[发明专利]样品支座和样品支座组有效

专利信息
申请号: 201610773695.6 申请日: 2016-08-31
公开(公告)号: CN106483336B 公开(公告)日: 2019-08-23
发明(设计)人: 安藤和德 申请(专利权)人: 日本株式会社日立高新技术科学
主分类号: G01Q10/00 分类号: G01Q10/00;G01Q30/20
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 闫小龙;刘春元
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及样品支座和样品支座组。提供了一种能够通过利用分别不同的测定原理的多个测定装置来容易地测定同一样品的同一地方的样品支座和样品支座组。一种样品支座,所述样品支座是使样品(100)的表面露出来保持、分别安装于利用分别不同的测定原理的多个测定装置(200)、(300)的内部、能够分别测定样品的样品支座(10),所述样品支座的特征在于,具备:主体部(2),包围样品;对准标记(6a)~(6c),分别配置在主体部的表面的2个以上的不同的位置,能够由测定装置检测;以及样品保持部(4),配置在主体部的内侧,以能相对于对准标记的标记面将样品的表面的高度(H)设定为固定的方式保持样品。
搜索关键词: 样品 支座
【主权项】:
1.一种样品支座,使样品的表面露出来保持,分别安装于利用分别不同的测定原理的多个测定装置的内部,能够分别测定所述样品,所述样品支座的特征在于,具备:主体部,包围所述样品;对准标记,分别配置在所述主体部的表面的2个以上的不同的位置,能够由所述测定装置检测;以及样品保持部,配置在所述主体部的内侧,以能相对于所述对准标记的标记面将所述样品的所述表面的高度设定为固定的方式保持所述样品,其中,在所述对准标记的所述标记面与所述样品的所述表面之间的高度差被设定在各个所述测定装置的焦点深度的范围内。
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  • 陈代谢;殷伯华;韩立;林云生;初明璋;高莹莹 - 中国科学院电工研究所
  • 2012-07-27 - 2012-11-21 - G01Q10/00
  • 一种扫描探针显微镜进针装置,其步进电机(8)以垂直于水平面方向固定在扫描探针显微镜进针装置的底座,步进电机(8)连接压电陶瓷扫描器(7);压电陶瓷扫描器(7)上设置样品台(11);探针(2)针尖朝下,位于样品台(11)的正上方;探针(2)的上方安装有激光光源(9);光电传感器(10)位于探针的斜上方,接收探针(2)所反射的光斑的位置信号,并将光斑位置信号转换为电压信号送入控制器(4),通过控制器(4)控制步进电机(8)带动样品向探针(2)逼近。本发明还包括双通道反射式光纤位移传感器,通过双通道反射式光纤位移传感器检测探针与样品表面距离,在控制器的控制下,提高粗进针速度,结合细进针控制,实现快速进针。
  • 一种原子力显微镜的进针方法-201210265550.7
  • 陈代谢;殷伯华;韩立;林云生;初明璋;高莹莹 - 中国科学院电工研究所
  • 2012-07-27 - 2012-11-21 - G01Q10/00
  • 一种原子力显微镜的进针方法,首先将压电陶瓷扫描器Z方向伸到最长位置,然后控制步进电机以50~100μm/s速度快速带动样品台上升,利用光电传感器检测从探针尖反射过来的光斑偏转信号来判断样品表面是否接触探针,当样品表面接触探针时,迅速将压电陶瓷扫描器Z方向缩到最短位置,同时停止步进电机,最后通过压电陶瓷扫描器的微调,将探针与样品表面作用力调整到参考点位置,来完成最终进针。本发明能有效解决快速进针过程中系统延时及步进电机运动惯性对探针与样品表面相互作用力影响,减小快速进针过程中探针及样品表面的损坏。
  • 纳米操纵器-201220065469.X
  • 彭勇;张军伟;金斌玲;谢凤珍;张宏;马鸿斌;齐阔;马传生;张俊丽;薛德胜 - 兰州大学
  • 2012-02-25 - 2012-11-21 - G01Q10/00
  • 本实用新型属于纳米操纵器领域,特别涉及一种通过压电陶瓷驱动的纳米操纵器。该操纵器包括定位装置及执行机构,所述的定位装置包括运动轨道、压电陶瓷、运动台,压电陶瓷安装在运动轨道内,加脉冲电压于压电陶瓷上,驱动运动台摩擦接触的沿运动轨道运动;执行机构与运动台连接,所述的执行机构为操纵手。本实用新型结构对称布置,平衡性好,尺寸紧凑,直线运动,在一定的程度上还减小了内应力和抵消温度引起的形变,可广泛应用于精确操控、剪裁和组装纳米单体及精确测量纳米单体物理性质。
  • 纳米操纵器-201210045621.2
  • 彭勇;张军伟;金斌玲;谢凤珍;张宏;马鸿斌;齐阔;马传生;张俊丽;薛德胜 - 兰州大学
  • 2012-02-25 - 2012-07-25 - G01Q10/00
  • 本发明属于纳米操纵器领域,特别涉及一种通过压电陶瓷驱动的纳米操纵器。该操纵器包括定位装置及执行机构,所述的定位装置包括运动轨道、压电陶瓷、运动台,压电陶瓷安装在运动轨道内,加脉冲电压于压电陶瓷上,驱动运动台摩擦接触的沿运动轨道运动;执行机构与运动台连接,所述的执行机构为操纵手。本发明结构对称布置,平衡性好,尺寸紧凑,直线运动,在一定的程度上还减小了内应力和抵消温度引起的形变,可广泛应用于精确操控、剪裁和组装纳米单体及精确测量纳米单体物理性质。
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