[发明专利]薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示面板有效
| 申请号： | 202110554362.5 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113380896B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 卓恩宗;夏玉明;雍万飞;康报虹 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/45;H01L21/34 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 郭春芳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开一种薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示面板，其中薄膜晶体管包括衬底、栅极层、栅介质层、有源层、欧姆接触层和极性层；栅极层设置在衬底上；栅介质层覆盖在衬底和栅极层上；有源层设置在栅介质层上；欧姆接触层的数量为两个，两个欧姆接触层间隔设置于有源层上；极性层的数量为两个，两个极性层一一对应的设置于欧姆接触层背离有源层的一侧面，极性层至少包括与欧姆接触层接触的缓冲层。本申请中，缓冲层起到均化应力的作用，在后续加工时，作用应力先经缓冲层然后传递至欧姆接触层和有源层，并且使作用在欧姆接触层和有源层的挤压力更均衡，避免应力集中，从而降低对欧姆接触层和有源层上造成的损伤，有效改善显示残影问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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