[发明专利]一种微波铁氧体隔离器基板的制作方法在审
| 申请号： | 202110288883.0 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113097684A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 徐缓;王强;张长明;邹冠生;周大伟;张贵华 | 申请（专利权）人： | 深圳市博敏电子有限公司 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11681 | 代理人： | 徐钱芳 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝安区福永街道白石*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波铁氧体隔离器基板的制作方法，包括：磁控溅射镍铬铁合金靶材在铁氧体基片表面沉积形成打底层复合膜。本发明通过定制特定比例的镍铬铁合金靶材，以磁控溅射的方式完成镍铬铁复合膜在铁氧体基片上的淀积，此复合膜可实现与镀铜层一次混合蚀刻，与常规铬或镍铬打底蚀刻方式相比，省去了等离子蚀刻流程，简化了铁氧体隔离器基板的生产步骤，提高了铁氧体隔离器基板的加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 铁氧体 隔离器 制作方法 | ||
【主权项】：
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