[发明专利]一种氮化硅生坯的干燥方法在审
| 申请号： | 202310589263.X | 申请日： | 2023-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN116608647A | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 王斌;葛荘;丁闯;丁颖颖;何竟宇 | 申请（专利权）人： | 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司 |
| 主分类号： | F26B3/02 | 分类号： | F26B3/02;F26B3/18 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 张强 |
| 地址： | 224200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种氮化硅生坯的干燥方法，涉及氮化硅制备领域，旨在解决干燥质量不高的问题，其技术方案要点：测量初始高度H |
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| 搜索关键词： | 一种 氮化 生坯 干燥 方法 | ||
【主权项】：
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- 本实用新型涉及一种节能管理除湿干燥一体机，包括变频除湿机、干燥机和加热桶，所述的干燥机的进风口处安装有第一感温传感器，所述的干燥机的出风口处安装有第二感温传感器，所述的变频除湿机的出风口连接有进风连接管，该进风连接管一端连接加热桶，所述的加热桶与干燥机的进风口相连，所述的变频除湿机的进风口连接有出风连接管，该出风连接管一端连接干燥机的出风口。本实用新型通过监测温度差来控制变频风机的转速，以此调整循环气体流量，从而达到节省风机输出功率和干燥加热功能的要求，达到节能的目的。
- 一种除湿干燥组合机-202121383900.0
- 徐小军;刘自强;吕威;陈俊俊 - 宁波华热机械制造有限公司
- 2021-06-22 - 2021-12-14 - F26B3/02
- 本实用新型涉及一种除湿干燥组合机，包括配置变频风机的除湿机以及多个干燥机，每个干燥机的进风口均安装有一第一感温传感器，每个干燥机的出风口均安装有一第二感温传感器，所述的除湿机的出风口连接有进风连接管，该进风连接管上设置有与干燥机数量相同的电动阀门，每个电动阀门上均连接有一加热桶，所述的加热桶与对应干燥机的进风口相连，所述的除湿机的进风口连接有出风连接管，该出风连接管分别与多个干燥机的出风口相连。本实用新型检测每台干燥机进风口和出风口的温度，通过监测二者的温度差可以用来控制配套电动阀门的开度，以此减小每台干燥机循环气体流量多少，用于集中供于其他干燥机的使用，提高干燥效率，缩短干燥时间。
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