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[发明专利]基座偏压调节装置和方法、半导体工艺设备-CN202110849800.0有效
发明人：张超 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-07-27 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明提供一种基座偏压调节装置和方法、半导体工艺设备，该装置包括正偏压调节单元、负偏压调节单元和抗干扰单元，其中，正偏压调节单元的第一端接地，正偏压调节单元的第二端与基座电连接，用于调节基座的偏压，且能够使基座产生正偏压；负偏压调节单元的第一端接地，负偏压调节单元的第二端与基座电连接，用于调节基座的偏压，且能够使基座产生负偏压；抗干扰单元连接在负偏压调节单元与基座之间的电路上，用于抑制正偏压调节单元与基座之间的电路中的电流流入负偏压调节单元与基座之间的电路中本发明提供的基座偏压调节装置和方法、半导体工艺设备的技术方案，可以满足不同工艺需求，从而扩大了工艺窗口。
基座偏压调节装置方法半导体工艺设备

[发明专利]基座偏压调节装置、半导体加工设备及薄膜制作方法-CN201711145639.9有效
发明人：张超 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-11-17 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供一种基座偏压调节装置、半导体加工设备及薄膜制作方法，该装置包括正偏压调节单元、负偏压调节单元和转换开关，其中，正偏压调节单元的第一端接地，第二端与基座连接，用于使基座产生正偏压，并能够调节正偏压的大小；负偏压调节单元的第一端接地，第二端与基座连接，用于使基座产生负偏压，并能够调节负偏压的大小；转换开关用于选择性将正偏压调节单元或者负偏压调节单元与基座接通。本发明提供的基座偏压调节装置，可以满足不同工艺的需求或者同一工艺中不同阶段的需求，从而扩大了工艺窗口。
基座偏压调节装置半导体加工设备薄膜制作方法

[发明专利]偏压力调节装置、具有所述偏压力调节装置的液压控制阀和制造偏压力调节装置的方法-CN201410642038.9有效
发明人：原哲也;阿知波统久;中根浩幸;相原正树 -专利权人：株式会社电装
申请日： 2014-11-11 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： F16F1/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种偏压力调节装置、具有所述偏压力调节装置的液压控制阀和制造偏压力调节装置的方法。偏压力调节装置包括：具有第一螺纹部(313)的筒状部件(31)；容纳在所述筒状部件中的往复部件(32)；沿第一方向偏压所述往复部件的偏压部(33)；和调节所述偏压部的偏压力的偏压力调节部件(34、54)偏压力调节部件具有与第一螺纹部(313)接合以控制偏压力调节部件相对于筒状部件的位置的第二螺纹部(342、542)和限制部(343、543)，其通过沿第一方向施加的外力沿径向变形而限制偏压力调节部件相对于筒状部件的移动
偏压力调节装置筒状部件第一螺纹部液压控制阀往复部件偏压部第二螺纹部方向偏压径向变形接合制造容纳施加移动

[实用新型]一种运算放大电路-CN202221325218.0有效
发明人：刘冬生;曹志远;胡昂;张成成;苏彦文;金子睿;辜晓煜;陆家昊 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H03F3/45 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种运算放大电路，包括：运放单元；偏压提供单元，连接所述运放单元，所述偏压提供单元接收偏置调节电压，基于所述偏置调节电压为所述运放单元提供偏置电压；偏压调节单元，连接所述偏压提供单元，所述偏压调节单元为所述偏压提供单元提供所述偏置调节电压本实用新型设置偏压调节单元，该偏压调节单元输出偏置调节电压，利用偏置调节电压调整偏压提供单元提供给运放单元的偏置电压，以此能够降低运放相位裕度的恶化，避免PVT波动对电路性能的影响。
一种运算放大电路

[发明专利]一种占空比调节电路及其实现方法-CN201710444459.4有效
发明人：梅年松;张钊锋 -专利权人：中国科学院上海高等研究院
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H03K3/017 文献下载
摘要：本发明公开了一种占空比调节电路及其实现方法，该占空比调节电路包括：直流偏压调节电路，用于将数字化的输入时钟信号CLK_in转换为直流偏压受控时钟；反相器，用于将该直流偏压受控时钟转换为数字化时钟信号CLK_out；控制电压产生电路，用于将该输出时钟信号CLK_out的高低电平控制下产生控制电压，该控制电压连接至该直流偏压调节电路以调整该直流偏压调节电路输出的直流偏压受控时钟的直流偏压，通过本发明，实现了一种可将信号的占空比调节为50％的占空比调节电路。
一种调节电路及其实现方法

[发明专利]一种用于电子束精密调控的多级偏压电源-CN202211294940.7在审
发明人：张伟 -专利权人：星航高能科技（南京）有限公司;南京晟源企业管理合伙企业（有限合伙）
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H02M3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于电子束精密调控的多级偏压电源，其中：束流反馈电路采集电子束流反馈值并将其发送给单片机控制电路，单片机控制电路根据电子束流给定值和电子束流反馈值计算电压设定值并将其发送给偏压调节低压电路，偏压调节低压电路连接偏压调节高压电路，偏压调节高压电路的正输出端连接电子枪阴极灯丝，偏压调节高压电路的负输出端连接电子枪栅极。所述偏压调节低压电路包括偏压粗调电源电路、偏压细调电源电路和束流封闭电源电路。本发明大大提高了束流封闭的可靠性；可以大大提高电子束流调节的动态响应速度；可以大大提高偏压电源和电子束流的调节精度，从而实现小束流和大束流输出的高精度控制。
一种用于电子束精密调控多级偏压电源

[发明专利]一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源-CN201910441985.4在审
发明人：李民久;陈庆川;蒲世豪;熊涛;姜亚南;贺岩斌;黄雨;邵斌 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： H02M9/06 文献下载
摘要：本发明属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源。该电源可以输出所需要的不同输出波形特性的直流负偏压、单极性脉冲负偏压、直流叠加单极性脉冲负偏压模式、非对称双极性脉冲偏压模式或直流叠加双极性脉冲偏压。并且，负偏压的脉冲电压幅度、频率和占空比可调节，直流叠加脉冲负偏压的直流电压幅度可调节，负偏压工作在高压低电流或低压大电流模式两种模式可设置，正脉冲电压幅度和占空比可调节。
负偏压可调节等离子体镀膜单极性脉冲双极性脉冲偏压电源直流叠加复合式占空比电力电子技术领域脉冲电压幅度直流电压幅度直流叠加脉冲自动控制技术低压大电流正脉冲电压直流负偏压偏压模式输出波形非对称电源输出

[发明专利]按需调节功放栅极偏置电压实现节能降耗的方法-CN201310260961.1有效
发明人：赵国谦 -专利权人：绍兴润煜工程有限公司;赵国谦
申请日： 2013-06-25 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： G05F1/56 文献下载
摘要：本发明涉及移动通信领域，公开了一种按需调节功放栅极偏置电压实现节能降耗的方法，包括电源模块、偏压调节模块、信号采集和处理模块和功放模块，具体步骤包括：电源模块为偏压调节模块、信号采集和处理模块和功放模块提供电源电压，偏压调节模块根据信号采集和处理模块的偏压调整指令输出电压，信号采集和处理模块对待放大信号进行耦合和采集，计算输入功率值、电压波峰和波谷之差的绝对值并将计算所得到的结果转换为偏压调整指令传递给偏压调节模块执行，功放模块根据偏压调节模块输出的偏压实现对待放大信号的功率放大。
调节功放栅极偏置电压实现节能降耗方法

[发明专利]一种位线预充电和放电电路以及存储器-CN201611130662.6有效
发明人：权彝振;倪昊;杨家奇 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： G11C16/24 文献下载
摘要：本发明提供一种位线预充电和放电电路以及存储器，所述位线预充电和放电电路包括：位线偏压监控模块，用于监控所述位线的位线偏压并输出位线检测信号；选择控制模块，连接所述位线偏压监控模块，并用于基于所述位线检测信号生成选择设置信号；位线偏压调节模块，连接所述选择控制模块，用于基于所述选择设置信号生成参考偏压，并基于所述参考偏压将所述位线的位线偏压调节至目标位线偏压。本发明的位线预充电和放电电路以及存储器，能够在非常短的时间内准确调节到所需的位线偏压，从而增加读取速度。
一种位线预充电放电电路以及存储器

[实用新型]一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源-CN201920776684.2有效
发明人：李民久;陈庆川;蒲世豪;熊涛;姜亚南;贺岩斌;黄雨;邵斌 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H02M9/06 文献下载
摘要：本实用新型属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源。该电源可以输出所需要的不同输出波形特性的直流负偏压、单极性脉冲负偏压、直流叠加单极性脉冲负偏压模式、非对称双极性脉冲偏压模式或直流叠加双极性脉冲偏压。并且，负偏压的脉冲电压幅度、频率和占空比可调节，直流叠加脉冲负偏压的直流电压幅度可调节，负偏压工作在高压低电流或低压大电流模式两种模式可设置，正脉冲电压幅度和占空比可调节。
负偏压可调节单极性脉冲双极性脉冲直流叠加占空比电力电子技术领域等离子体镀膜脉冲电压幅度直流电压幅度直流叠加脉冲自动控制技术本实用新型低压大电流正脉冲电压直流负偏压偏压电源偏压模式输出波形非对称复合式电源输出

[发明专利]可编程芯片电路-CN201711067134.5有效
发明人：赵凯;沈磊;李建忠;俞剑;徐烈伟;于芳 -专利权人：上海复旦微电子集团股份有限公司
申请日： 2017-11-02 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G06F1/3296 文献下载
摘要：一种可编程芯片电路，包括：功能电路和背偏置电路，所述功能电路包括：一个或者多个相互耦接的功能模块，所述背偏置电路与所述功能模块耦接，适于生成背偏压信号，调节所述功能模块的工作模式，包括：背偏置模块、背偏压信号通道和背偏压信号选择模块，其中：所述背偏置模块，与所述背偏压信号通道耦接，适于生成背偏压信号；所述背偏压信号通道，与所述背偏压信号选择模块耦接，适于合成全局背偏压信号，并输出至所述背偏压信号选择模块；所述背偏压信号选择模块，与所述功能模块耦接，适于根据所述功能模块的性能需求，输出对应的全局背偏压信号，调节所述功能模块的工作模式。应用上述电路，可以通过背偏压信号，调节所述电路的工作模式。
可编程芯片电路

[发明专利]一种支座安装偏压检测装置及支座防偏压安装方法-CN201610012396.0有效
发明人：武芳文;张庆开;薛成凤;丰丙龙;邱建涛;左英;曹旭 -专利权人：长安大学
申请日： 2016-01-09 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种支座安装偏压检测装置及支座防偏压安装方法，该偏压检测装置包括同轴套箍在被检测桥梁支座上的固定钢套环、多个均布设于固定钢套环外侧的压力传感器、多个分别对多个压力传感器的布设高度进行调节的高度调节装置和与多个压力传感器均连接的数据接收终端，桥梁支座为圆形橡胶支座，多个高度调节装置沿圆周方向均匀布设在固定钢套环的外侧壁上；该支座防偏压安装方法，包括步骤：一、测量放线；二、支座安装；三、偏压检测装置安装；四、试落梁；五、支座偏压状况检测；六、支座偏压调整判断；七、支座偏压调整。本发明设计合理、实现方便且使用效果好，能简便、快速检测出桥梁支座的偏压状况，并能减少甚至避免支座偏压现象。
偏压检测压力传感器固定钢套桥梁支座支座安装高度调节装置偏压调整布设数据接收终端沿圆周方向快速检测偏压现象圆形橡胶装置安装状况检测外侧壁轴套箍放线落梁测量检测

[发明专利]一种支座防偏压安装方法-CN201810056450.0有效
发明人：武芳文;薛成凤;张庆开;丰丙龙;邱建涛;左英;曹旭 -专利权人：长安大学
申请日： 2016-01-09 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： E01D21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种支座安装偏压检测装置及支座防偏压安装方法，该偏压检测装置包括同轴套箍在被检测桥梁支座上的固定钢套环、多个均布设于固定钢套环外侧的压力传感器、多个分别对多个压力传感器的布设高度进行调节的高度调节装置和与多个压力传感器均连接的数据接收终端，桥梁支座为圆形橡胶支座，多个高度调节装置沿圆周方向均匀布设在固定钢套环的外侧壁上；该支座防偏压安装方法，包括步骤：一、测量放线；二、支座安装；三、偏压检测装置安装；四、试落梁；五、支座偏压状况检测；六、支座偏压调整判断；七、支座偏压调整。本发明设计合理、实现方便且使用效果好，能简便、快速检测出桥梁支座的偏压状况，并能减少甚至避免支座偏压现象。
压力传感器固定钢套偏压检测桥梁支座高度调节装置偏压调整支座安装布设数据接收终端沿圆周方向快速检测偏压现象圆形橡胶装置安装状况检测外侧壁轴套箍放线落梁测量检测

[发明专利]偏压控制方法、偏压控制装置、调制器和存储介质-CN201911128524.8有效
发明人：胡蕾蕾;陈宏刚;张博;甘霖飞;李凤 -专利权人：武汉光谷信息光电子创新中心有限公司;武汉光迅科技股份有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H04B10/548 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种偏压控制方法，包括：获取调制器的多个调相电极中每一调相电极对应的第一时刻的偏压控制点；获取与每一调相电极对应的第一锁定系数；基于每一调相电极对应的第一时刻的偏压控制点和第一锁定系数，确定每一调相电极对应第二时刻的偏压调节量，得到多个调相电极对应的多个第二时刻的偏压调节量；基于多个第一时刻的偏压调节量对调制器进行偏压控制。本发明实施例还公开了一种偏压控制装置、调制器和存储介质。
偏压控制方法装置调制器存储介质

[发明专利]一种压紧装置及助力转向系统-CN202111164610.1在审
发明人：李丰军;周剑光 -专利权人：中汽创智科技有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： B62D3/00 文献下载
摘要：本发明涉及转向机技术领域，具体公开了一种压紧装置及助力转向系统，该压紧装置包括调节组件和压紧组件，其中调节组件对压紧组件远离传动杆的一端进行限位；由于，偏压力件设于调节组件和压紧组件之间，第一偏压力件对第二偏压力件施加使第二偏压力件靠近传动杆的偏压力所以，第二偏压力件沿远离调节组件的方向运动，进而第二偏压力件驱动压紧组件向靠近传动杆的方向运动。因此，压紧组件给予传动杆一个预紧力，使传动杆始终与传动件预紧啮合。
一种压紧装置助力转向系统

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