[发明专利]电浆产生单元及以该电浆产生单元处理基板的设备在审
申请号: | 202210618736.X | 申请日: | 2022-06-01 |
公开(公告)号: | CN116417325A | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | 朴钟佑;尹星进;金雅兰;梁秀荣;金知胜;张有镇 | 申请(专利权)人: | PSK有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H05H1/46 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 阚梓瑄 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种电浆产生单元及以该电浆产生单元处理基板的设备。基板处理设备包含提供用于处理基板的处理空间的制程处理单元;及提供于前述制程处理单元上方且由制程气体产生电浆的电浆产生单元,且其中,前述电浆产生单元包含具有形成于其中的放电空间的电浆腔室;围绕前述电浆腔室的外侧且使高频电流从其间流过的天线;以及围绕前述天线的外侧的包覆构件,且其中,前述包覆构件是接地的。 | ||
搜索关键词: | 产生 单元 处理 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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