[发明专利]用于光致抗蚀剂组合物的抗反射涂层有效

专利信息
申请号: 97198410.7 申请日: 1997-09-26
公开(公告)号: CN1232552A 公开(公告)日: 1999-10-20
发明(设计)人: I·穆库洛奇;R·R·达米尔;A·J·科尔索;丁术李;D·L·杜哈姆;卢炳宏;康鸣;D·N·克哈纳 申请(专利权)人: 克拉里安特国际有限公司
主分类号: G03F7/09 分类号: G03F7/09;G03C1/835
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 陈季壮
地址: 瑞士*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种新的抗反射涂层溶液及其在照相平版印刷中的应用。该反射涂层溶液包括新的聚合物和有机溶剂或有机溶剂的混合物,其中该新的聚合物包括含有吸收约180nm-450nm染料的单元和含有交联基团的单元。
搜索关键词: 用于 光致抗蚀剂 组合 反射 涂层
【主权项】:
1.一种照相平版印刷用的抗反射涂层组合物,包括:a)一种聚合物,含有至少一种具有下面的结构的染料单元:其中R1-R3各自独立地是H、(C1-C10)烷基或(C1-C10)烷氧基,X1是C=O、OCO、CONH、O、芳基、(C1-C10)烷基、环己基、吡啶或吡咯烷酮,X2是S、S(C1-C10)烷基、O、O(C1-C10)烷基、NH、N(C1-C10)烷基、烷基、或羟(C1-C10)烷基,n=0-2,A是吸电子基团,R4是H、(C1-C10)烷基、(C1-C10)烷氧基、硝基、卤化物、氰基、芳基、烷芳基、链烯基、二氰基乙烯基或SO2CF3、COOZ、SO3Z、COZ、OZ、NZ2、SZ、SO2Z、NHCOZ或SO2NZ2,其中Z是H或(C1-C10)烷基,Y是共轭部分N=N、CW=CW、CW=N或N=CW,其中W是H、(C1-C10)烷基或(C1-C10)烷氧基,m=1-5,和至少一种具有下面的结构的能够交联该聚合物的单元:其中G含有一个交联官能键和R1-R3各自独立地是H、(C1-C10)烷基或(C1-C10)烷氧基,和b)一种合适的溶剂。
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说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

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