[实用新型]硅光子芯片光功率测量装置、设备及系统有效
| 申请号： | 202020004357.8 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN211236362U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 田桂霞;洪小刚;陈奔;王洁;冯振阳 | 申请（专利权）人： | 亨通洛克利科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;G01J1/00 |
| 代理公司： | 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 | 代理人： | 马小慧 |
| 地址： | 215200 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅光子芯片光功率测量装置、设备及系统，硅光子芯片上设有硅光波导，测量装置包括光反射部件，配置于硅光波导出射光的传输路径上，硅光波导的出射光经光反射部件反射后产生反射光；光整形部件，配置于反射光的传输路径上，用于将发散的反射光集束后输出；光功率探测器，用于接收光整形部件输出的反射光光束，并测量反射光光束的光功率。本实用新型通过光反射部件将硅光波导的出射光反射进入空气，再通过光整形部件将发散的反射光调整为光束后输出，然后通过光功率探测器接收并测量出反射光光束的光功率，以此，在不损伤硅光子芯片结构的前提下，精确有效地测量出硅光子芯片的出光功率，实现硅光子芯片晶圆级出光性能测试。 | ||
| 搜索关键词： | 光子 芯片 功率 测量 装置 设备 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亨通洛克利科技有限公司，未经亨通洛克利科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020004357.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
