[发明专利]谐振器器件及其形成方法在审
| 申请号： | 202210523815.2 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN115378396A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 金俊德 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/05 | 分类号： | H03H9/05;H03H9/145 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 谐振器器件包括具有在衬底上方延伸的第一数量的鳍的衬底。鳍在第一方向上沿着衬底延伸。在鳍上方提供第二数量的导电指，导电指在垂直于第一方向的第二方向上延伸。第一数量小于或等于第二数量。将导电指配置为接收输入信号，使得导电指以输出频率谐振。导电指限定在他们之间的指节距，并且输出频率基于该指节距。本发明的实施例还提供了形成谐振器器件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 器件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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