[发明专利]一种样品厚度的确定方法在审
| 申请号： | 202110296956.0 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113008171A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 刘军;吴诗嫣;魏强民 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 刘恋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种样品厚度的确定方法，所述方法应用于扫描透射电子显微镜，其中，方法包括：获取参考样品的参考信号强度；根据所述参考信号强度和所述参考样品的参考厚度，确定所述参考样品的信号强度与厚度之间的参考线性关系；通过所述扫描透射电子显微镜获取待测样品的实际信号强度，其中，所述待测样品与所述参考样品由相同的材料构成；根据所述参考线性关系和所述实际信号强度，确定所述待测样品的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样品 厚度 确定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110296956.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
