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[发明专利]等离子体处理腔室的下电极组件-CN200980141249.1有效
发明人：贾森·奥古斯蒂诺;康·召;基思·威廉·加夫;汉·通·哈;布雷特·C·理查森;哈梅特·辛格 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2009-10-29 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：用于在等离子体处理腔室中使用的下电极组件，包括金属底座和上边缘环和下边缘环。
等离子体处理电极组件

[实用新型]一种高压室环境控制系统-CN202321239987.3有效
发明人：李书羽;王辉;白万利 -专利权人：陕西赛普瑞电气有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G05D22/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高压室环境控制系统，包括布置在电缆沟其中一端的除湿装置，除湿装置用于对高压室室内的空气进行除湿并将空气通入电缆沟内；还包括布置在电缆沟另一端的环境控制装置，环境控制装置包括柜体，柜体内具有相互独立的上腔室和下腔室；柜体上设有上腔室进风口和上腔室出风口，上腔室内设有经上腔室进风口抽吸高压室室内的空气并由上腔室出风口排至高压室室内的循环风机，上腔室内还设有用于对进入上腔室内的空气进行除尘的除尘单元；柜体上还设有下腔室进风口和下腔室出风口，下腔室进风口位于柜体底部，下腔室出风口位于柜体的一侧，下腔室内设有经下腔室进风口抽吸电缆沟内的空气并由下腔室出风口排至高压室室内的抽风机。
一种高压环境控制系统

[实用新型]一种自动中药蒸煮设备-CN201921006958.6有效
发明人：景军强 -专利权人：陕西昊源中药饮片有限公司
申请日： 2019-07-01 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： A61J3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动中药蒸煮设备，包括固定框架和加热水箱，所述固定框架内侧设有筒体，所述筒体内部设有上腔室和下腔室，所述上腔室和下腔室之间设有连通加热腔，所述下腔室底部外侧设有进气环管，所述上腔室、加热腔和下腔室内部贯穿设有转轴，所述上腔室对应的转轴外部套设有上滑块，所述下腔室对应的转轴外部套设有下滑块，所述上滑块和下滑块外部均固定设有网架。本实用新型通过在上腔室和下腔室之间设置连通加热腔，蒸汽首先将下腔室内部的药材蒸煮，蒸汽换热后流失部分热量，此时蒸汽经连通加热腔外部的加热层再次加热，供上腔室内的药材加热使用，从而实现上腔室和下腔室内药材蒸煮温度一致
一种自动中药设备

[发明专利]一种烧水节能装置-CN201410822446.2有效
发明人：孔其聪 -专利权人：叶鹏
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： A47J27/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种烧水节能装置，包括烧水箱，所述烧水箱内通过隔板分隔为上腔室和下腔室，所述下腔室为加热腔室，所述上腔室设有加水口，所述下腔室设有出水口，所述出水口靠近下腔室底部设置；所述上腔室和下腔室通过贯穿于隔板的下水管连通，所述下水管位于上腔室的管口设有水封结构；所述隔板上设有下水口，所述下水口处设有气压开关，所述气压开关根据下腔室内的气压变化进行开关。
一种烧水节能装置

[实用新型]一种热处理腔室-CN201921343299.5有效
发明人：艾宴清 -专利权人：深圳信息职业技术学院
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热处理腔室，包括上腔室和下腔室，以及设置在上腔室和下腔室之间的导热板；加热部件，设置于上腔室中，用于加热待加工基片；基片支撑部件，设置于下腔室中，用于支撑待加工基片；基片传输口，位于下腔室的侧壁上，用于将基片传入或传出下腔室；反射板，通过升降机构可移动地贴合于下腔室的内壁，随着反射板的上下移动基片传输口被反射板遮挡或完全暴露于下腔室中。本实用新型的有益效果在于：通过在下腔室中设置反射板，使反射板遮挡基片传输口，使下腔室的内部相对于基片是周向对称的结构，为基片的加工提供了一个对称的工艺环境，提升了基片的去气效果。
一种热处理

[实用新型]一种新型铝合金熔化炉内腔结构-CN202320619458.X有效
发明人：乐欣 -专利权人：天津海特智能装备有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： F27B14/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型铝合金熔化炉内腔结构，包括上腔室和下腔室，所述上腔室为锥形腔室，上腔室下端与下腔室连通，所述下腔室的远离上腔室的一侧分别与燃气烧嘴、出料管口连通。本实用新型将铝锭卡在上腔室与下腔室的连接处，没有烟气直接排到烟气管道，热能利用率高，且燃气烧嘴能够对铝锭均匀加热，减少气流冲击，氧化烧损率低。
一种新型铝合金熔化炉结构

[实用新型]用于三合一真空腔室的输送机构-CN202222757234.3有效
发明人：牛峰;王振 -专利权人：昆山索坤莱机电科技有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于三合一真空腔室的输送机构，属于真空贴合设备领域。该输送机构包括：能将中腔室向上顶起并与下腔室分离的缓冲组件；能将中腔室沿水平方向进行平移的平移组件；和能将平移后的中腔室顶起的升降组件。三合一真空腔室中：下腔室是固定不动的，上腔室通过驱动组件能且仅能沿竖直方向移动，中腔室设置为水平移动的，能方便中腔室的上料和下料；中腔室上设置缓冲组件，贴合结束后，中腔室和下腔室需要分离，在缓冲组件的作用下，缓冲弹簧向上顶起中腔室，使得中腔室与下腔室分离，达到分开的目的，也方便中腔室独立的进行移动。
用于三合一空腔输送机构

[实用新型]一种普洱茶用茶刀-CN200620054804.0无效
发明人：徐结根 -专利权人：徐结根
申请日： 2006-02-09 - 公布日： 2007-04-18 - 主分类号： A47J31/44 文献下载
摘要：一种普洱茶用茶刀，包括装有刀片的刀把，所述刀把侧设有两带罩盖的上腔室和下腔室，其中：上述位于下腔室的罩盖面为透明状，在上腔室内装有细小的流砂，在上、下腔室之间设有当刀把横立时装在上腔室的流砂可在一定值时间内全部流入下腔室的通道由于采用了在刀把一侧设置的带透明罩盖的上、下腔室及在上下腔室之间设置的当刀把横立时装在上腔室的流砂可在预设的时间内流入下腔室通道，当用茶刀切冲普洱茶并泡制时，可将茶刀横立，这时流砂由上腔室缓慢的流入下腔室，当流砂全部流入下腔室后，便可将茶水饮用，这种方式既可准确地把握泡茶时间，又给人们在饮茶时带来情趣。
一种普洱茶用茶

[发明专利]一体式隔离封装结构-CN202010320283.3有效
发明人：李村;韩超;赵玉龙;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： H01L25/16 文献下载
摘要：一体式隔离封装结构，包括安装底座，安装底座由上腔室、下腔室以及上腔室和下腔室之间设置的分割层组成，上腔室通过上盖密封封装，下腔室通过下盖密封封装，分割层用于完全分割开上腔室和下腔室，上腔室用于传感器芯片的安装，下腔室用于传感器激励和测试电路的安装；本发明采用上下分割的两个独立腔室的模式，完全隔绝开传感器芯片和其配套电路，避免了电路部分对于传感器芯片的影响，封装长期稳定性好，体积小，可批量化生产。
体式隔离封装结构

[发明专利]一种便携式落水自救装置-CN201911036302.3在审
发明人：夏烨;黄磊;刘信宏;王继军;周锐根 -专利权人：同济大学
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： B63C9/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种便携式落水自救装置，所述的便携式落水自救装置包括上腔室、下腔室、位于上腔室和下腔室之间并与上腔室和下腔室紧贴的分隔板、若干设有气体通道的通气带、内充气气囊、外保护气囊和控制开关，所述的上腔室和下腔室用于存放化学试剂，所述的内充气气囊安装在外保护气囊的内部，所述的通气带连通内充气气囊与下腔室以及外保护气囊和下腔室，所述的控制开关通过控制分隔板的位移来控制上腔室内的化学试剂进入下腔室。
下腔室上腔室充气气囊气囊落水自救装置分隔板通气存放化学试剂化学试剂气体通道便携上腔紧贴连通室内

[发明专利]一种一体式防剧烈放热的反应釜-CN202110728740.7在审
发明人：祝春才;柳武军;许辉;曹河文;张群 -专利权人：浙江中科玖源新材料有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本发明提出了一种一体式防剧烈放热的反应釜，包括：釜体和用于执行搅拌作业的搅拌器，其中：釜体具有上下布置的上腔室与下腔室，上腔室和下腔室均分别具有独立的投料口，上腔室与下腔室之间设有用于将下腔室内的物料回抽至上腔室的抽料机构，上腔室的底部设有与下腔室导通的通口和用于控制该通口开/关的开关阀；搅拌器包括位于上腔室的上搅拌部和位于下腔室的下搅拌部。
一种体式剧烈放热反应

[发明专利]蚀刻腔室以及蚀刻腔室加工方法-CN201810741728.8在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;黄艾东 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例提供的一种蚀刻腔室以及蚀刻腔室加工方法，当高频电场发生装置发出的高能粒子轰击半导体晶圆时，半导体晶圆表面的蚀刻胶受到高能粒子的攻击会发生飞溅。又由于第三内壁以及所述第四内壁上设置有多个齿状突起，可以增加腔室壁内壁的粗糙度，提供更加的抓持力，提高了蚀刻胶与第三内壁以及所述第四内壁的结合强度，从而以提升腔室壁表面与溅射蚀刻胶间的粘附结合力，使之不易脱落
内壁蚀刻腔室蚀刻半导体晶圆表面高能粒子轰击半导体晶圆齿状突起发生装置高能粒子高频电场更换部件溅射蚀刻生产安全生产效率影响产品电场粗糙度飞溅物结合力腔室壁提升腔抓持力掉落飞溅室壁粘附堆积加工攻击保证

[发明专利]腔室进气结构以及反应腔室-CN201811550798.1在审
发明人：徐刚;张军;郑波;马振国 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种腔室进气结构以及反应腔室，其中的腔室进气结构包括：设置在腔室上盖上的连接件装置和设置在腔室内的喷气盘；连接件装置设置有第一混合腔，喷气盘设置有第二混合腔；多种不反应气体在第一混合腔中进行混合，混合气体通过第一混合气体通道、第二混合气体通道进入腔室内；反应气体通过第一反应气体通道、第二反应气体通道并经过第二混合腔进入腔室内。本发明的腔室进气结构以及反应腔室，能够避免发生反应的气体与其他反应气体在进入腔室前进行混合；将不直接反应的两种其他反应气体提前混合均匀，发生反应的气体通过匀流板和喷气板进行两次匀流，达到提高反应气体的在硅片上方混合和扩散均匀性的目的
反应气体进气结构混合腔腔室反应腔室进入腔反应气体通道混合气体通道连接件装置喷气盘室内扩散均匀性混合气体气体通过直接反应喷气板匀流板种腔室硅片上盖

[实用新型]反应腔室部件结构及反应腔室-CN201820317132.0有效
发明人：李一成;彭宇霖;曹永友 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-03-08 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种反应腔室部件结构，包括部件本体和氧化膜层，其中，部件本体采用5系铝合金材料制成；氧化膜层通过部件本体氧化形成。本实用新型还提供反应腔室。本实用新型可提高反应腔室部件的抗腐蚀性，从而可以提高反应腔室的使用寿命。
反应腔室部件本实用新型部件本体反应腔室氧化膜层铝合金材料使用寿命

[实用新型]用于处理腔室中的腔室部件-CN201721058541.5有效
发明人：王建齐;尤吉塔·巴瑞克;朱丽亚·巴文;凯文·A·派克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-08-23 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开内容的实现方式提供用于处理腔室中的腔室部件。腔室部件包括：主体，所述主体在等离子体处理腔室中使用；氧化物阻挡层，所述氧化物阻挡层形成在主体的暴露表面的至少一部分上，氧化物阻挡层具有2gm/cm3或大于2gm/cm3的密度；以及氟氧化铝层，所述氟氧化铝层形成在氧化物阻挡层上
氧化物阻挡层氟氧化铝腔室部件处理腔室等离子体处理腔室暴露表面