[发明专利]机械手的示教治具和示教方法有效
| 申请号： | 202210832761.8 | 申请日： | 2022-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN114888785B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 祝佳辉;张庆;鲍伟成;王旭晨;王文广;薛增辉;葛敬昌;叶莹 | 申请（专利权）人： | 上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J9/16 |
| 代理公司： | 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 | 代理人： | 张聪 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区光谷大*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了机械手的示教治具和示教方法，其中示教治具包括放置壳体和传感器装置，放置壳体内具有供晶圆放置的示教空间，机械手可带动晶圆从放置壳体外部伸入示教空间内。传感器装置固定在放置壳体上，传感器装置能对示教空间内的晶圆在水平面和垂直面上的位置进行检测，并记录和显示检测结果。根据传感器装置的检测结果，控制机械手调节晶圆位置。示教治具不与机械手和晶圆之间产生任何接触，有效避免了治具与机械手手指以及晶圆之间发生碰撞和摩擦的技术问题，在完成示教的同时，有效保护了机械手手指和晶圆。同时变距机构能改变三组竖直传感器在水平面上位置，以满足不同尺寸晶圆的机械手示教。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 示教治具 方法 | ||
【主权项】：
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