[发明专利]一种准垂直二极管在审
| 申请号： | 202110064652.1 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN112750894A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王中旭 | 申请（专利权）人： | 陕西君普新航科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/20;H01L29/45;H01L29/47;H01L29/861 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 王海栋 |
| 地址： | 712000 陕西省西安市西咸*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种准垂直二极管，包括：衬底层；缓冲层，所述缓冲层位于所述衬底层上；势垒层，所述势垒层位于所述缓冲层上，所述势垒层具有N面；沟道层，所述沟道层位于所述势垒层上，所述沟道层具有N面；第一阴极、阳极、第二阴极，所述第一阴极、所述阳极、所述第二阴极均位于所述沟道层上，且所述阳极位于所述第一阴极和所述第二阴极之间，所述第一阴极、所述第二阴极与所述沟道层之间为欧姆接触，所述阳极与所述沟道层之间为肖特基接触。本发明的准垂直二极管具有N面势垒层和沟道层，势垒层在2DEG下方，因此可以形成天然的背势垒，将2DEG限制在界面处，同时由于第一阴极与第二阴极直接与禁带宽度较小的沟道层接触，能够形成电阻较低且质量较高的欧姆接触。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 二极管 | ||
【主权项】：
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