[发明专利]碳化硅晶圆电阻分布图像生成方法、系统及存储介质有效
| 申请号： | 202111528881.0 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114167138B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 宋立辉;皮孝东;杨德仁;熊慧凡 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | G01N21/66 | 分类号： | G01N21/66;G01R27/02;G06F17/11;G06F17/16;G06T11/20 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 310000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种碳化硅晶圆电阻分布图像生成方法、系统及存储介质，通过向碳化硅晶圆施加一个固定电压，来形成碳化硅晶圆的EL光谱强度分布图像，再建立EL光谱强度方程、电压强度与载流子浓度关系方程、电压强度与载流子浓度关系方程、电阻分布方程，然后通过联立EL光谱强度方程、电压强度与载流子浓度关系方程、平均电子浓度方程，计算得到碳化硅晶圆平均电子浓度与EL光谱强度的函数关系，来生成载流子浓度分布图像；最后生成精确、完整的碳化硅晶圆的电阻分布图像。相比传统方法，本发明一种碳化硅晶圆电阻分布图像生成方法比电阻仪的速度快一个数量级以上，且图像连续完整等优点，适用于大规模工业化生产中的碳化硅晶圆表征。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 电阻 分布 图像 生成 方法 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学杭州国际科创中心，未经浙江大学杭州国际科创中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111528881.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：防盗钥匙匹配方法、装置和计算机设备
- 下一篇：一种儿童内科临床检测用抽血装置
- 同类专利
- 一种电活性微生物菌落快速鉴别试纸-201711236790.3
- 任月萍;陈金丽;李秀芬;王新华 - 江南大学
- 2017-11-30 - 2023-10-03 - G01N21/66
- 本发明公开了一种电活性微生物菌落的快速鉴别试纸，该试纸由环形探测头，导线，绝缘密封层，变色区组成。其中，环形探测头和导线由金属或碳材料拼接而成。变色区由上到下由绝缘透明覆盖层，变色层，导电层和绝缘透明覆盖层组成，并密封。变色层中含有能接收电子发生颜色变化的物质。导电层与导线相接触，用以接收电子并传递给变色层中的离子或分子，发生颜色的变化。上述试纸在能够快速检测电活性微生物菌落，在鉴定电活性微生物中有重要用途。
- 一种光电直读光谱分析仪-202223610531.1
- 祝华 - 宁波津准检测技术服务有限公司
- 2022-12-28 - 2023-08-11 - G01N21/66
- 本申请涉及光谱分析仪技术领域，更具体地涉及一种光电直读光谱分析仪，包括：一激发台、一分光室和一数据室，所述激发台包括一支承板，所述支承板安装在所述分光室上，且所述激发台与所述分光室之间具有一光传递通道，所述分光室与所述数据室电连接，所述支承板具有一激发腔和一凹槽，所述凹槽位于所述激发腔的一侧，所述激发腔内设有一集尘杯，所述激发台还包括一样品台，所述样品台的一端转动安装在所述凹槽内，在所述样品台转动预定角度后，所述样品台封闭或打开所述激发腔的腔口，本实用新型通过样品台转动预定角度并打开所述激发腔的腔口，以取出置于所述激发腔内的所述集尘杯实现便于清理集尘杯内颗粒的优势。
- 一种测量半导体材料宽波段电致发光光谱的方法-202310825750.1
- 王岩;徐鹏飞 - 江苏华兴激光科技有限公司
- 2023-07-07 - 2023-08-04 - G01N21/66
- 本发明公开了一种测量半导体材料宽波段电致发光光谱的方法，涉及半导体光电子学和半导体光学技术领域，通过设计一种宽波段的电致发光测试系统，可以得到半导体材料的电致发光峰位信息，并可以由此推断出其能带带隙，从而评判半导体外延材料的优劣，传统的电致发光测试系统，光路复杂，信噪比低，本方案设计的方案结合锁相放大技术和光纤收光技术，可以得到高信噪比的电致发光光谱，本方案设计的方案避免了传统电致发光系统需要制备电极的问题，利用金属探针直接注入电流，使用的光路和测试方法搭建简单，易操作，且价格相对于现有的测试设备低廉。
- 一种用于大分子光反应的方法-201810832103.2
- 张向平;赵永建 - 金华职业技术学院
- 2018-07-13 - 2023-08-01 - G01N21/66
- 本发明涉及分子谱学领域，一种用于大分子光反应的方法，由于用于大分子光反应的装置采用了特殊设计的缓冲气体腔，具有能够交替开启和关闭的出气口，以有效控制的缓冲气体的逆流来稳定电喷雾射流，有效控制的缓冲气体的逆流，从而增加喷雾的均匀度及质量流量，采用了特殊设计的离子聚束器，并同时施加交流电势和直流电势来减少离子束流中的杂质，以能够增加离子束流的透射率，并减少了离子束流中的杂质，能够产生气相的大分子的离子、并具有高灵敏度及信号稳定性。
- 碳化硅晶圆电阻分布图像生成方法、系统及存储介质-202111528881.0
- 宋立辉;皮孝东;杨德仁;熊慧凡 - 浙江大学杭州国际科创中心
- 2021-12-14 - 2023-07-21 - G01N21/66
- 本发明提供了一种碳化硅晶圆电阻分布图像生成方法、系统及存储介质，通过向碳化硅晶圆施加一个固定电压，来形成碳化硅晶圆的EL光谱强度分布图像，再建立EL光谱强度方程、电压强度与载流子浓度关系方程、电压强度与载流子浓度关系方程、电阻分布方程，然后通过联立EL光谱强度方程、电压强度与载流子浓度关系方程、平均电子浓度方程，计算得到碳化硅晶圆平均电子浓度与EL光谱强度的函数关系，来生成载流子浓度分布图像；最后生成精确、完整的碳化硅晶圆的电阻分布图像。相比传统方法，本发明一种碳化硅晶圆电阻分布图像生成方法比电阻仪的速度快一个数量级以上，且图像连续完整等优点，适用于大规模工业化生产中的碳化硅晶圆表征。
- 开路电致发光系统-201980045232.X
- 哈希姆·阿哈万-塔夫提;穆吉塔巴·阿哈万-塔夫提;阿里·鲍兰迪;理查德·汉德利 - 阿弗拉科技有限责任公司
- 2019-07-02 - 2023-06-23 - G01N21/66
- 本申请公开了通过将时变电信号施加于电致发光器件来产生发光的方法，其中整个系统保持开路。本申请采用至少一种物品、物质或材料，即“物体”，以将电致发光器件的区域上的电信号改变到足以改变发光的水平。本申请公开了将由此产生的光强度与物体的性质相关联从而允许对该性质进行测量的方法。改变电信号的物质、材料或物体可以包括传输介质的一部分，或者放置在电致发光器件上或附近。该方法可以可选地使用一个或多个附加电路部件。
- 非接触式薄膜水氧透过性能测试方法-202010661175.2
- 孙阿辉;魏斌;陈果;庞玉东 - 绍兴秀朗光电科技有限公司
- 2020-07-10 - 2023-06-09 - G01N21/66
- 本发明提供一种非接触式薄膜水氧透过性能测试方法，在发光器件的Al电极和Al
- 一种电致发光量子产率的测量装置-202310256194.0
- 沈玉杰;欧文妍 - 深圳谱研互联科技有限公司
- 2023-03-07 - 2023-05-16 - G01N21/66
- 本发明公开了一种电致发光量子产率的测量装置，主要涉及光电技术领域。包括支撑座，所述支撑座顶部一侧设有V形的限位座，所述限位座上方设有手杆，所述手杆端部与限位座顶端铰接，所述手杆的拐点处通过铰接块连接有传动轴，所述限位座底端设有与传动轴滑动插接的套管，所述传动轴底端设有基座，所述基座上设有探针部件，所述支撑座底部设有控制组件，所述控制组件上设有位于探针部件底部的积分球，所述积分球上设有样品槽。本发明的有益效果在于：将组成测量系统的各个部件一体化，提升便携性，由软件控制光源状态切换和测试过程，操作便捷，避免误操作，且确保了测量过程中不受其他操作干扰，保证了测量稳定可靠。
- 一种手持式智能看谱分析装置-202223051054.X
- 韦鸿起;武鲁疆;张树功;李迎金;刘文启;张志超 - 山东丰汇工程检测有限公司
- 2022-11-15 - 2023-04-25 - G01N21/66
- 本实用新型公开的一种手持式智能看谱分析装置，包括激发装置，还包括分析装置以及用于连接分析装置和激发装置的连接装置；分析装置包括壳体和设置在壳体上的显示屏，所述壳体内设有透镜和光栅，所述壳体内部设有弧形部，所述弧形部内壁上设有投影幕布，弧形部中心处设置有高分辨率广角镜头。将光谱带通过高分辨广角镜头进行采集，通过软件将采集数据结果进行了数字化分析处理后输出到显示屏，提高了看谱分析的精确度，自动分析结果，防止了分析人员因视觉疲劳而造成结果误判。
- 电子束激发半导体发光性能测试平台和激发参数优化方法-202011446278.3
- 黄善杰;王岭雪;许方宇;蔡毅;吴刚;马俊卉;邓波 - 中国科学院云南天文台
- 2020-12-09 - 2023-04-18 - G01N21/66
- 本发明涉及一种电子束激发半导体发光性能测试平台和激发参数优化方法，该方法包括确定入射电子能量和电子束流量密度范围、等间隔采样并获取电子束参数组合、计算不同电子束参数组合对应的“次级”电子数量、初选电子束参数组合、实测初选电子束参数组合的发光性能、获取发光性能全局最优的电子束参数组合。本发明可以针对不同的发光性能需求，给出全局最优的电子束参数组合。
- 确定2DEG浓度沿栅宽分布的方法及系统-202111495770.4
- 陈雷雷;闫大为;顾晓峰 - 无锡芯鉴半导体技术有限公司
- 2021-12-08 - 2023-03-24 - G01N21/66
- 本发明涉及一种确定2DEG浓度沿栅宽分布的方法，包括利用器件的C‑V曲线计算得到2DEG平均浓度，基于2DEG平均浓度与栅极宽边的乘积，得到2DEG沿栅极宽边的总浓度；在器件的栅极施加不等的电压来调节器件的电致发光强度，获取不等栅压下的器件发光图；根据器件发光图得到不等栅压下电致发光强度沿栅极宽边的分布状态，基于电致发光强度沿栅极宽边的分布状态计算得到总光强随栅压的变化关系，并确定某一栅压下沿栅极宽边的总光强和2DEG总浓度，得到单位光强下的2DEG浓度；基于单位光强下的2DEG浓度和电致发光强度计算得到沿栅极宽边分布的2DEG浓度。本发明能够测试出2DEG浓度在器件内的实际分布，对提高临界电压、临界场强等器件参数的精确度有重要意义。
- 电致发光检测设备及其加电装置-202223065470.5
- 耿越 - 天合光能股份有限公司
- 2022-11-18 - 2023-03-21 - G01N21/66
- 本申请实施例提供了一种电致发光检测设备的加电装置。该加电装置包括：定位组件及加电组件；多个定位组件沿第一方向并列设置，以使多个定位组件能与光伏组件的多个电池串一一对应设置；每个定位组件上均设置有一个加电组件，加电组件与电池串对应设置，用于与电池串的正极及负极接触，以对电池串进行加电。本申请实施例中的定位组件能够适应多种尺寸的光伏组件，以及使得加电组件与电池串的连接准确性较高，从而大幅降低定位组件的调整时间，以大幅提高工作效率。另外，多个加电组件可以同时对多个电池串进行加电，使得本申请实施例在检测过程中可以一次性生成EL图像，从而进一步提高检测效率。
- 电致发光检测设备及其加电装置-202222375967.0
- 彭云;丁志强;刘列 - 天合光能股份有限公司
- 2022-09-07 - 2022-12-27 - G01N21/66
- 本申请实施例提供了一种电致发光检测设备及其加电装置。该加电装置包括：箱体、第一电阻组件及第二电阻组件；所述箱体用于安装所述第一电阻组件及第二电阻组件；多个所述第一电阻组件用于与待测电池串的多个焊带的一端连接；多个所述第二电阻组件用于与多个所述焊带的另一端连接，并且所述第一电阻组件及所述第二电阻组件均与电源连接；所述第一电阻组件及所述第二电阻组件均包括安装结构及电阻，所述电阻采用卡接方式可拆卸的设置于安装结构上。本申请实施例实现了电阻与安装结构的快速拆装维护，使得本申请实施例在更换电阻时可以直接取下，再将新的电阻卡接于安装结构上，从而大幅降低了维护成本以及提高维护的工作效率。
- 一种锁相微光显微成像方法及装置-202211060603.1
- 张家晨 - 合肥锁相光学科技有限公司
- 2022-09-01 - 2022-12-16 - G01N21/66
- 本发明涉及一种锁相微光显微成像方法及装置，其中方法包括设置激励源参数；采集样品图像；获取强度图像；将强度图像与所述样品图像叠加；输出结果。本发明通过将激励信号通入被测样品的电极中，使被测样品通电后在其失效点周期性地发出光信号，利用显微系统光学放大并由相机采集样品图像，通过数字锁相算法，即利用三角函数的正交性，分离出与激励源同频的像素值随时间周期性变化的幅度大小，进而抑制由于电子元器件的温漂、热噪声以及因环境扰动而导致的测量数据中的不规则波动，以此可以极大提高测量数据的信噪比。
- 一种基于卟啉MOF材料增强电致化学发光效应的酪氨酸对映体的识别方法-202210990672.6
- 蔡文蓉;朱文凯;孔泳 - 常州大学
- 2022-08-18 - 2022-11-01 - G01N21/66
- 本发明属于电化学发光技术领域，具体公开了一种基于卟啉MOF材料增强电致化学发光效应的酪氨酸对映体的识别方法。将四(4‑羧基苯基)卟啉与金属离子锌制备成MOF结构的同时引入具有手性的联萘酚，实现手性转移，并利用表面活性剂辅助自组装的方法对材料的形貌进行调控，得到纳米级产物四(4‑羧基苯基)卟啉‑S‑联萘酚‑锌组装体，修饰在电极表面，对L‑酪氨酸电致化学发光信号增强，对D‑酪氨酸电致化学发光信号未有变化，基于电致化学发光，实现了对酪氨酸对映体的识别。
- 光纤生物传感器及检测系统-202210814449.6
- 阮银兰;谢桂鑫;吴普洋;吉虹 - 桂林电子科技大学;南宁纹析生物科技有限公司
- 2022-07-11 - 2022-09-27 - G01N21/66
- 一种光纤生物传感器和检测系统，该光纤生物传感器包括传输光纤以及金属传感膜，该金属传感膜上设置有纳米孔阵列，该金属传感膜配置为接收来自所述传输光纤的入射光，并将该入射光反射入所述传输光纤以用于检测。该光纤生物传感器具有紧凑、便携等优点。
- 等离子体分光分析方法-201810716205.8
- 桐山健太郎 - 爱科来株式会社
- 2018-07-03 - 2022-09-06 - G01N21/66
- 本发明提供等离子体分光分析方法，抑制测定尿检体中的汞或铅时，由属于内源性的物质引起的对照用金属成分的铊导致的等离子体发光的发光量的偏差。稀释假设包括汞或铅的尿检体，进而向该稀释的尿检体添加已知浓度的铊，并向导入铊的测定容器中的一对电极施加电流，从而将上述尿检体中的汞或铅及铊浓缩到一个电极的附近之后，向上述一对电极施加电流而产生等离子体来检测所生成的汞或铅及铊的发光，由在该检测中得到的发光谱，利用与铊对应的波长即对照波长中的净发光量即对照发光量来校正与汞或铅对应的波长即分析波长中的净发光量即分析发光量，并将该校正的值与在预先已知的浓度的汞或铅的测定中得到的校准线比较来将上述尿检体中的汞或铅定量。
- 一种用于半导体缺陷检测的高速数字锁相方法及系统-202210447605.X
- 邱亮;彭滟 - 邱亮;彭滟
- 2022-04-26 - 2022-08-02 - G01N21/66
- 本发明涉及信号检测技术领域，具体涉及一种用于半导体缺陷检测的高速数字锁相方法及系统，本发明通过时钟树结构生成多路时钟信号，并输出该多路时钟信号进行相位对齐，同时发送指令将使芯片内置的通用参考信号定时器复位，控制所有的时钟输出分频器同步对齐；或通过上位机软件设置生成确定数量的输出脉冲，用作系统内部的参考信号脉冲。本发明相比于利用锁相环时钟芯片产生信号的方案而言，时钟树结构具有更低的相位噪声，时钟抖动更小。将其应用在时间交替并行ADC采样结构中，能有效保证数据采集系统的有效位数和动态范围，本发明具有更好的频谱宽度和更高的信噪比，性能优异，实现了对高速宽带信号的高精度测量。
- 一种非接触式材料特性检测方法及系统-202210302578.7
- 伍莹;孙俊逸 - 光渡飞通（苏州）科技有限公司
- 2022-03-25 - 2022-06-07 - G01N21/66
- 本发明公开了一种非接触式材料特性检测方法及系统，其中，该方法包括：预先在待测材料表面生成接收层和发射层；电极激发光照射接收层；接收层对电极激发光进行光电转换，并产生作用于待测材料的电极信号；判断电极信号能否激发待测材料，若电极信号能激发待测材料，待测材料产生载流子；载流子作用于发射层，发射层发射出待测信号光；外部检测设备根据待测信号光获取待测材料的特性参数。本发明能避免破坏材料表面，避免采用金属探针引起的静电和电磁干扰，能够提高材料特性检测的准确性，本发明具有更高的测试自由度，适合测试特性参数分布不均匀的材料。
- 一种EL测试机的新型接触压合结构-202122675684.3
- 刘党;夏洋;杨贺彬;李永强;邓杰彬 - 通威太阳能（安徽）有限公司
- 2021-11-02 - 2022-06-03 - G01N21/66
- 本实用新型公开了一种EL测试机的新型接触压合结构，属于EL测试技术领域。本实用新型包括连接条、探针和压合铜条，所述的探针和压合铜条分别设置在电池片两极，与电池片紧密接触；所述的探针和压合铜条分别固定在一连接条上。本实用新型的一种EL测试机的新型接触压合结构，利用压合铜条替换电池片其中一侧的探针，铜条一体成型，相较于探针而言，铜条不存在探针中间的间隙，不会出现测试时探针所存在的有明有暗的情况，使整个电极的通电电流均匀，提高了EL整体成像的均匀性，进而提高了缺陷判断的准确性。
- 一种改进的直读光谱仪-202123153290.8
- 何其剑 - 无锡钱荣分析仪器有限公司
- 2021-12-14 - 2022-05-31 - G01N21/66
- 本申请公开了一种改进的直读光谱仪，包括箱体、第二支撑板、直读光谱仪本体、控制器、电动推杆、固定机构和调节机构，所述固定机构包括第一支撑板、推板、滑块和橡胶垫，所述第一支撑板内壁表面开设第二滑槽，所述第二滑槽内壁表面固定连接滑块，所述滑块外壁表面固定连接推板，所述推板外壁表面固定连接橡胶垫，所述调节机构包括第三滑槽和第四滑槽，所述第三滑槽内壁表面滑动连接第二滑板，所述第二滑板外壁表面固定连接第一固定板，所述第二滑板中部开设螺纹孔，所述第二支撑板中部开设第四滑槽。通过将支撑板抽出，且带动滑杆沿着第一滑槽内部滑动，且便于放置样品，且通过滑动滑块带动推板移动，且便于根据样品的大小调节固定装置。
- 基于速度影像的纳米颗粒表面等离激元场分布探测方法-202011045775.2
- 张庆斌;符祥龙;韩旭;黄湘;曹伟;陆培祥 - 华中科技大学
- 2020-09-29 - 2022-04-22 - G01N21/66
- 本发明属于微纳光学领域，具体公开一种基于速度影像的纳米颗粒表面等离激元场分布探测方法，包括：将线偏振的飞秒激光通过第一λ/2波片以矫准其偏振方向，经第二λ/2波片后通过透镜聚焦与纳米颗粒束流作用，使纳米颗粒电离出离子；控制离子经加速聚焦后进入微通道探测器以生成倍增电子信号，并使该信号在荧光屏上呈现影像以获得离子动量信息；以固定步长角度旋转第二λ/2波片，获得在激光偏振平面内各不同角度上对应的离子动量信息，对所有离子动量信息层析重构处理，得到发射离子的三维动量分布并对其做以中心为原点的径向积分，得到纳米颗粒表面电离率空间分布作为等离激元场分布。本发明采用纳米颗粒在电离后产生的离子作为探测对象，测量过程简单。
- 移动式喷泡机涂层检验系统及方法-202111283086.X
- 宋进周 - 宋进周
- 2021-11-01 - 2022-03-25 - G01N21/66
- 本发明涉及一种移动式喷泡机涂层检验系统，包括：移动式喷泡机，包括泡沫箱体、泡沫枪、水带、负压式比例混合器、出液球阀、单向阀、水带储备箱体和排液球阀；质量判断机构，用于基于接收到的参考均值确定对应的涂层灰度均匀等级；其中，基于接收到的参考均值确定对应的涂层灰度均匀等级包括：确定的对应的涂层灰度均匀等级与所述接收到的参考均值单调正相关。本发明还涉及一种移动式喷泡机涂层检验方法。本发明的移动式喷泡机涂层检验系统及方法检验有效、运行智能。由于能够在移动式喷泡机的移动载体上，基于针对性的视觉识别机制对喷射涂层的灰度值分布均匀程度进行现场判断，从而避免灵活喷射的涂层质量出现下降。
- 一种火花式光谱仪焊丝检测方法-202111451570.9
- 潘云龙;朱东明;余宗泽;孙贤海;马晓骏;郑更;刘娜;陈潜;王中美 - 中铁九桥工程有限公司;中铁高新工业股份有限公司
- 2021-12-01 - 2022-03-25 - G01N21/66
- 本发明公开了一种火花式光谱仪焊丝检测方法，该方法包括以下步骤：（1）制作筒状结构的夹具；（2）截取足够数量的等长度的焊丝；（3）将焊丝竖直放入夹具中，塞满夹具，保证焊丝排列紧密不会掉出；（4）用打磨机将焊丝切口段磨平；（5）将夹具的开口端放在火花台上，使夹具开口端的焊丝覆盖整个激发孔，开启火花台进行焊丝检测。该方法将焊丝纵向紧密排列，再用夹具夹持，使焊丝覆盖整个激发孔，并保证燃烧口全封闭，提高了检测效率，避免传统堆焊对检测结果的影响。
- 一种高灵敏度微波分子光谱仪-201910545859.3
- 陈钱;顾文华;孙铭;吴杨慧;焦超 - 南京理工大学
- 2019-06-23 - 2022-03-18 - G01N21/66
- 本发明公开了一种高灵敏度微波分子光谱仪，包括微波腔，以及设置在微波腔内的气体喷嘴和微波探测器，在微波腔内部设置局域电场增强结构，所述局域电场增强结构位于气体喷嘴和微波探测器之间。本发明增加了检测信号强度，提高了检测结果的灵敏度和准确性，并且能够通过组合多个电场增强结构，实现多个频带场增强，使用简单，装拆方便。
- 一种基于光电集成式传感芯片的丙酮检测装置及制备方法-202110977991.9
- 金涵 - 宝船智能科技（江苏）有限公司
- 2021-08-23 - 2022-01-11 - G01N21/66
- 本发明公开了一种基于光电集成式传感芯片的丙酮检测装置及制备方法，包括电致发光器件和丙酮敏感层，所述电致发光器件和丙酮敏感层为正方体形状，所述丙酮敏感层分布在电致发光器件的上端面上，所述丙酮敏感层下端面与电致发光器件的上端面贴合且固定连接；所述丙酮敏感层为氧化锌纳米阵列；所述丙酮敏感膜和电致发光器件上均设置有敏感膜引线。本发明通过电致发光片与丙酮敏感的氧化锌纳米阵列集成后所得传感器一方面可实现对丙酮的高选择性响应，另一方面将发光器件与丙酮敏感层集成，此外还有效降低了传感器的功耗，实现了对人体呼吸样中丙酮低功耗的检测。
- 一种水中铊元素现场分析检测装置-202120914519.6
- 祖文川;刘聪;邵鹏;吴赞;钱春燕;汪雨;杨啸涛 - 北京市理化分析测试中心
- 2021-04-29 - 2021-12-14 - G01N21/66
- 本实用新型涉及一种水中铊元素现场分析检测装置，属于金属检测技术领域和水环境现场监测技术领域。所述装置首先通过进样系统实现待检测酸化水样的过滤并控制水样稳定地输送至原子化器，然后原子化器通过液体阴极辉光放电方式，产生等离子体，实现水中铊元素的原子化并产生特征辐射；之后通过聚焦透镜进行聚焦并通过窄带滤光片使入射于光电转化器的铊元素特征辐射单色化，最后通过检测器对光信号的采集并进行光电转换，进行原子发射光谱强度的测量，最终实现水样中铊元素的现场、快速分析检测，且通过采用特定中心波长的滤光片与真空光电器件配合，代替传统光纤光谱仪分光检测系统，使检测灵敏度提升一个数量级。
- 碳化硅功率器件的结温和电流同步检测系统及检测方法-202011247861.1
- 李武华;冒俊杰;罗皓泽;李成敏;李楚杉;何湘宁 - 浙江大学
- 2020-11-10 - 2021-12-07 - G01N21/66
- 本发明公开了一种碳化硅功率器件的结温和电流同步检测系统及检测方法。通过对碳化硅功率器件的电致发光光谱进行分离，并在不同工作温度和工作电流下分别检测碳化硅功率器件电致发光中两个波段的发光强度，建立两个波段的发光强度与工作温度和工作电流的函数模型，通过解耦算法实现根据两个波段的发光强度来推导碳化硅功率器件的结温和电流。本发明基于碳化硅电致发光效应的检测方法，无需额外对碳化硅功率器件电气量的测量，具备固有电气隔离的特点，实现了非接触检测，特别适用于工作在高温高压大电流应用场合的碳化硅功率器件结温和电流的同步在线检测，具有较高的精度和实时性。
- 基于电致化学发光能量转移的多巴胺检测传感器和检测方法-201910189281.2
- 邵昊华;董文飞;梅茜;李力;葛明峰;常智敏 - 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
- 2019-03-13 - 2021-11-16 - G01N21/66
- 本发明公开了一种基于电致化学发光能量转移的多巴胺检测传感器和检测方法，该传感器通过先在电极表面修饰CNT‑AuNP和碱水解g‑C
- 图案化结构中的基于拉曼光谱法的测量-201680081834.7
- 吉拉德·巴拉克;亚尼尔·海尼克;约纳坦·奥伦;弗拉迪米尔·马恰瓦里亚尼 - 诺威量测设备股份有限公司
- 2016-12-15 - 2021-11-09 - G01N21/66
- 呈现一种用于测量图案化结构的一个或多个特征时使用的方法与系统。该方法包括：提供包括指示在使用至少一个所选择的光学测量方案的测量下从图案化结构获得的至少一个拉曼光谱的数据的测量数据，至少一个所选择的光学测量方案各自具有与待测量的特征对应的照明和采集光条件中的至少一个条件的预定配置；处理测量数据，并且针对至少一个拉曼光谱中的每个光谱，确定在测量下的结构的至少一部分内的拉曼贡献效率(RCE)的分布，该分布取决于结构的特征与相应的光学测量方案中的照明和采集光条件中的至少一个条件的预定配置；分析拉曼贡献效率的分布并且确定该结构的特征。
- 专利分类
- 彩色图像和单色图像的图像处理
- 图像编码/图像解码方法以及图像编码/图像解码装置
- 图像处理装置、图像形成装置、图像读取装置、图像处理方法
- 图像解密方法、图像加密方法、图像解密装置、图像加密装置、图像解密程序以及图像加密程序
- 图像解密方法、图像加密方法、图像解密装置、图像加密装置、图像解密程序以及图像加密程序
- 图像编码方法、图像解码方法、图像编码装置、图像解码装置、图像编码程序以及图像解码程序
- 图像编码方法、图像解码方法、图像编码装置、图像解码装置、图像编码程序、以及图像解码程序
- 图像形成设备、图像形成系统和图像形成方法
- 图像编码装置、图像编码方法、图像编码程序、图像解码装置、图像解码方法及图像解码程序
- 图像编码装置、图像编码方法、图像编码程序、图像解码装置、图像解码方法及图像解码程序
