[发明专利]一种高性能BaSnO3 在审
| 申请号： | 202110492923.3 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113066858A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 姚建可;唐杰;汤皎宁 | 申请（专利权）人： | 深圳戴尔蒙德科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/24 | 分类号： | H01L29/24;H01L29/43;H01L29/786;H01L21/34;H01L21/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福保街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明提供一种高性能BaSnO3基透明导电薄膜和薄膜晶体管及其制备技术，属于新型显示材料技术领域，该技术采用阴极电弧法，以BaSnO |
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| 搜索关键词： | 一种 性能 basno base sub | ||
【主权项】：
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