测剥离液中的光阻浓度。通过实时监控剥离液中的光阻浓度，可避免剥离液的浪费和保证光阻剥离效果，以及保证光阻剥离作业的持续性。
剥离设备

[实用新型]一种光阻接头清洗装置-CN202122102268.4有效
发明人：崔克伟 -专利权人：深圳市墨提斯科技有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光阻接头清洗装置，至少包括供液罐、驱动泵和清洗管道，所述供液罐经所述驱动泵与所述清洗管道连通，所述清洗管道上设置有能够容纳所述光阻接头的清洗机构，所述清洗机构至少包括清洗筒、转动盘、
一种接头清洗装置

[发明专利]光阻浓度的控制装置及控制方法-CN201710617397.2有效
发明人：刘超 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供了一种光阻剥离液的控制装置及控制方法，控制装置包括：用于存储光阻剥离新液的第一存储槽、用于存储光阻剥离液的光阻剥离槽、用于存储光阻剥离废液的第二存储槽、检测器以及控制器；光阻剥离槽和第一存储槽通过第一开关连通；光阻剥离废液为从光阻剥离槽排出的光阻剥离液，第二存储槽和光阻剥离槽通过第二开关连通；检测器固定于所阻剥离槽内，用于检测光阻剥离槽中光阻剥离液的光阻浓度X；控制器，用于根据光阻浓度X控制第二开关打开和关闭，以使得光阻剥离槽中光阻剥离液的预设量Y流出至所述第二存储槽内；以及用于根据光阻浓度X控制第一开关打开和关闭，以使得第一存储槽中光阻剥离新液的预设量Y流入到光阻剥离槽内。
浓度控制装置方法

[实用新型]光阻供应系统-CN200820009966.1有效
发明人：尹安和 -专利权人：慧竹开发有限公司
申请日： 2008-04-28 - 公布日： 2009-01-28 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型为一种光阻供应系统，其包括：一供给槽用以装设光阻液，一送液泵用以将所述的供给槽内的光阻液通过一送液线至一喷嘴，以及一脱气装置设在所述的送液在线，用以接入所述的送液泵送出的光阻液，且分离除去光阻液内的气体成分，再将除去气体的光阻液送出，用以提供已脱气泡的光阻液可由喷嘴喷吐出，通过良好质量的光阻液，可提高微影加工中光阻覆盖在芯片的良率与可靠度。
供应系统

[实用新型]一种雷达液冷流阻模拟及测试工装-CN201821271765.9有效
发明人：糜勇;付林;吴桥 -专利权人：中国航空工业集团公司雷华电子技术研究所
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： G01S7/40 文献下载
摘要：本实用新型涉及雷达液冷流阻测量技术领域，特别涉及一种雷达液冷流阻模拟及测试工装，包括：供液管道；回液管道；进口压力表，设置于供液管道上，用于测试供液管道内的压力；出口压力表，设置于回液管道上，用于测试回液管道内的压力；流量表，设置于供液管上，用于测量供液管中流体流量；天线单元流阻模拟管；电源单元流阻模拟管；天线单元流阻调节阀，设置于天线单元流阻模拟管上，用于控制天线单元流阻模拟管中流体流量；电源单元流阻调节阀，设置于电源单元流阻模拟管上，用于控制电源单元流阻模拟管中流体流量。其可简单、快捷、灵活的得到雷达液冷流阻及其各单元的流阻，且方便的实现对天线单元流阻及其电源单元流阻的模拟。
流阻天线单元电源单元液冷供液管道回液管道流体流量雷达流阻调节阀测试工装供液管测量技术领域控制电源单元测试本实用新型出口压力表进口压力表灵活的流量表测量

[实用新型]一种监控光阻过滤器使用寿命的系统-CN201821675870.9有效
发明人：黄斌;程奥博 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种监控光阻过滤器使用寿命的系统，包括一光阻瓶，顶端设置管道进口，供管道插入光阻瓶中；一过滤器，管道连接所述光阻瓶；一光阻泵，管道连接所述过滤器；一压力传感器一，所述压力传感器一设置于光阻瓶和过滤器之间的管道上；一压力传感器二，所述压力传感器二设置于过滤器和光阻泵之间的管道上；一通讯板，连接所述压力传感器一和压力传感器二。本实用新型的监控光阻过滤器使用寿命的系统在过滤器两端增加压力传感器来检测过滤器量测压差，在过滤器与光阻泵之间增加流量计来及时捕捉监控到光阻泵补液异常，光阻泵增加计数功能来更精确的监控过滤器过滤光阻量。
过滤器压力传感器光阻光阻瓶使用寿命监控光本实用新型管道连接流量计监控过滤器顶端设置管道进口计数功能光阻量通讯板补液量测压差过滤捕捉监控检测

[发明专利]一种新型防飞溅灌装头-CN201710195358.8在审
发明人：孙巍;曹晓鹏;贾培 -专利权人：保定申辰泵业有限公司
申请日： 2017-03-29 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： F04B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型防漏液灌装头，属于蠕动泵装置领域，包括灌装管，灌装管具有进液端和出液端，在灌装管内或者灌装管的进液端处或者灌装管的出液端处设有阻液块；所述的阻液块上开有供液通道，供液通道的长度大于供液通道的内径，供液通道的内径小于灌装管的内径，采用在输液管内部设置阻液块，阻液块开供液通道，供液通道搭配软管的直径二者可以改变流体流速，实现降低脉动的效果。通过在阻液块顶端开设的锥形开口，锥形开口内的液体可以衔接供液通道与灌装管内的液体，通过设置合适的比例，实现良好的防止滴溅效果。
一种新型飞溅灌装

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