专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]位置调整监测装置-CN202111675399.X在审
  • 刘振;吴凤丽;尹艳超;邱大益 - 拓荆科技股份有限公司
  • 2021-12-31 - 2022-03-25 - G01B5/00
  • 本发明提供了一种位置调整监测装置,用于检测半导体设备内加热盘的水平位置,包括:检测器板,所述检测器板上设置有孔洞,所述孔洞用于容纳加热盘与加热盘安装座之间的连接杆;位移检测器,所述位移检测器以所述孔洞的中心为中心沿圆周方向间隔排列其检测头抵接于所述加热盘安装座的表面;与所述检测器板固定连接的连接件,用于所述检测器板安装于所述半导体设备,使用连接件使设置有位移检测器的检测器板安装于半导体设备的工艺腔体外部,有利于在工艺进行的同时监测加热盘的位置,简化将工艺效果与位置调整关联起来的步骤,减小调整设备的时间成本,以提高整体的工艺效率。
  • 位置调整监测装置
  • [发明专利]一种模压拉伸与形变测量方法、装置、系统及介质-CN202310925799.4在审
  • 彭定明;梁为民;刘国义;陶宝吉;杨涛;邓刚 - 重庆市科之拓视觉科技有限公司
  • 2023-07-26 - 2023-10-13 - G06T7/60
  • 本发明公开了一种模压拉伸与形变测量方法、装置、系统及介质,包括:实时采集模压过程中的全幅面模压图像;获取预设的镭射膜标准图像,镭射膜标准图像中的指定位置具有定位图案;将镭射膜标准图像与全幅面模压图像进行匹配识别,识别全幅面模压图像中定位图案所处的待测位置;将定位图案在全幅面模压图像中的待测位置,与在镭射膜标准图像中的指定位置进行预设方向的对比;根据预设方向的对比结果,得到当前模压过程的版距拉伸变化与横向形变变化通过获取全息镭射膜在模压过程的实时模压图像并识别其中定位图案的位置,基于定位图案在实时图像与标准图像中的位置变化得到拉伸与形变的变化,有效提高版距拉伸与形变测量的实时性和准确性。
  • 一种模压拉伸形变测量方法装置系统介质

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