[其他]微细光刻技术无效
| 申请号： | 86101809 | 申请日： | 1986-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN86101809A | 公开（公告）日： | 1987-10-07 |
| 发明（设计）人： | 胡思福 | 申请（专利权）人： | 成都电讯工程学院 |
| 主分类号： | G03F7/02 | 分类号： | G03F7/02 |
| 代理公司： | 成都电讯工程学院专利代理室 | 代理人： | 马新民,詹权松 |
| 地址： | 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微细光刻技术，为制造大规模集成电路、微波半导体器件、激光器、精密传感器等提供了一种新的紫外光衍射缩小曝光方法。本法不需要采用复杂的光学透镜系统，而且使图形的分辩率可达到光学投影曝光的水平，此种曝光技术具有等量缩小的特点，可按需要进行1～5倍的缩小曝光。可以加工3～0.7微米的精细图形。 | ||
| 搜索关键词： | 微细 光刻 技术 | ||
【主权项】：
1、一种微细光刻技术，它是通过平行紫外光透过掩模版，在近场条件下对涂有抗蚀剂的基片曝光，实现图形的加工。其特征在于所述的曝光方法为接近式衍射缩小曝光，掩模版至基片的间隙距离为0～50微米。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都电讯工程学院，未经成都电讯工程学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/86101809/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 感光性树脂组合物以及硬化物-202210363958.1
- 邱晓绮;许瑞佑 - 新应材股份有限公司
- 2022-04-08 - 2023-10-24 - G03F7/027
- 本发明提供一种感光性树脂组合物以及硬化物。感光性树脂组合物包括碱可溶性树脂(A)、聚合性单体(B)、抗氧化剂(C)、光起始剂(D)以及溶剂(E)。碱可溶性树脂(A)的重量平均分子量为5,000～40,000。聚合性单体(B)包括乙烯性不饱和单体(B1)、环氧单体(B2)或其组合。碱可溶性树脂(A)包括下述式(A‑1)至式(A‑4)表示的结构单元中的至少一者。#imgabs0#在式(A‑1)至式(A‑4)中，R
- 感光性树脂组合物以及硬化物-202210364339.4
- 邱晓绮;许瑞佑 - 新应材股份有限公司
- 2022-04-08 - 2023-10-24 - G03F7/027
- 本发明提供感光性树脂组合物以及硬化物。感光性树脂组合物包括碱可溶性树脂(A)、聚合性单体(B)、热酸产生剂(D)、光起始剂(E)以及溶剂(F)。碱可溶性树脂(A)的重量平均分子量为5,000～40,000。聚合性单体(B)包括环氧单体(B1)、乙烯性不饱和单体(B2)或其组合。热酸产生剂(D)包括六氟鎓盐。环氧单体(B1)包括下述式(B‑1)所示的化合物。#imgabs0#在式(B‑1)中，X
- 感光性树脂组合物和有机EL元件间隔壁-202280020066.X
- 新井良和 - 株式会社力森诺科
- 2022-03-25 - 2023-10-24 - G03F7/022
- 本发明能够提供一种即使以低曝光量仍可进行显影和图案形成的、含有黑色着色剂的高灵敏度的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物，其含有(A)粘合剂树脂、(B1)第1醌重氮加成物、(B2)第2醌重氮加成物以及(C)黑色着色剂，(B1)第1醌重氮加成物是对第1酚化合物加成醌重氮化物的加成物，(B2)第2醌重氮加成物是对第2酚化合物加成醌重氮化物的加成物，第1酚化合物的分子量与第2酚化合物的分子量之差是40～500，第1酚化合物的分子量小于第2酚化合物的分子量。
- 感光性树脂组合物-202310424659.9
- 入泽真治 - 味之素株式会社
- 2023-04-19 - 2023-10-24 - G03F7/027
- 提供能够制造芯形成性优异、翘曲的发生受到抑制、吸光度小的光波导的感光性树脂组合物等。感光性树脂组合物，其包含(A)环氧树脂、(B)含有羧基和烯属双键的树脂以及(C)光聚合引发剂，(B)成分包含与(A)成分相同的结构。
- 感光性树脂组合物-201880026405.9
- 汤川升志郎;大村浩之;星野有辉 - 日产化学株式会社
- 2018-04-20 - 2023-10-24 - G03F7/023
- 本发明的课题是提供可以形成使用于液晶显示元件、有机EL显示元件等，即使在固化后也维持良好的图像并且即使不进行等离子体处理、UV臭氧处理等，固化膜表面也具有高疏液性，此外残渣少，基板具有高亲液性的固化膜的图像的感光性树脂组合物。解决手段是一种能够热固化的感光性树脂组合物，其含有(A)成分、(B)成分和(C)溶剂和(D)成分，(A)成分和(B)成分中的至少一者具有酰胺基。(A)成分：具有下述基团(A1)和(A2)的聚合物，(A1)疏液性基团，(A2)选自羧基和酰胺基中的至少1种基团，(B)成分：具有选自羧基和酰胺基中的至少1种基团的碱溶性树脂，(C)溶剂，(D)成分：感光剂。
- 用于LED的白色感光覆盖膜组合物、覆盖膜及其制备方法-202111178350.3
- 曹文晓;童荣柏;周光大;林建华 - 杭州福斯特电子材料有限公司
- 2021-10-09 - 2023-10-24 - G03F7/027
- 本发明提供了一种用于LED的白色感光覆盖膜组合物、覆盖膜及其制备方法。按重量份计，该感光覆盖膜组合物包括100份的碱溶性光敏丙烯酸树脂、10～35份的环氧树脂、5～35份的丙烯酸酯类单体、1～9份的光引发剂、15～90份的金红石型钛白粉以及25～30份的助剂。将碱溶性丙烯酸树脂的酸值记为X mgKOH/g，30≤X≤50、或50＜X≤80、或80＜X≤100。本发明通过不同范围内通过配合不同的助剂及用量比例，促使本发明感光覆盖膜组合物可实现连续涂覆，且厚度均匀性好的有益效果，进一步提高产品的解析性能。
- 感光性组合物、滤光器、图像显示装置、及固体摄像元件-202310407590.9
- 河内寛明;吉田寛之 - 东洋油墨SC控股株式会社;东洋翊绚株式会社
- 2023-04-17 - 2023-10-20 - G03F7/027
- 本发明的目的在于提供一种感光性组合物、滤光器、图像显示装置、及固体摄像元件，其中感光性组合物抑制显影后的被膜的水渍，残膜率良好且可形成优异的图案。本发明是一种感光性组合物，包含：碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、及光聚合引发剂(C)，所述光聚合引发剂(C)包含下述通式(1)所表示的肟系光聚合引发剂(C1)、及肟系光聚合引发剂(C1)以外的肟系光聚合引发剂(C2)。通式(1)#imgabs0#
- 感光性着色树脂组合物、固化物、彩色滤光片及显示装置-202280014044.2
- 境美嘉;五十岚一贵 - DNP精细化工股份有限公司
- 2022-02-16 - 2023-10-20 - G03F7/027
- 本发明的感光性着色树脂组合物含有：色材、碱可溶性树脂、光聚合性化合物、光引发剂及溶剂，所述光聚合性化合物含有1分子中具有7个以上的不饱和双键基团及酸性基团的含酸性基团的光聚合性化合物，且分子量为500以上，且所述光引发剂含有选自由下述通式(A)所表示的化合物、及下述通式(B)所表示的化合物所组成的组中的1种以上。(通式(A)及通式(B)的各符号如说明书所记载)。#imgabs0#
- 一种光敏聚酰亚胺前体组合物-202310418545.3
- 李杰;单良;王宙东;周选智;孙蓉;张国平 - 深圳先进电子材料国际创新研究院
- 2023-04-19 - 2023-10-20 - G03F7/027
- 本发明公开了一种光敏聚酰亚胺前体组合物，包括：100质量份的作为光敏聚酰亚胺前体的聚酰胺酸酯；0.1‑10质量份的含唑类结构的多臂结构化合物；1‑20质量份的自由基聚合单体；0.5‑10质量份的光引发剂；0.5‑10质量份的硅烷偶联剂；0.01‑5质量份的聚合抑制剂；50‑1500质量份的有机溶剂。其中，含唑类结构的多臂结构化合物为唑类结构Z
- 基于双抑制效应的飞秒激光直写光刻胶组合物及其应用-202211599240.9
- 关玲玲;匡翠方;邱毅伟;曹春;沈小明;夏贤梦;赖慧颖;李佳伟;马鹏程;付欢;王宵冰;庞茂璋;马致远 - 之江实验室;浙江大学
- 2022-12-12 - 2023-10-20 - G03F7/027
- 本发明公开了一种基于双抑制效应的高精度飞秒激光直写光刻胶组合物及其应用。所述飞秒激光直写光刻胶组合物包括单体、双光子引发剂和阻聚剂；所述单体选自丙烯酸酯类化合物和甲基丙烯酸酯类化合物中的一种或多种按任意配比的组合；以单体质量为100％计，双光子引发剂和阻聚剂的质量百分比为0.5‑5wt％和0.1‑5wt％。本发明公开的光刻胶组合物中加入了阻聚剂，利用化学抑制效应可以提高飞秒激光直写的刻写精度。本发明提供了所述光刻胶组合物在飞秒激光直写制备微结构中的应用，其结合了PPI的物理抑制和阻聚剂的化学抑制两种抑制效应，可以显著提高飞秒激光直写的刻写精度，获得极高精度的高质量刻写线条。
- 感光性树脂组合物、硬化膜、附硬化膜的基板及附硬化膜的基板的制造方法-202310319058.1
- 松田贤司;尾畑恵美;小野悠树 - 日铁化学材料株式会社
- 2023-03-29 - 2023-10-17 - G03F7/027
- 本发明涉及感光性树脂组合物、硬化膜、附硬化膜的基板及附硬化膜的基板的制造方法。本发明的课题为提供一种感光性树脂组合物，其适合用于即使进行低温硬化时也可形成硬化性及图案化性优异的硬化物(硬化膜)的用途。本发明的感光性树脂组合物含有(A)含有不饱和基的碱可溶性树脂、(B)具有至少2个以上不饱和键的光聚合性化合物、(C)分子内分别具有1个以上环氧基及氧杂环丁烷基的环氧基‑氧环丁烷化合物、(D)光聚合引发剂及(E)溶剂，其中，相对于固体分全质量，(C)成分的含量为2至14质量％。
- 附硬化膜的基板、感光性树脂组合物、附硬化膜的基板的制造方法及显示装置-202310324353.6
- 今野高志 - 日铁化学材料株式会社
- 2023-03-30 - 2023-10-17 - G03F7/027
- 本发明涉及附硬化膜的基板、感光性树脂组合物、附硬化膜的基板的制造方法及显示装置。本发明提供一种附硬化膜的基板，即使将基板进行接缝折叠也不易产生裂缝或破裂，并且，显影性及密合性也良好。本发明的附硬化膜的基板具有：可重复进行接缝折叠及恢复原来形状的变形的可挠性基板、及形成于前述可挠性基板的表面的硬化膜。前述硬化膜的膜厚为1至30μm，且含有含乙烯性不饱和基的碱可溶性树脂的感光性树脂组合物，并且，在接缝折叠试验中将进行弯折的空间距离(间隙)设为10mm时，不会在前述硬化膜产生裂缝或剥离。
- 透镜的制造方法、感放射线性组合物、显示元件或装置、固体摄像元件、摄像装置及化合物-202310362654.8
- 秋池利之;浜口仁;児玉诚一郎;田中圭;郑康巨;高田雄贵;铃木拓之;木下芳徳 - JSR株式会社
- 2023-04-07 - 2023-10-17 - G03F7/027
- 本发明提供一种透镜的制造方法、感放射线性组合物、显示元件或装置、固体摄像元件、摄像装置及化合物，可通过由低温加热引起的流动化形成透镜形状，且可获得耐热性高、高折射率的透镜。通过如下方法制造透镜，所述方法包括：在基材上涂布感放射线性组合物而形成涂膜的工序；对涂膜的一部分照射放射线的工序；对照射了放射线的涂膜进行显影而在基材上形成图案的工序；以及对显影后的图案进行加热而形成透镜的工序。感放射线性组合物含有(A)成分：式(1)所表示的化合物、(B)成分：光聚合引发剂、以及(C)成分：具有聚合性碳‑碳不饱和键的化合物(其中，(A)成分除外)。#imgabs0#
- 具有优异亲墨性的感光弹性体组合物以及含该感光弹性体组合物的柔性树脂版-201811255249.1
- 黄永山;许文然;高英新;王国才;李志勇;王晓阳;宋小伟;张洪 - 乐凯华光印刷科技有限公司
- 2018-10-26 - 2023-10-17 - G03F7/027
- 本发明公开了一种具有优异亲墨性的感光弹性体组合物，包括（A）热塑性弹性体；（B）液体聚烯烃增塑剂；（C）末端接枝亲水基团的液态聚丁二烯；（D）至少含1个以上不饱和双键官能团的单体；（E）光引发剂或光引发体系；（F）助剂。本发明中包含上述具有优异亲墨性的感光弹性体组合物的柔性树脂版用感光弹性体中引入含亲水性基团的高分子液态聚丁二烯，从而实现柔性树脂版具有优异的亲墨性能；使用本发明的柔性树脂版浮雕图文部分在印刷时更容易接受传墨辊上的柔印油墨，从而达到提升印品质量目的。
- 用于黑色矩阵的组合物、黑色矩阵以及显示装置-202010460048.6
- 任元;方群 - 武汉华星光电技术有限公司
- 2020-05-27 - 2023-10-17 - G03F7/027
- 本申请公开一种用于黑色矩阵的组合物、黑色矩阵以及显示装置，所述用于黑色矩阵的组合物包括遮光材料、树脂、聚合物单体、光起始剂以及溶剂；其中，所述遮光材料包括介孔碳。利用该方案提供的用于黑色矩阵的组合物能够制备细线宽、高锥角的黑色矩阵。
- 可固化组合物、使用组合物的固化层、包含固化层的滤色器以及包含滤色器的显示装置-202211274845.0
- 金钟基;姜龙熙;姜京喜;林知泫;张炫淑;李范珍 - 三星SDI株式会社
- 2022-10-18 - 2023-10-10 - G03F7/027
- 本发明提供一种可固化组合物、使用可固化组合物制造的固化层、包含固化层的滤色器以及包含滤色器的显示装置，可固化组合物包含(A)量子点，用表面改性材料表面改性；以及(B)可聚合化合物，其中表面改性材料包含由化学式1表示的第一表面改性材料和具有不同于第一表面改性材料的结构的结构的第二表面改性材料。(在化学式1中，每一取代基如说明书中所定义。)[化学式1]#imgabs0#
- 感光性树脂组合物、感光性元件、印刷线路板及印刷线路板的制造方法-202280011092.6
- 代岛雄汰;野本周司;中村彰宏;小森直光 - 株式会社力森诺科
- 2022-12-21 - 2023-10-10 - G03F7/027
- 本发明所涉及的感光性树脂组合物含有(A)酸改性含乙烯基树脂、(B)热固性树脂、(C)光聚合引发剂及(D)光聚合性化合物，光聚合性化合物包含具有聚氧亚烷基链及烯属不饱和基团的光聚合性化合物。
- 感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜-202280011117.2
- 渋井智史;松本凉香 - 旭化成株式会社
- 2022-01-12 - 2023-10-10 - G03F7/027
- 提供具有低介电特性、低透湿性及良好的耐化学药品性且能够以高分辨率形成固化浮雕图案的感光性树脂组合物等。本公开的感光性树脂组合物包含100质量份的聚酰亚胺前体树脂、0.5～10质量份的光聚合引发剂和50～500质量份的溶剂。上述聚酰亚胺前体树脂包含选自由下述通式(1)～(3)组成的组中的至少一种末端结构。并且，上述聚酰亚胺前体树脂的脂肪族烃基浓度T的合计值为4wt％～35wt％。#imgabs0#
- 感光性组合物、图像形成方法、膜形成方法、树脂、图像以及膜-202010799908.9
- 佐藤宪晃;铃木昭太;泽村泰弘;S·斯莱特 - 富士胶片株式会社
- 2016-08-24 - 2023-10-10 - G03F7/027
- 本发明提供一种感光性组合物、图像形成方法、膜形成方法、树脂、图像以及膜，所述感光性组合物含有：树脂，包含以式(1)或式(2)所表示的结构单元A和以式(3)、式(4)或式(5)所表示的结构单元B；以及自由基聚合性单体。R
- 着色固化性树脂组合物、滤色器和显示装置-201810816416.9
- 芦田徹;中山智博 - 东友精细化工有限公司
- 2018-07-24 - 2023-10-10 - G03F7/027
- 本发明提供可形成对比度优异的滤色器和显示装置的着色固化性树脂组合物。本发明涉及的着色固化性树脂组合物，其特征在于，包含着色剂、树脂、聚合性化合物和聚合引发剂，上述着色剂包含由式(I)表示的化合物：#imgabs0#式(I)中，R
- 感光性树脂组合物、固化膜和半导体装置-202280015064.1
- 乙黑昭彦;今井启太;上田祐辉;久保山俊治 - 住友电木株式会社
- 2022-02-10 - 2023-10-03 - G03F7/027
- 本发明的感光性树脂组合物包含：具有下述通式(a)所表示的结构单元的聚合物A；以及包含具有下述通式(b)所表示的基团b的聚酰亚胺的聚合物B。#imgabs0#
- 一种感光性树脂组合物及其制备方法和应用-202310602608.0
- 公聪聪;李铭新;杜孟成;盛泽东 - 波米科技有限公司
- 2023-05-24 - 2023-10-03 - G03F7/027
- 本申请公开了一种感光性树脂组合物及其制备方法和应用。所述感光性树脂组合物包括树脂、改性的聚多巴胺微球、硅烷偶联剂I、感光剂、交联剂和溶剂。通过改性的聚多巴胺微球的加入，得到的感光树脂组合物与硅、铜、钛等不同基材均可表现出优异的粘附性，除此之外硅烷偶联剂改性的聚多巴胺微球均匀分布在树脂组合物中，可起到增强、增韧的作用。
- 正型感光性树脂组合物-202280013069.0
- 大村浩之;稻见佳代;畑中真 - 日产化学株式会社
- 2022-01-27 - 2023-10-03 - G03F7/023
- 本发明获得被用于液晶显示元件、有机EL显示元件等、能够形成在固化膜表面具有高拒水性和高拒油性、即使使用高浓度显影液，图案形成后的残渣也少、高温烧成时的释气产生少的固化膜的图像的正型感光性树脂组合物。本发明的正型感光性树脂组合物是下述正型感光性树脂组合物，其含有：(A)成分：具有拒液性基的聚合物，(B)成分：具有N‑羟基苯基的碱溶性树脂，(C)成分：1,2‑醌重氮化合物，(D)成分：交联剂和(E)溶剂。
- 有机发光二极管用蓝色感光性树脂组合物、包含其的滤色器及图像显示装置-202010172681.5
- 柳在范;金一镐;张志勋 - 东友精细化工有限公司
- 2020-03-12 - 2023-10-03 - G03F7/027
- 本发明提供有机发光二极管用蓝色感光性树脂组合物、包含其的滤色器及图像显示装置，上述有机发光二极管用蓝色感光性树脂组合物包含着色剂、碱溶性树脂、光聚合性化合物、光聚合引发剂、敏化剂和溶剂，上述着色剂包含蓝色颜料和呫吨系染料，上述敏化剂的300～400nm范围的UV吸收波长在370nm以上具有最大吸光度，从而提供能够在提高着色感光性树脂组合物的亮度、耐溶剂性和耐湿性的同时，减少制造滤色器时着色感光性树脂组合物分解产生的释气(outgas)的效果。
- 感光性树脂组合物、感光性树脂片、固化物、中空结构体、电子部件及弹性波滤波器-202280012404.5
- 桂田悠基;小林悠太;金森大典 - 东丽株式会社
- 2022-01-25 - 2023-09-29 - G03F7/025
- 本发明的目的是提供图案加工性和耐压性优异的感光性树脂组合物。本发明是一种感光性树脂组合物，其包含(A)聚合物、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)无机填料，上述(B)自由基聚合性化合物的自由基聚合性官能团当量以平均计为70g/eq以上且200g/eq以下。
- 可光聚合的组合物-202280014433.5
- 弗兰克·克诺克 - 西托斯股份公司
- 2022-02-11 - 2023-09-29 - G03F7/027
- 本发明涉及可光聚合的组合物和由其制备的元件以及它们的用途。可光聚合的组合物特别适合作为具有折射率调制的光学元件，特别是全息图的记录材料。
- 固化性树脂组合物、固化膜及显示装置-201810151757.9
- 原田好宽;早坂惠 - 住友化学株式会社
- 2018-02-14 - 2023-09-26 - G03F7/027
- 一种含有半导体粒子(A)、树脂(B)、聚合性化合物(C)及有机溶剂(D)的固化性树脂组合物，上述有机溶剂(D)含有以下化合物，该化合物分子内具有环烷烃环和从‑O‑、‑O‑C(＝O)‑、‑C(＝O)‑O‑及‑C(＝O)‑构成的群组中选择的至少1个基团。
- 一种用于制备间隙粒子材料的感光组合物-202110569677.7
- 邵振;苏斌 - 江苏和达电子科技有限公司
- 2021-05-25 - 2023-09-26 - G03F7/027
- 本发明公开了一种用于制备间隙粒子材料的感光组合物，包含丙烯酸树脂单体、光引发剂、反应控制剂和溶剂，所述反应控制剂包含卤代苯酚衍生物。本发明提供的感光组合物在紫外光固化条件下，可以制备具有适当的柔韧性、良好的粘合性、上下底差值小且与显影液相容性好的间隙粒子材料，本发明提供的感光组合物制备得到的间隙粒子材料可以适用于大尺寸液晶显示器。
- 感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜-202280011177.4
- 松本凉香;渋井智史 - 旭化成株式会社
- 2022-01-12 - 2023-09-22 - G03F7/027
- 提供具有低介电特性及低透湿性、能够以高分辨率形成固化浮雕图案的感光性树脂组合物等。本公开的感光性树脂组合物包含100质量份的选自聚酰亚胺及聚酰亚胺前体中的至少一种树脂、0.5～10质量份的感光剂、和100～300质量份的溶剂。将上述感光性树脂组合物于350℃下加热及固化而得到的聚酰亚胺固化膜的酰亚胺基浓度为12wt％～26wt％，上述树脂包含下述通式(14)所示的结构。#imgabs0#
- 感光性树脂组合物、固化膜、电子部件、天线元件、半导体封装及化合物-202280010794.2
- 寿庆将也;小笠原央;荒木齐 - 东丽株式会社
- 2022-01-11 - 2023-09-22 - G03F7/027
- 本发明的目的在于提供在形成固化膜时具有低介电损耗角正切的感光性树脂组合物及化合物。本发明为感光性树脂组合物，其含有(A)多官能单体、(B)粘结剂树脂及(C)光聚合引发剂，该(A)多官能单体含有式(1)表示的化合物及/或式(2)表示的化合物，该(B)粘结剂树脂含有选自由聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体、聚酰胺、它们的共聚物、聚脲、聚酯、聚硅氧烷、丙烯酸树脂、酚醛树脂及苯并环丁烯树脂、马来酸树脂及环烯烃聚合物组成的组中的1种以上。
- 专利分类
