[实用新型]阻尼可调节的加速度计敏感结构和加速度计芯片有效
| 申请号： | 202320902914.1 | 申请日： | 2023-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN219657666U | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏旭;杨拥军;任臣;王宁;徐淑静 | 申请（专利权）人： | 河北美泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B7/02 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王振珍 |
| 地址： | 050000 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种阻尼可调节的加速度计敏感结构和加速度计芯片，所述阻尼可调节的加速度计敏感结构包括活动组件、检测组件和调节组件；活动组件两侧设有多个活动结构梳齿，且两端适于衬底弹性连接；检测组件设在活动组件侧面，两端适于与衬底弹性连接，且靠近活动组件一侧设有多个检测梳齿，远离活动组件的一侧设有多个调节梳齿；多个检测梳齿分别与多个活动结构梳齿交错且间隔设置；调节组件包括多个调节机构，每个调节机构均包括正极板和负极板，正极板和负极板分别设在调节梳齿的两侧，并分别与电源正极和电源负极电性连接。本实用新型提供的加速度计芯片，包括阻尼可调节的加速度计敏感结构。 | ||
| 搜索关键词： | 阻尼 调节 加速度计 敏感 结构 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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