[发明专利]一种可控的微LED点阵制作方法

摘要

本发明公开了一种可控的微LED点阵制作方法，包括以下步骤：一、完成微LED的外延层制作；二、刻蚀所述外延层；三、对所述N型层刻蚀；四、镀上覆盖所述P型层和所述N型层的钝化层，再对所述钝化层进行蚀刻；五、在所述P型层的顶面露出处镀透明导电层，且所述透明导电层凸出所述钝化层；六、沿Y方向镀上数条对应覆盖所述P型层的条形金属层然后在所述条形金属层开设与所述P型层顶面对应的开孔，并在所述N型层于X方向的端部露出上镀上金属电极，形成微LED点阵。本发明的一种可控的微LED点阵制作方法可应用100um以下的LED点阵，无需进行芯片固晶排列，直接在芯片制造过程中完成点阵的制造，能有效降低设备成本和工艺难度。