[发明专利]一种微电子光刻的光化生酸源无效

专利信息
申请号: 94102680.9 申请日: 1994-03-04
公开(公告)号: CN1095060A 公开(公告)日: 1994-11-16
发明(设计)人: T·A·克斯 申请(专利权)人: 莫顿国际股份有限公司
主分类号: C07C309/86 分类号: C07C309/86;G03F7/022;H01L21/312
代理公司: 上海专利事务所 代理人: 吴惠中
地址: 美国伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种新的光化产酸剂,它具有如(I)的结构式,式中R=-H,-OH或-O-S(=O)2-Q部分;R1=-CH2OS(=O)2-Q或NO2;R2=-CH2OS(=O)2-Q或-NO2;R3=低级烷基或-H;R4=-H,-CH2OS(=O)2-Q或-NO2;R5=-H,-CH2OS(=O)2-Q或-NO2以及Q为重氮萘醌部分。条件是当R2和R4为-NO2时,R3为低级烷基,以及R1=R2,R4=R5。
搜索关键词: 一种 微电子 光刻 化生
【主权项】:
1、一种具有如下结构式的重氮醌磺酸酯:其特征在于:式中R=氢,羟基或-O-S(=O)2-Q部分;R1=CH2OS(=O)2-Q或-NO2;R2=CH2OS(=O)2-Q或-NO2;R3=低级烷基或氢;R4=氢,-CH2OS(=O)2-Q或-NO2;R5=氢,-CH2OS(=O)2-Q或-NO2;以及Q为一种重氮萘醌部分,其条件是当R2和R4为-NO2时,R3为低级烷基,以及R′≠R2,R4≠R5。
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  • 4-氯-3-(三氟甲基)苯磺酰氯的制备及其精制方法-201110250557.7
  • 尚振华;栗晓东;张慧丽 - 天津市筠凯化工科技有限公司
  • 2011-08-29 - 2012-02-01 - C07C309/86
  • 一种4-氯-3-(三氟甲基)苯磺酰氯的制备及其精制方法:由邻氯三氟甲苯与混酸反应生成2-氯-5-硝基三氟甲苯,再经还原得到2-氯-5-氨基三氟甲苯,与亚硝酸钠,盐酸在低温下极性溶剂中生成重氮盐,再与二氧化硫,氯化亚铜在低温条件下极性溶剂反应生成粗品4-氯-3-(三氟甲基)苯磺酰氯,经蒸馏及重结晶得纯品。本发明特点:提高反应收率,降低生产危险,减少环境污染。精制后的精品在提高收率的基础上提高产品的质量。
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