[实用新型]一种用于原子层沉积加工的上下料装置

摘要

本实用新型实施例公开了一种用于原子层沉积加工的上下料装置，涉及原子层沉积加工技术领域，能够降低人工和时间成本，生产过程中也避免了手动操作导致高温烫伤的问题，提高了生产安全性。本实用新型中，反应装置部分，包括：进气端密封法兰1、加热装置2、压力表3、密封圈4、密封端盖5、推杆13、样品槽14、待沉积样品15、反应腔体16、气动阀Ⅱ17和气动阀Ⅰ18；机械臂部分中，由手臂36、关节37、手臂28、关节29、手臂110、关节111和腰部12组成三关节机械臂，所述机械臂部分固定连接密封端盖5，推杆13的一端连接密封端盖5且另一端连接样品槽14。