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[发明专利]获得均匀面光源的方法-CN201911235757.8有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：北京云端光科技术有限公司
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： F21K9/233 文献下载
摘要：本公开涉及一种获得均匀面光源的方法，既能够获得均匀的面光源，而且还不需要增加原始光源功率，减小了体积和成本。一种获得均匀面光源的方法，包括：获取形成面光源的各个点光源在需要所述面光源照射的区域上的光强分布；基于所述光强分布，获取需要所述面光源照射的区域上的各个位置处的光强；基于需要所述面光源照射的区域上的各个位置处的光强，确定需要所述面光源照射的区域上的光强均匀性；基于所确定的光强均匀性，确定所述面光源的光强均匀性性能；对所述光强均匀性性能进行优化，得到各个所述点光源的优化后的功率和/或间距。
获得均匀光源方法

[发明专利]一种用于数字光刻系统的光强不均匀性测量与校正方法-CN201610216641.X在审
发明人：姜元清 -专利权人：长春长光天辰光电科技有限公司
申请日： 2016-04-08 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于数字光刻系统的光强不均匀性测量与校正方法，属于光学技术领域，是利用积分球对CCD相机标定，将DMD物面分为N×N的矩形区域阵列，进而得到每一个矩形区域的光强分布，得到像面的整体光强分布图及DMD面上的整体光强分布，完成光强不均匀性的测量；获取一维光强分布，选取基准值获取所需关闭的像素及照明校正板，完成光强不均匀性的校正。本发明是对光强不均匀性的预先测量与校正，结合扫描曝光中对每个像素点的曝光次数的控制来实现的，保证最终的照明均匀度达到95%。
一种用于数字光刻系统不均匀测量校正方法

[发明专利]光强均匀性自动调节装置及调整方法-CN201710154369.1有效
发明人：杨鹏;陈昌利;何雄;张轲;姚宏忠 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2017-03-15 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明揭示了一种光强均匀性自动调节装置及调整方法，包括光强实时检测系统，光强分析系统以及光强自动调整系统；所述光强实时监测系统检测晶片工作台上的光强，并将检测结果传递至所述光强分析系统；所述光强分析系统结合一标准数据，产生调整信号并传递至所述光强自动调整系统；所述光强自动调整系统依据所述调整信号调整光源发出的光的光强。由此可以提前补偿减小透镜的损失，最终达到光强均匀的目的，从而能够提高CD的均匀性，提高光刻质量；并且，降低设备更换元件的频率，有效节约成本。
均匀自动调节装置调整方法

[实用新型]均匀光强曝光机-CN202120275683.7有效
发明人：马建立 -专利权人：深圳光韵达光电科技股份有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开一种均匀光强曝光机包括量子点LED屏和像增强器；所述量子点LED屏具有发光面；所述发光面对着所述像增强器以将所述量子点LED屏发出的光照射进所述像增强器；所述像增强器用于将光照射至像面；所述量子点本实用新型能使所成的像的光强度分布均匀。
均匀曝光

[发明专利]光伏器件测试装置以及测试方法-CN201910402287.3在审
发明人：陈何辉;童帆;李换枝;倪利洲 -专利权人：米亚索乐装备集成（福建）有限公司
申请日： 2019-05-15 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H02S50/15 文献下载
摘要：本发明公开了一种光伏器件测试装置以及方法，涉及光伏领域的测试仪器，能对光强的均匀性进行监控，在生产过程中出现光强均匀性漂移时，能够及时发现，避免造成批量的测试不准确。所述光伏器件测试装置包括：用于放置待测光伏器件的测试平台，所述测试平台上设置有多个光强测量单元，所述光强测量单元用于采集所述测试平台的目标测试点的光强信息；所述测试装置还包括控制器，所述多个光强测量单元均与所述控制器相连，所述控制器用于根据所述多个光强测量单元的输出，计算所述测试平台的光强均匀性。
器件测试装置以及方法

[发明专利]照明均匀性像素化补偿方法及装置-CN202211715746.1在审
发明人：罗先刚;赵立新;何渝;吴斯翰;李奕;张绍宇;邵洪禹;成小龙 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本公开提供一种照明均匀性像素化补偿方法及装置，方法包括：获取目标均匀性照明场光强分布图像；基于反演模型对目标均匀性照明场光强分布图像进行反演，得到第一数字微镜调控图像；将第一数字微镜调控图像输入数字微镜阵列对照明系统进行光场调控该方法及装置实现了照明场光强分布的实时补偿，保证长时间稳定地维持照明系统输出的照明场光强分布均匀性。
照明均匀像素补偿方法装置

[发明专利]针对非均匀性光强下光强传输方程的无边界误差求解方法-CN201711484824.0在审
发明人：左超;张佳琳;陈钱;孙佳嵩;冯世杰;张玉珍;顾国华;李加基;范瑶;丁君义 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： G01J9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种非均匀性光强下光强传输方程的无边界误差求解方法，该方法首先初始化光强的轴向微分以及相位值，然后计算得到的非精确的相位值以及其所对应的光强轴向微分值，获得当前迭代后的光强轴向微分值与上一轮的光强轴向微分值之间的残差，每次迭代完成后，判断光强轴向微分误差以及所对应的相位残差是否足够小，当满足停止迭代条件时，得到的相位值就是所求的精确相位值，能够准确的求解在非均匀光强下的光强传输方程，稳定并且精确地获得待测物体相位。
针对均匀性光强下光强传输方程边界误差求解方法

[发明专利]一种使用特定光源对连续化纳米纤维毡进行在线厚度均匀性检测的方法-CN201810523914.4在审
发明人：王晓旭;杨雪;刘杰;梁节英;孙倩 -专利权人：北京化工大学
申请日： 2018-05-28 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：一种使用特定光源对连续化纳米纤维毡进行在线厚度均匀性检测的方法，属于新材料领域范围。使用光强恒定的可见光源在纳米纤维毡下方0.5‑5cm处垂直射向纳米纤维毡，并且在纳米纤维毡的上方有对应的光强传感器检测透过纳米纤维毡的光强并转换成电阻值。根据不同厚度纤维毡的透光性调节光源光强，使透过的光强在传感器可检测的范围之内。通过标准厚度样品的测试获得厚度与光强校准曲线，并根据光强变化程度表征未知纤维毡厚度。该方法可以根据纤维毡不同位置厚度的测定，十分有效地检测纤维毡厚度的均匀性。通过分析纤维毡在线厚度均匀性的数据，并对所制备的纤维毡的均匀性进行实时把控，进一步提高制备工艺参数等改善无纺布的均匀程度。
纳米纤维毡纤维毡厚度均匀性光强均匀性连续化光源检测制备工艺参数光强传感器新材料领域光强变化光强恒定厚度样品检测纤维可见光源校准曲线传感器光源光可检测透光性无纺布有效地电阻制备垂直测试转换分析

[发明专利]用探头步进扫描实现ArF准分子激光光强均匀性检测的方法-CN201711444278.8有效
发明人：曹益平 -专利权人：四川大学
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明是光学投影曝光光刻及设计或调试中采用探头步进扫描法实现对ArF准分子激光光强的均匀性分布情况的检测。由于每次检测的准分子激光光强空间分布不可以避免要受到激光脉冲时间不均匀性影响，因此在时序逻辑的控制下，在一定时间内同时测量一定数目的激光脉冲的总能量和扫描光场中各探测点的分能量，以分能量与总能量之比来衡量光强的均匀性分布情况本发明具有检测精度高，检测参数可调，可满足不同精度要求的检测要求，实现脉冲激光光强均匀性检测，同时可用于需要对脉冲激光光强分布均匀性检测的其他领域。
检测光强均匀性分布脉冲激光光步进扫描激光脉冲总能量探头分布均匀性检测光强均匀性均匀性检测准分子激光不均匀性光学投影检测参数精度要求空间分布时序逻辑曝光光扫描光探测点可调可用调试测量衡量

[发明专利]一种改进光伏脉冲测试仪辐照度均匀性的测试装置及测试方法-CN201310316202.2有效
发明人：付晓永 -专利权人：中利腾晖光伏科技有限公司
申请日： 2013-07-25 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种改进光伏脉冲测试仪辐照度均匀性的测试装置及测试方法，包括，至少一个位置固定的固定光强采集器，用于采集固定区域的光强度或短路电流；至少一个可移动的移动光强采集器，用于移动采集产品各区域光强度或短路电流；与所述固定光强采集器和移动光强采集器信号连接的数据采集器；数据处理装置，用于处理数据采集器传送过来的光强度或短路电流数据，按预设的均匀性计算公式进行分析计算,得出辐照度均匀性参数值。采用上述技术方案，本发明技术方案的有益效果是：增加一个位置固定的固定光强采集器后，可以采用数学计算的方式把由于多次闪光造成的光强不稳定性消除掉，可以更加精确的计算出的测试仪辐照度均匀性。
一种改进脉冲测试仪辐照均匀测试装置方法

[发明专利]胶体溶液均匀性的检测方法及应用-CN201911425174.1在审
发明人：马源;那秀辉;朱美霞;许志明;李海军;蔡惠群 -专利权人：银隆新能源股份有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本发明提供了一种胶体溶液均匀性的检测方法及应用。该检测方法包括：将粘结剂和溶剂混合，得到待测胶体溶液样品；采用近红外光对待测胶体溶液样品进行照射，得到透射光强度图谱；根据透射光强度图谱计算光强的标准偏差值，当光强的标准偏差值≤0.55，锂离子电池胶体溶液均匀性好上述检测过程中，无需对胶体溶液进行稀释，也不添加额外的介质，不施加外力，仅利用近红外光对待测胶体溶液样品进行照射，得到透射光强度图谱，然后通过透射光强度图谱中光强的标准偏差值就能够准确判断胶体溶液的均匀性
胶体溶液均匀检测方法应用

[发明专利]一种光强分布的建模方法、装置、电子设备及存储介质-CN201910011353.4有效
发明人：何毅;林妩媚;廖志杰;刘卫静;邢廷文 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2019-01-07 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光强分布的的建模方法，应用于光刻照明均匀性补偿技术领域，包括：获取输入参数，输入参数包括视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，根据视场面的输入光强分布和补偿平面的光瞳能量分布，确定补偿平面的光强分布，根据补偿平面的光强分布和光瞳能量分布，确定视场面的输出光强分布。本发明还公开了一种光强分布的建模装置、电子设备及存储介质，可为光刻照明系统内均匀性补偿装置的设计和仿真提供有效依据。
一种分布建模方法装置电子设备存储介质

[发明专利]接触式光刻机光强均匀性的检测方法-CN202310482709.9在审
发明人：张云雪;何玉国;闫力松;谢娜;张钱依;黄安琳 -专利权人：宁波市知行光学科技有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供一种接触式光刻机光强均匀性的检测方法，涉及半导体技术领域。其中，先利用遮光区域、透光区域交替间隔排布的掩膜版对曝光样品进行曝光、显影、刻蚀处理，再通过观察曝光样品表面不同区域特征图案呈现完整度，直接对不同区域的光强均匀性做评价。相比于现有技术方案，本申请能全面反应出不同区域的光强均匀性，具有精确度高、抗干扰性好的优点。
接触光刻机光强均匀检测方法

[发明专利]一种Micro-LED光场均匀性调制方法-CN201810851892.4在审
发明人：孙雷;张洪波;张婧姣 -专利权人：联士光电(深圳)有限公司
申请日： 2018-07-30 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： G09G3/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种Micro‑LED光场均匀性调制方法，包括Micro‑LED、镜头、感光元件、数据库。Micro‑LED作为光源和成像元件，其各像元发出的光，通过镜头，在感光元件上成像。通过感光元件测量Micro‑LED芯片上每一个像元的光强，并将每一个像元的光强数据存储到计算机数据库中。根据Micro‑LED上各像元的光强数据，通过对像元的电流或电压调制，提高像元光强的一致性，进而实现较高的Micro‑LED光场均匀性。Micro‑LED生产过程中各像元光强差异较大，本发明可极大的提高光场均匀性，在高精度3D打印、高分辨率、高精度曝光等光场均匀性要求高的领域具有重要的应用前景。
像元感光元件光强光场均匀性光强数据均匀性计算机数据库成像元件电压调制高分辨率镜头成像调制光源打印数据库测量存储曝光应用

[发明专利]激光强度均匀化装置-CN202310363633.8有效
发明人：赵帅;张玉莹;郑昕 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明提出一种激光强度均匀化装置，光源的出射光沿第一方向延伸并依次穿过准直扩束透镜、啁啾阵列透镜组件及聚焦透镜；透光介质朝向聚焦透镜的一侧具有第一安装面，透光介质朝向准直扩束透镜的一侧具有第二安装面；多个第一子透镜沿第二方向依次设置在第一安装面上本发明技术方案采用啁啾阵列透镜组件的非周期性结构，抑制多光束干涉效应，提高平顶光束光强的均匀程度，更适用于相干性较强的光源普适性强。
激光强度均匀化装

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