[发明专利]电阻仪探针位置的校正方法及方块电阻的测量方法在审
| 申请号： | 202110088408.9 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112927948A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 梁海林;丁同国;孙洪福 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01G11/46 | 分类号： | H01G11/46;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电阻仪探针位置的校正方法及方块电阻的测量方法。其中，所述电阻仪探针位置的校正方法包括：获取一待测晶圆的缺陷图，根据缺陷图标定出待测晶圆上的多个标准测量位置，并获得各个标准测量位置的坐标值。采用电阻仪测量待测晶圆的方块电阻。再获取待测晶圆在方块电阻测量后的缺陷图，以获得各个实际测量位置的坐标值。比对各个标准测量位置与对应的实际测量位置之间的偏差，并根据获取的偏差校正所述电阻仪的探针位置。因此，本发明通过获取坐标的方式，实现探针位置偏差测量的可视化，且测量精度更高，便于精准调整所述电阻仪的位置，以实现提高获取的方块电阻的精确度。同时，本发明利用机台已有设备即可实现，成本低，操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 探针 位置 校正 方法 方块 测量方法 | ||
【主权项】：
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