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[实用新型]一种LED光源模组-CN201220586447.8有效
发明人：李阳;马正红 -专利权人：浙江阳光照明电器集团股份有限公司
申请日： 2012-11-08 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种LED光源模组，包括金属基板和固定设置在金属基板上的LED灯珠，特点是LED灯珠的上方设置有混光罩，混光罩连接有罩体冷却组件；优点是LED灯珠与混光罩的分离设置有效地降低了混光罩的罩体温度，又混光罩连接有罩体冷却组件，进一步降低了混光罩的罩体温度，提高了混光罩的使用寿命，有效地保证了混光罩的工作稳定性，从而提高了LED光源模组的使用性能及使用寿命。
一种 led 光源模组

[发明专利]光罩运输方法及设备-CN201810883149.7在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-08-06 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种光罩运输方法及设备，该设备包括机械手臂和光罩传输载具，机械手臂与光罩传输载具连接，光罩传输载具用以运输光罩，光罩运输设备还包括微尘净化喷嘴、进气管道及与进气管道连接的净化气体源，微尘净化喷嘴设置于光罩传输载具上，本发明提高了光罩的洁净度，防止了光罩上的图形失真，提升了晶圆产品良率。
运输方法设备

[发明专利]倍缩光罩的检测方法-CN201811147885.2在审
发明人：陈梓文;石志聪;石世昌;陈立锐;郑博中 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G03F1/84 文献下载
摘要：一种检测倍缩光罩的方法，包括：通过在相对于倍缩光罩表面的参考表面高度的倍缩光罩表面的第一高度以光源扫描倍缩光罩表面，获得在第一高度的倍缩光罩的表面的第一图像，且通过在相对于倍缩光罩表面的参考表面高度的倍缩光罩表面的第二高度以光源扫描倍缩光罩表面，获得在第二高度的倍缩光罩的表面的第二图像，第二高度与第一高度不同，第一高度与第二高度之间的距离小于倍缩光罩的厚度，结合第一图像以及第二图像以获得倍缩光罩的表面轮廓图像。
光罩表面光罩图像参考表面光源扫描表面轮廓种检测检测

[发明专利]光罩识别系统以及光罩识别方法-CN202111115928.0在审
发明人：房璐璐 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请实施例涉及一种光罩识别系统以及光罩识别方法，光罩识别系统包括：信息管理单元，信息管理单元获取预设传感器信息；电子光罩单元，电子光罩单元存有多种光罩信息，并预设待定光罩信息，每一光罩信息匹配多种标记类型；控制单元，控制单元存有标记类型信息和机台可用传感器信息，标记类型信息与光罩信息匹配，控制单元从电子光罩单元中获取待定光罩信息，从信息管理单元中获取预设传感器信息，并筛选待定标记类型信息，比对预设传感器信息
识别系统以及方法

[发明专利]有源光罩除尘设备-CN200510091960.4有效
发明人：吴兆明 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2005-08-15 - 公布日： 2006-02-22 - 主分类号： G02F1/1335 文献下载
摘要：本发明公开了一种有源光罩除尘设备，其包括异物扫描仪及除尘气刷，它们位于光罩的同一表面，以清除该光罩表面上的异物同时检测光罩表面的清洁度。该设备还可安装位于光罩另一表面的另一异物扫描仪与另一除尘气刷，以去除光罩另一表面的异物。当光罩表面安装有保护膜时，此除尘设备亦可利用除尘气刷与异物扫描仪进行保护膜上异物的清除与检查。采用本发明的有源光罩除尘设备可同时除尘和检测光罩表面的异物，不仅可有效提高光罩表面的清洁度，且可节省清洁和检查光罩所需的工时，因而可提高面板的产量。
有源除尘设备

[实用新型]一种测试光罩-CN201420443996.9有效
发明人：凌文君;王勤勇 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2014-08-07 - 公布日： 2014-12-03 - 主分类号： G03F1/26 文献下载
摘要：本实用新型提供一种测试光罩，用于测试光罩缺陷扫描机的Cr残留缺陷捕捉能力，所述测试光罩包括相移材料图形区域，所述测试光罩中形成有至少一种类型的Cr残留缺陷，每一种类型的Cr残留缺陷至少具有一种尺寸规格；采用所述测试光罩，可以测试光罩缺陷扫描机的Cr残留缺陷捕捉能力，若测得光罩缺陷扫描机能够捕捉到所有会影响最终成像效果的Cr残留缺陷，就可以省略相移光罩的STARLight检测步骤，在DD/DB检测图形缺陷的同时检测相移光罩的Cr残留缺陷，从而节省光罩生产时间的5~10%，大幅提高相移光罩产能。
一种测试

[实用新型]具有曝光、检测、清洗和干燥功能的一体机-CN201520253380.X有效
发明人：蔡家豪;刘宜洲;柳宗亮;陈笑龙;余学志;邱智中;邱树添 -专利权人：安徽三安光电有限公司
申请日： 2015-04-24 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： G03F1/84 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体组件的光刻领域，提出了一种具有曝光、检测、清洗和干燥功能的一体机，其包括光罩存储区、曝光-检测单元、光罩暂存区和清洗-干燥单元，其中，所述曝光-检测单元包括曝光机和检测光罩板外观的检测装置，所述检测装置位于曝光机的承载所述光罩板的光罩载台侧边；所述光罩存储区、曝光机、光罩暂存区、清洗-干燥单元依次通过传输件连接，用于传送光罩板。本实用新型采用自动化的一体机进行光罩板的曝光使用、外观检测、清洗和干燥的操作，提高了生产效率，通过改善了光罩板外观检测的区域，减少光罩板由于边缘损坏而报废的数量。
具有曝光检测清洗干燥功能一体机

[实用新型]一种可调节式的防外溢光罩装置及照明装置-CN202221707530.6有效
发明人：彭坤;陈俊;叶洪堂 -专利权人：安徽美之源电气有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： F21V1/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可调节式的防外溢光罩装置，包括用于与照明装置主体外周连接而且前端凸出于照明装置主体出光面的主防外溢光罩，和转动设置在主防外溢光罩的外侧的副防外溢光罩，主防外溢光罩与副防外溢光罩之间设有用于调节副防外溢光罩转动角度的角度调节结构，副防外溢光罩转动时与主防外溢光罩之间保持贴合；一种照明装置，包括照明装置主体，所述照明装置主体的外侧安装有上述的可调节式的防外溢光罩装置；本实用新型一种可调节式的防外溢光罩装置及照明装置，具有避免光污染
一种调节外溢装置照明

[发明专利]光蚀刻设备的控制方法及光蚀刻设备-CN201910508211.9在审
发明人：潘柏松 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： G03F1/80 文献下载
摘要：本发明公开了一种光蚀刻设备的控制方法，包括以下步骤：获取待加工物料的物料信息及光蚀刻设备上的加工光罩的第一光罩编号，所述物料信息包括所述待加工物料对应的加工光罩的第二光罩编号以及加工参数；在所述第一光罩编号与所述第二光罩编号不相同时，将所述光蚀刻设备上的加工光罩更换为所述待加工物料对应的加工光罩；控制所述光蚀刻设备根据所述加工参数加工所述待加工物料。本发明还公开了一种光蚀刻设备，达成了提高光蚀刻设备的生产效率的效果。
光蚀刻光罩加工物料加工加工参数物料信息生产效率

[发明专利]物体保持装置-CN202110085216.2在审
发明人：八田澄夫;白泽正裕;木南贵之;五十岚淑人 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。
物体保持装置

[发明专利]光罩保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法、光罩的保持方法以及曝光方法-CN201680062678.X有效
发明人：八田澄夫;白泽正裕;木南贵之;五十岚淑人 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明的保持光罩(M)的光罩载台装置(14)具备：支承块(50)，其从下方支承光罩(M)；吸附垫(46)，其具有对由支承块(50)支承且因光罩(M)的自重而挠曲的光罩(M)的面进行保持的保持面，使保持面以沿着挠曲的光罩(M)的面的方式可动并利用保持面保持光罩；和吸引口(46b)，其将挠曲的光罩(M)吸附于保持面。
保持装置曝光平板显示器制造方法器件以及

[实用新型]光罩盒的定位结构-CN200620122147.9无效
发明人：邱铭乾 -专利权人：家登精密工业股份有限公司
申请日： 2006-06-30 - 公布日： 2007-10-24 - 主分类号： B65D77/26 文献下载
摘要：本实用新型为一种光罩盒的定位结构，该光罩盒具有可容置光罩的容置空间，该容置空间设置有数个定位件，各定位件的基部通过定位手段固定于容置空间中，并于基部的顶面设有向上延伸且反转朝向基部的弯折部，且基部与弯折部之间具有可供弯折部变形位移的缓冲空间，而弯折部的自由端依序设有抵压部与抵持部，并于弯折部的外侧设有导引面，当光罩置入光罩盒的容置空间时，先通过各定位件的导引面导正光罩的位置，以避免光罩发生偏位，利用各定位件的抵压部与抵持部顶持光罩，让光罩于光罩盒内呈一定位，且定位件顶持光罩时仅于自由端产生变形位移，不但可有效降低光罩于光罩盒内摇晃的程度，且可防止光罩磨损及避免产生粉尘。
光罩盒定位结构

[发明专利]光罩检测方法及透明光罩保持容器-CN202111564258.0在审
发明人：陈啓仲 -专利权人：陈啓仲
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F1/84 文献下载
摘要：本发明公开一种光罩检测方法及透明光罩保持容器，其包含有使用一透明光罩保持容器收纳一光罩，将上述透明光罩保持容器移入一视觉检测设备中，由透明光罩外部提供上述光罩两个侧表面一光源，使用上述视觉检测设备由上述透明光罩保持容器外部检视上述光罩两个侧表面，以及使上述视觉检测设备显示出上述光罩两个侧表面的特定污染物，以此，让光罩能在被保护于透明光罩保持容器内部时进行污染物检测，而提高对于光罩的保护需求，以降低检测中因提取光罩所造成的意外污染。
检测方法透明保持容器

[发明专利]光罩信息调整装置、光罩数据调整方法以及程序-CN202180020040.0在审
发明人：角田大;堀间康章 -专利权人：日本控制系统株式会社
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明的课题是以往的光罩信息调整装置中具有可得到高精确度的曝光图案的光罩信息的数据大小会庞大的问题。本发明的解决方案是通过光罩信息调整装置(1)，可缩减光罩信息的数据大小，而不会大幅影响曝光图案；该光罩信息调整装置(1)具备：对象信息取得部(141)，取得包含多边形光罩图案的调整前光罩信息；处理部(140)，取得去除光罩图案的各顶点或边对于曝光图案造成的影响度并将其与顶点或点配对，所述曝光图案是对应光罩图案并使用光罩所生成，依据是否满足与所取得的影响度相关的预定条件来进行各顶点或边的去除，由此将光罩图案简化；及输出部(160)，输出包含通过处理部(140)简化后的光罩图案的调整后光罩信息。
信息调整装置数据方法以及程序

[发明专利]一种可调节式的防外溢光罩装置及照明装置-CN202111636874.2在审
发明人：周明杰;张浩;管伟芳;刘建新 -专利权人：深圳市海洋王船舶场馆照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;海洋王照明科技股份有限公司;海洋王（东莞）照明科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： F21V1/00 文献下载
摘要：本发明适用于照明装置技术领域，提供了一种可调节式的防外溢光罩装置及照明装置，防外溢光罩装置包括用于与照明装置主体外周可拆卸式连接而且前端凸出于照明装置主体出光面的主防外溢光罩和可拆卸式连接于主防外溢光罩前端的副防外溢光罩，副防外溢光罩与主防外溢光罩之间设置有用于调节副防外溢光罩与主防外溢光罩之间角度的角度调节结构，主防外溢光罩设置有第一反光层，副防外溢光罩的内侧设置有第二反光层。本发明所提供的一种可调节式的防外溢光罩装置及照明装置,其改善了灯具外溢光严重的问题，满足了特定角度的配光要求，避免光污染，照明能效比高、使用效果佳，且应用成本低，具有很大的推广应用前景。
一种调节外溢装置照明