[发明专利]高灵敏度MEMS微波功率传感器在审
| 申请号： | 202210969644.6 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115327219A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 王德波;马骄;李超 | 申请（专利权）人： | 张家港芯微感半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R21/01 | 分类号： | G01R21/01;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 疏亚雅 |
| 地址： | 211219 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高灵敏度MEMS微波功率传感器，采用MEMS平面工艺。该传感器由衬底、共面波导传输线、悬臂梁和测试电极组成。衬底的材质为砷化镓，两种悬臂梁和共面波导传输线均设置在衬底上。其中一个悬臂梁的测试电极被安置于锚区与信号线之间，另一个悬臂梁的测试电极被安置于另一侧地线和信号线之间，互连的两个测试电极与输出端相连用来检测电容。当微波信号进入的时候会引起电容的变化，通过测量变化值即可间接得到微波信号的功率。此传感器采用新结构与传统结构相结合的方式，在保证高过载功率的同时，两个悬臂梁采用并联方式极大地提高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 灵敏度 mems 微波 功率 传感器 | ||
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