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[发明专利]测量外延前后光刻套刻误差的方法及结构-CN202110289388.1有效
发明人：李冰;李营营 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种测量外延前后光刻套刻误差的方法及结构，包括：在第一基底表面上进行刻蚀，形成游标主尺刻度原始标记；在第一基底表面上进行外延，形成第二基底表面，根据游标主尺刻度原始标记的现有形貌设置游标主尺刻度标记、以及设置游标主尺刻度标记的原点；在第二基底表面上进行光刻，形成游标尺刻度标记；检测游标主尺刻度标记与游标尺刻度标记的实际对准点，根据实际对准点和游标尺精度计算光刻套刻误差。
测量外延前后光刻误差方法结构

[发明专利]一种在线检测硅槽刻蚀深度的方法-CN202110895081.6在审
发明人：李冰;李营营 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2021-08-04 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，提出一种在线检测硅槽刻蚀深度的方法，包括在样品晶圆和待测晶圆的掺杂区域上构造监控结构，其中所述监控结构具有参考结构和多个对照结构，所述参考结构上不具有硅槽，所述多个对照结构上分别具有多个大小一致但数量不等的硅槽；利用所述样品晶圆上的监控结构确定硅槽刻蚀深度与硅槽电阻之间的相关关系；通过在线测试利用所述待测晶圆上的监控结构测量所述待测晶圆上的硅槽电阻；以及根据所述待测晶圆上的硅槽电阻以及所述相关关系确定所述待测晶圆上的硅槽刻蚀深度。
一种在线检测刻蚀深度方法

[实用新型]一种控制光纤切割长度的切割夹具-CN202021829860.3有效
发明人：赖龙斌;丁靓;严亭 -专利权人：上海传输线研究所(中国电子科技集团公司第二十三研究所);上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： B26D7/02 文献下载
摘要：一种控制光纤切割长度的切割夹具，是将已定长度和已定切割去掉部分的给定光纤固定在光纤端头夹持器上，确定该光纤从零点基面至光纤端头夹持器另一端面的精确长度，再设置一个能在光纤端头夹持器的光纤夹槽连线上移动的光纤夹具，精确控制该光纤夹具从光纤端头夹持器的贴合面上开始移动的距离，以此精确控制光纤从零点基面开始至该光纤夹具面向光纤端头夹持器一侧端面之间的长度，在光纤端头夹持器与光纤夹具之间确定光纤切割点后用光纤切割装置切割，去掉光纤切割点至零点基面间的光纤即可得到精确控制的需要长度的光纤。本实用新型能获得长度切割精度为0.1mm的光纤，用作光纤延时器时，延时精度可达0.5Ps。
一种控制光纤切割长度夹具

[发明专利]一种近距离不同表面平行状态的光学检测装置及检测方法-CN201810100497.2有效
发明人：李冰;赖龙斌;丁靓 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2018-02-01 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种近距离不同表面平行状态的光学检测装置结构，包括：载物台；设置在所述载物台上支杆；安装于所述支杆中的导光管；设置在所述导光管一端内部的光源发生器；设置在所述导光管与光源发生器相对的另一端的45度半透半反棱镜；设置在所述45度半透半反棱镜下方的可调光阑；以及用于承载基准表面和或待测表面的表面平行调节结构。
一种近距离不同表面平行状态光学检测装置方法

[发明专利]一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法及装置-CN201810100484.5有效
发明人：李冰;辛田 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2018-02-01 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法和装置。硅波导内应力的各向异性会造成不同方向上的折射率不同，通过测量偏振光经过硅波导之后的偏振旋转量能够获得硅片内的应力信息。方法包括两部分，第一步测定待测器件的快慢轴方向，第二步测量待测器件出射光的偏振旋转角度，计算内应力。通过测量相邻的最小偏振旋转对应的输入偏振角度的平均值得到快慢轴方向。测得的快慢轴方向和偏振旋转角度作为应力计算的输入，应力计算步骤由程序自动完成。
一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息方法装置

[发明专利]一种光波导芯片探针及基于该探针的反射式垂直光耦合结构-CN201911004267.7在审
发明人：李冰;余朝晃;严亭 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司;上海传输线研究所（中国电子科技集团公司第二十三研究所）
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种光波导芯片探针结构，包括：器件层，所述器件层具有耦合连接光纤的第一端；埋氧层，所述埋氧层设置在所述器件层的左侧；衬底层，所述衬底层设置在所述埋氧层的左侧；第一斜面，所述第一斜面从所述衬底层斜切向所述器件层，终止点超过所述器件层中对应光纤中心线的延长线。
一种波导芯片探针基于反射垂直耦合结构

[发明专利]一种基于棱镜的反射式垂直光耦合结构-CN201911004291.0在审
发明人：李冰;余朝晃;严亭 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司;上海传输线研究所（中国电子科技集团公司第二十三研究所）
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G02B6/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于棱镜的反射式垂直光耦合结构，包括：光纤；棱镜，所述光纤耦合连接至所述棱镜的第一面；以及待测光芯片，所述待测光芯片具有槽，所述棱镜的下部插入所述槽中，所述棱镜将来自所述光纤的垂直光信号转换成水平光信号，再从所述槽的侧面耦合至所述待测光芯片。
一种基于棱镜反射垂直耦合结构

[实用新型]一种光纤阵列结构-CN202021821184.5有效
发明人：赖龙斌;严亭;丁靓 -专利权人：上海传输线研究所(中国电子科技集团公司第二十三研究所);上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G02B6/30 文献下载
摘要：一种光纤阵列结构，包括了基板、输入/输出光纤和模式变换光纤的组合，其中，基板的一个面分为台阶状的平面区域和V型槽区域，一个端部去除部分涂覆层裸露其芯线的输入/输出光纤与一段芯线模场直径小于或者大于输入/输出光纤芯线模场直径的模式变换光纤芯线熔接拉锥形成光纤模式变换区，与V型槽数量一致且通过熔接拉锥的输入/输出光纤与模式变换光纤，通过粘结剂有序排列粘接在基板上，且使其中的光纤模式变换区有序排列在基板的平面区域上或V型槽内、模式变换光纤部分或全部分别有序置于V型槽中。本实用新型通过拉锥的方法逐渐改变光模场，使拉锥后的光模场与硅光芯片输出波导的光模场尺寸匹配，可大幅减少耦合损耗，提高耦合效率。
一种光纤阵列结构

[发明专利]一种控制光纤切割长度的方法及其切割夹具和使用方法-CN202010876310.5在审
发明人：赖龙斌;丁靓;严亭 -专利权人：上海传输线研究所(中国电子科技集团公司第二十三研究所);上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B26D7/02 文献下载
摘要：一种控制光纤切割长度的方法及其切割夹具和使用方法，是将已定长度和已定切割去掉部分的给定光纤固定在光纤端头夹持器上，确定该光纤从零点基面至光纤端头夹持器另一端面的精确长度，再设置一个能在光纤端头夹持器的光纤夹槽连线上移动的光纤夹具，精确控制该光纤夹具从光纤端头夹持器的贴合面上开始移动的距离，以此精确控制光纤从零点基面开始至该光纤夹具面向光纤端头夹持器一侧端面之间的长度，在光纤端头夹持器与光纤夹具之间确定光纤切割点后用光纤切割装置切割，去掉光纤切割点至零点基面间的光纤即可得到精确控制的需要长度的光纤。本发明能获得长度切割精度为0.1mm的光纤，用作光纤延时器时，延时精度可达0.5Ps。
一种控制光纤切割长度方法及其夹具使用方法

[发明专利]一种光纤阵列结构及其制作方法-CN202010876326.6在审
发明人：赖龙斌;严亭;丁靓 -专利权人：上海传输线研究所(中国电子科技集团公司第二十三研究所);上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： G02B6/30 文献下载
摘要：一种光纤阵列结构及其制作方法，包括了基板、输入/输出光纤和模式变换光纤的组合，其中，基板的一个面分为台阶状的平面区域和V型槽区域，一个端部去除部分涂覆层裸露其芯线的输入/输出光纤与一段芯线模场直径小于或者大于输入/输出光纤芯线模场直径的模式变换光纤芯线熔接拉锥形成光纤模式变换区，与V型槽数量一致且通过熔接拉锥的输入/输出光纤与模式变换光纤，通过粘结剂有序排列粘接在基板上，且其中的光纤模式变换区有序排列在基板的平面区域上或V型槽内、模式变换光纤部分或全部分别有序置于V型槽中。本发明通过拉锥的方法逐渐改变光模场，使拉锥后的光模场与硅光芯片输出波导的光模场尺寸匹配，可大幅减少耦合损耗，提高耦合效率。
一种光纤阵列结构及其制作方法

[发明专利]封装结构-CN201710968557.8有效
发明人：李冰;辛田 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明的实施例公开了一种封装结构，包括：芯片；封装管壳，所述封装管壳包括管壳底座，所述芯片位于所述管壳底座顶面上方；应力调节结构，所述应力调节结构设置在所述芯片和所述管壳底座之间。通过该实施例可降低由于封装管壳和芯片之间的热膨胀系数不同造成芯片内额外的热应力。
封装结构

[发明专利]一种阵列波导光栅的非均匀温度补偿结构及方法-CN201710968665.5有效
发明人：李冰;严亭 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种非均匀温度补偿的阵列波导结构，包括阵列波导；加热区，所述加热区与所述阵列波导的部分区域相邻并对所述部分区域进行加热，其中所述阵列波导中各波导的等效加热长度随波导长度的增加而增加。通过该结构能够补偿环境温度变化引起的光程差变化，同时与均匀温度补偿方法相比，本发明温度补偿方法所需的功耗较小。
一种阵列波导光栅均匀温度补偿结构方法

[发明专利]一种像面衍射包络平坦的波分复用器及其仿真优化方法-CN201710968663.6有效
发明人：李冰;孟超;辛田 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种像面衍射包络平坦的罗兰圆结构波分复用器及其仿真优化方法，沿着光传播方向，所述波分复用器包括输入波导、输入端平板区、阵列波导区、输出端平板区和输出波导。所述输入端平板区包含输入端并行模式变换器，且所述输出端平板区包含输出端并行模式变换器。从输入端并行模式变换器终端到输入端并行模式变换器始端，所述输入端并行模式变换器的波导脊宽度逐渐变宽。从输出端并行模式变换器始端到输出端并行模式变换器终端，所述输出端并行模式变换器的波导脊宽度逐渐变窄。
一种衍射包络平坦波分复用器及其仿真优化方法

[发明专利]一种光延时测试装置与系统-CN201810100487.9在审
发明人：李冰;严亭 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2018-02-01 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： H04B10/079 文献下载
摘要：本发明的实施例公开了一种光延时量测量装置，包括：光分路器，所述光分路器具有第一输入端、第一输出端和第二输出端，光信号从所述第一输入端输入，按一定分光比例分别送至第一输出端和第二输出端；光合路器；所述光合路器具有第二输入端、第三输入端和第三输出端，所述第二输入端和第三输入端的光信号按一定合光比例发生干涉并输出；光输入端，所述光输入端耦合到所述第一输入端；以及光输出端，所述光输出端耦合到所述第三输出端，其中所述光分路器的第一输出端耦合到所述光合路器的第二输入端，所述光分路器的第二输出端耦合到所述光合路器的第三输入端。
输入端输出端光分路器光合路器输出端耦合光输出端光输入端光延时耦合到测试装置量测量分光合光输出干涉

[发明专利]有源光缆器件-CN201710968556.3在审
发明人：李冰;杨伟松;丁靓 -专利权人： 上海信及光子集成技术有限公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明的实施例公开了一种有源光缆器件。该有源光缆器件包括：透镜组模块；硅基V型槽；以及设置在所述硅基V型槽内的一根或多根光纤，其中所述透镜组模块具有第一对准结构，所述硅基V型槽具有与所述第一对准结构配合的第二对准结构，所述硅基V型槽与所述透镜组模块对准，所述一根或多根光纤通过所述硅基V型槽耦合到所述透镜组模块。通过本发明公开的有源光缆器件能够提高有源光缆器件中光纤的主模耦合效率，降低装配的成本和繁琐度。
硅基V型槽透镜组光缆对准结构多根光纤模块对准耦合效率耦合到主模装配光纤配合

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