[发明专利]一种铁氧体薄膜的制备方法及具有该铁氧体薄膜的电极在审

专利信息
申请号: 201610332624.2 申请日: 2016-05-18
公开(公告)号: CN107399963A 公开(公告)日: 2017-11-28
发明(设计)人: 牛辉;陈智军 申请(专利权)人: 中山因塞施特电子科技有限公司
主分类号: C04B35/26 分类号: C04B35/26;H01B5/14;H01B1/08
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 代理人: 张清彦
地址: 528437 广东省中山市火*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种铁氧体薄膜的制备方法及具有该铁氧体薄膜的电极,包括以下步骤步骤(1)制备铁氧体粉料;步骤(2)把步骤(1)的铁氧体粉料高速喷射在基板上,使铁氧体粉料粘附在基板上形成致密的铁氧体层;步骤(3)对经过步骤(2)处理的铁氧体层进行热处理得到铁氧体薄膜。本发明能提高铁氧体的密度,制作工艺简单,成本低,产品质量高。
搜索关键词: 一种 铁氧体 薄膜 制备 方法 具有 电极
【主权项】:
一种铁氧体薄膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤(1):制备铁氧体粉料;步骤(2):把步骤(1)的铁氧体粉料高速喷射在基板上,使铁氧体粉料粘附在基板上形成致密的铁氧体层;步骤(3):对经过步骤(2)处理的铁氧体层进行热处理得到铁氧体薄膜。
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