[发明专利]复合靶体及其制作方法无效
| 申请号： | 97112882.0 | 申请日： | 1997-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN1057572C | 公开（公告）日： | 2000-10-18 |
| 发明（设计）人： | 沙健;马向阳;焦正宽;葛洪良 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合靶体及其制作方法，它具有靶芯，在靶芯表面涂覆有靶材，制作步骤为先采用耐高温刚性材料制作靶芯，然后采用湿法或粉末法制备靶材，再用提拉法、甩胶法、超声喷雾法等方法将靶材涂布在靶芯上，最后将复合靶体进行热处理或烧结即可。本发明的优点是制作方法简单，用料节省，靶材易于更换，制靶不需模具。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种复合靶体，其特征在于它具有靶芯[1]和靶材[2]，经涂布靶材溶液或溶胶或者涂布靶材糊状物通过热处理涂覆而成，所说的靶芯材料为耐高温刚性材料，靶材为氧化物功能陶瓷材料。
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