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[发明专利]掩膜组件及套准量测方法-CN201811379700.0在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： G03F1/42 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜组件及套准量测方法，掩膜组件包括：第一掩膜、第二掩膜及第三掩膜，第一掩膜内形成有第一标记图形，第一标记图形包括第一主标记图形及第二主标记图形；第二掩膜内形成有第二标记图形，第二标记图形对应于第一标记图形的一侧，且与第一标记图形具有间距；第二标记图形包括第三主标记图形及第四主标记图形；第三掩膜内形成有第三标记图形，第三标记图形包括第五主标记图形、第六主标记图形、第七主标记图形及第八主标记图形。本发明的掩膜组件中的标记图形可以减小标记图形在晶圆上所占的面积；同时在光刻后进行套准量测时还可以显著降低所需量测的次数，提高套准量测的效率。
组件套准量测方法

[实用新型]掩膜组件-CN201821905728.9有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： G03F1/42 文献下载
摘要：本实用新型提供一种掩膜组件，掩膜组件包括：第一掩膜、第二掩膜及第三掩膜，第一掩膜内形成有第一标记图形，第一标记图形包括第一主标记图形及第二主标记图形；第二掩膜内形成有第二标记图形，第二标记图形对应于第一标记图形的一侧，且与第一标记图形具有间距；第二标记图形包括第三主标记图形及第四主标记图形；第三掩膜内形成有第三标记图形，第三标记图形包括第五主标记图形、第六主标记图形、第七主标记图形及第八主标记图形。本实用新型的掩膜组件中的标记图形可以减小标记图形在晶圆上所占的面积；同时在光刻后进行套准量测时还可以显著降低所需量测的次数，提高套准量测的效率。
标记图形主标记掩膜掩膜组件量测本实用新型套准光刻减小晶圆

[发明专利]双面光刻机的对位结构及对位方法-CN201210369733.3有效
发明人：徐春云 -专利权人：无锡华润上华半导体有限公司
申请日： 2012-09-28 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双面光刻机的对位结构及对位方法，该对位标记包括“+”字型的主对位标记及若干对称设于主对位标记上下左右的辅助对位标记，所述“+”字型的主对位标记由水平主对位标记和垂直主对位标记垂直交叉形成，所述辅助对位标记为阶梯状，每个辅助对位标记由若干宽度相同、长度成等差数列的长方形组成。本发明通过采用“+”字型的主对位标记与主对位标记上下左右的辅助对位标记进行对位，有利于肉眼分辨对位位置，提供了对位精度，减少手动对位引起的误差，提高了生产效率。
双面光刻对位结构方法

[发明专利]用于同步至少两个流的方法-CN200810177285.0无效
发明人： S·范登贝格 -专利权人：阿尔卡特朗讯公司
申请日： 2008-12-11 - 公布日： 2009-06-24 - 主分类号： H04L29/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于从本地源广播本地流的方法，所述本地流适于与从主源广播的、伴随有相关主标记的主流同步，所述方法包括下列步骤：接收来自所述主源的所述主标记；和广播本地流并且同时广播与所述本地流相关的本地标记，其中所述本地标记与所述主标记相关。
用于同步至少两个方法

[发明专利]三维实时定位方法-CN201911317005.6有效
发明人：胡博期;陈彦廷;林治中;黄文辉;林庚达 -专利权人：财团法人金属工业研究发展中心
申请日： 2019-12-19 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： A61B34/20 文献下载
摘要：一种三维实时定位方法包括：将立体标记装置固定在手术部位上；架设光学定位系统；启动六自由度计算模块；确认主副摄影装置均能够辨识到多面立方体；判断多面立方体是否被遮蔽，而造成主摄影装置无法拍摄；当多面立方体没有被遮蔽时，则以主摄影装置进行拍摄多面立方体；当多面立方体有被遮蔽时，则切换以副摄影装置进行拍摄多面立方体；判断主标记是否被遮蔽，而造成主或该副摄影装置无法拍摄；当主标记没有被遮蔽时，则主标记提供空间坐标信息；以及当主标记有被遮蔽时，则利用三个副标记推算出主标记的空间坐标信息。
三维实时定位方法

[发明专利]对位标记及基板对位方法-CN201710258537.1有效
发明人：龚成波 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-04-19 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种对位标记及基板对位方法。所述对位标记包括：条状的主对位标记、以及与所述主对位标记垂直相交的多个条状的辅助对位标记，所述多个辅助对位标记包括：一第一辅助对位标记、至少两个宽度不同的第二辅助对位标记、以及至少两个宽度不同的第三辅助对位标记，所述第二辅助对位标记和第三辅助对位标记相对于主对位标记的位置不同，在基板对位时，可通过任意一个辅助对位标记与主对位标记的交汇区域的中心点坐标求出对位标记整体的中心点坐标，以完成对位标记中心点的定位，能够在对位镜头的视野不变的情况下，增大对位标记的可检测范围，减少基板对位时间，提升基板对位效率。
对位标记辅助对位基板对位中心点坐标垂直相交对位镜头交汇区域可检测中心点视野

[发明专利]人烟稠密区地震勘探测量标记保存方法-CN201010582219.9无效
发明人：杨柳;王南力;周彬;岳礼 -专利权人：中国石油集团川庆钻探工程有限公司
申请日： 2010-12-10 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： G01V1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种人烟稠密区地震勘探测量标记保存方法，涉及地震勘探测量技术领域。包括在物理点位置设置主标记，在主标记上涂抹环保降解油漆，且将环保降解油漆撒于主标记纸屑之上，在主标记附近的地表上设置彩带，且在彩带上写明完整测线号及物理点号。采用本方法，可以有效解决现有测量标记容易遭到破坏造成标记无法识别，从而影响后续钻井和采集施工的问题，有效降低了恢复测量标记所带来的生产成本，保证了施工进度。
人烟稠密地震勘探测量标记保存方法

[发明专利]对准标记结构、掩膜板和半导体结构-CN202210266509.5在审
发明人：胡帅;张鹏真;徐陈林;彭熙锦;王梦婷;崔佳森 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种用于光刻设备的对准标记结构、掩膜板以及半导体结构。所述对准标记结构包括多个主标记，用于实现光刻工艺中的对准；所述多个主标记中的每个主标记包括相互平行且间隔设置的多个对准栅条；以及虚设标记，用于匹配所述光刻设备的尺寸需求；所述虚设标记包括呈阵列间隔排布的多个点状结构
对准标记结构掩膜板半导体

[发明专利]测量外延前后光刻套刻误差的方法及结构-CN202110289388.1有效
发明人：李冰;李营营 -专利权人：上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种测量外延前后光刻套刻误差的方法及结构，包括：在第一基底表面上进行刻蚀，形成游标主尺刻度原始标记；在第一基底表面上进行外延，形成第二基底表面，根据游标主尺刻度原始标记的现有形貌设置游标主尺刻度标记、以及设置游标主尺刻度标记的原点；在第二基底表面上进行光刻，形成游标尺刻度标记；检测游标主尺刻度标记与游标尺刻度标记的实际对准点，根据实际对准点和游标尺精度计算光刻套刻误差。
测量外延前后光刻误差方法结构

[实用新型]一种高精度光学跟踪工具-CN201620272039.3有效
发明人：李寅岩;徐进;王彬彬;张维军 -专利权人：北京天智航医疗科技股份有限公司
申请日： 2016-04-05 - 公布日： 2016-10-19 - 主分类号： A61B34/20 文献下载
摘要：本实用新型一种高精度光学跟踪工具，它包括刚性支架、主标记点群和第二标记点群；其中，主标记点群包括三个以上第一标记点，各第一标记点均设置在刚性支架上；第二标记点群包括一个或两个第二标记点，当高精度光学跟踪工具安装在需要定位的设备上时第二标记点与每一第一标记点间的距离均大于当本实用新型在手术机器人上应用时，主标记点群通过刚性支架安装在手术机器人本体上，第二标记点群设置在末端工具上其中，由于第二标记点群中的标记点更接近末端工具的特定点，因此定位精度可以得到显著的提高。另外可以通过改变第二标记点群的结构，与主标记点群构成不同的形状，实现对第二标记点群的识别。再者若第二标记点群与主标记点群安装不正确，系统可利用两标记点群位置规则识别出这种错误，提醒使用者。
一种高精度光学跟踪工具

[发明专利]影响断奶仔猪的产肠毒素大肠杆菌F41性腹泻病抗性的主效SNP标记及应用-CN201510324439.4有效
发明人：黄路生;任军;杨斌;晏学明;季华员 -专利权人：江西农业大学
申请日： 2015-06-12 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： C12Q1/6888 文献下载
摘要：本发明涉及影响断奶仔猪的产肠毒素大肠杆菌F41性腹泻病抗性的主效SNP标记及应用，所述主效SNP标记位于猪4号染色体上的ST3GAL1基因上，包括主效SNP标记Ⅰ和/或主效SNP标记Ⅱ；其中，所述主效SNP标记Ⅰ的位点为如SEQ ID NO1所示的DNA序列的第513位，其为T与A的突变。所述主效SNP标记Ⅱ的位点为如SEQ ID NO2所示的DNA序列的第173位，其为A与G的突变。本发明通过现代分子生物学技术检测该两个主效SNP标记，利用标记辅助选择(MAS)选择有利的等位基因型个体留种，可以显著提高种群断奶仔猪的抗产肠毒素大肠杆菌F41性腹泻病的能力，大大减少仔猪死亡率。
影响断奶仔猪毒素大肠杆菌 f41 腹泻抗性 snp 标记应用

[发明专利]一种具有分跨式高精度标记索股的悬索桥主缆-CN202210268329.0在审
发明人：赵军;唐茂林;薛花娟;吴玉刚;宋神友;强强;代希华;陈焕勇;张太科;李剑;柴振超;鲜荣;吴玲正;卢靖宇;吴琼;陈建峰;高明;贾庆荣;黄志涵;董江华;邹勇 -专利权人：江苏法尔胜缆索有限公司;深中通道管理中心;广东湾区交通建设投资有限公司;江苏法尔胜路桥科技有限公司;西南交通大学;江苏东纲金属制品有限公司;江阴法尔胜住电新材料有限公司;法尔胜泓昇集团有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： E01D19/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有分跨式高精度标记索股的悬索桥主缆，属于桥梁缆索技术领域。包括多个通长索股单元和多个分段式标记索股单元，所述通长索股单元两端分别锚固于两散索鞍、主体连续贯穿多个主索鞍；任一所述分段式标记索股单元包括若干段标记索股：两段边跨标记索股和多段中跨标记索股，所述边跨标记索股设于散索鞍和与该散索鞍相邻的主索鞍之间，所述中跨标记索股设于相邻两主索鞍之间；所述标记索股的端部锚固于散索鞍或主索鞍。本申请可消除通长索股股内误差累积引起的标记误差，提高标记索股的精度。
一种具有分跨式高精度标记悬索桥

[实用新型]一种具有分跨式高精度标记索股的悬索桥主缆-CN202220594390.X有效
发明人：赵军;唐茂林;薛花娟;吴玉刚;宋神友;强强;代希华;陈焕勇;张太科;李剑;柴振超;鲜荣;吴玲正;卢靖宇;吴琼;陈建峰;高明;贾庆荣;黄志涵;董江华;邹勇 -专利权人：江苏法尔胜缆索有限公司;深中通道管理中心;广东湾区交通建设投资有限公司;江苏法尔胜路桥科技有限公司;西南交通大学;江苏东纲金属制品有限公司;江阴法尔胜住电新材料有限公司;法尔胜泓昇集团有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： E01D19/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种具有分跨式高精度标记索股的悬索桥主缆，属于桥梁缆索技术领域。包括多个通长索股单元和多个分段式标记索股单元，所述通长索股单元两端分别锚固于两散索鞍、主体连续贯穿多个主索鞍；任一所述分段式标记索股单元包括若干段标记索股：两段边跨标记索股和多段中跨标记索股，所述边跨标记索股设于散索鞍和与该散索鞍相邻的主索鞍之间，所述中跨标记索股设于相邻两主索鞍之间；所述标记索股的端部锚固于散索鞍或主索鞍。本申请可消除通长索股股内误差累积引起的标记误差，提高标记索股的精度。
一种具有分跨式高精度标记悬索桥

[实用新型]一种混凝土框架柱箍筋绑扎定位装置-CN201920365587.4有效
发明人：张路;夏振书;胡和辉;杨振宇;来永强 -专利权人：山东德建集团有限公司
申请日： 2019-03-21 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： E04G21/12 文献下载
摘要：一种混凝土框架柱箍筋绑扎定位装置，包括定位部，定位部包括标记杆，标记杆设置在框架柱主筋外侧，且与框架柱主筋竖向平行设置，标记杆上设有标记点，标记杆上覆盖标记带。本实用新型结构简单，操作简便。标记杆上的平行控件可保证标记杆与框架柱主筋的竖向平行一致性；同时弥补定位夹所夹的位置不同，而导致的误差。本实用新型中的定位夹，除了起到加紧的功能时，同时增加了保证标记杆与框架柱主筋平行的作用。
标记杆框架柱主筋本实用新型定位装置竖向平行定位部定位夹平行混凝土框架柱箍筋绑扎标记带标记点可复用控件保证覆盖施工

[发明专利]可伸缩组件、阻料机构以及背负滚筒式自动导引运输车-CN202210441393.4有效
发明人：桂文凯;黄宗勇;张朝辉;许瑨 -专利权人：西安优艾智合机器人科技有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B60P7/06 文献下载
摘要：一种可伸缩组件、阻料机构和背负滚筒式自动导引运输车，其中，该可伸缩组件，包括：导向件，具有通道；主杆，设置在所述通道中，所述主杆能够在通道方向往复移动；至少两个标记组，设置在所述导向件与所述主杆之间，使得所述主杆与所述通道内壁不相接触，至少两个所述标记组沿通道方向间隔设置，使得所述主杆能够基于所述标记组在所述通道中进行导向并且移动，其中，每个所述标记组具有多个标记件，通过上述设置，主杆基于标记件在导向件中进行移动，缩小主杆与标记件之间的接触面积，同时保持良好的导向性能，使得本申请解决了主杆与导向件相对运动时的方向并不能很好重合，杆壁与通道口边缘之间出现较大剐蹭区域的问题。
伸缩组件机构以及背负滚筒自动导引运输车

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