[发明专利]半导体芯片在审

专利信息
申请号: 202110408842.0 申请日: 2021-04-16
公开(公告)号: CN113380806A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 杨柏峰;杨世海;林佑明;张志宇;贾汉中 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/11507 分类号: H01L27/11507
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 提供了包括半导体衬底、互连结构和存储器单元阵列的半导体芯片。半导体衬底包括逻辑电路。互连结构设置在半导体衬底上并且电连接至逻辑电路,并且互连结构包括堆叠的层间介电层和嵌入在堆叠的层间介电层中的互连布线。存储器单元阵列嵌入在堆叠的层间介电层中。存储器单元阵列包括驱动晶体管和存储器器件,并且存储器器件通过互连布线电连接至驱动晶体管。
搜索关键词: 半导体 芯片
【主权项】:
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